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公開番号2025005250
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-16
出願番号2023105368
出願日2023-06-27
発明の名称保護部材製造装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B29C 55/02 20060101AFI20250108BHJP(プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般)
要約【課題】支持テーブルから保護部材を剥離する手間を低減し、かつ、押圧部材からの熱の影響を低減できる保護部材製造装置を提供すること。
【解決手段】保護部材製造装置1は、熱可塑性樹脂を加熱により軟化させる加熱ユニット10と、熱可塑性樹脂を延伸させてシート状の保護部材210を形成する延伸ユニット20とを備え、加熱ユニット10は、熱可塑性樹脂の一方側から、熱可塑性樹脂を囲繞するようにエアーカーテン302を形成するエアーカーテン形成ユニット11と、エアーカーテン302で区画された領域内の熱可塑性樹脂に対して、熱可塑性樹脂の他方側からメッシュ部材17を介して温風312を供給する熱可塑性樹脂加熱ユニット12とを有し、延伸ユニット20は、熱可塑性樹脂の外縁部を挟持する複数の挟持部27と、挟持部27をそれぞれ熱可塑性樹脂から離隔する方向に移動させる移動ユニットとを有する。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
対象物の一方の面を保護する保護部材を製造する保護部材製造装置であって、
板状に形成された熱可塑性樹脂を加熱により軟化させる加熱ユニットと、
該熱可塑性樹脂を所定量延伸させてシート状の保護部材を形成する延伸ユニットと、を備え、
該加熱ユニットは、
該熱可塑性樹脂の一方の面側から、該熱可塑性樹脂を囲繞するようにエアーカーテンを形成するエアーカーテン形成ユニットと、
該エアーカーテンで区画された領域内の該熱可塑性樹脂に対して、該熱可塑性樹脂の他方の面側からメッシュ部材を介して温風を供給する熱可塑性樹脂加熱ユニットと、を有し、
該延伸ユニットは、
該熱可塑性樹脂の外縁部を少なくとも四方から挟持する複数の挟持部と、
該挟持部をそれぞれ該熱可塑性樹脂から離隔する方向に移動させる移動ユニットと、
を有することを特徴とする、保護部材製造装置。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
該エアーカーテン形成ユニットは、該熱可塑性樹脂の上方から該熱可塑性樹脂を囲繞するようにエアーカーテンを形成し、
該熱可塑性樹脂加熱ユニットは、該熱可塑性樹脂の下方から温風を供給することを特徴とする、
請求項１に記載の保護部材製造装置。
【請求項３】
該メッシュ部材は、
比較的粗い網目を有する第一のメッシュ部材と、
該第一のメッシュ部材の中央部に配設され、比較的細かい網目を有する第二のメッシュ部材と、を含み、
該第一のメッシュ部材および該第二のメッシュ部材が積層された領域に対して、温風供給源に連通する温風供給口が開口していることを特徴とする、請求項１または２に記載の保護部材製造装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護部材製造装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等の板状の被加工物を研削して薄化したり、切削ブレードやレーザービームの照射により分割する際、被加工物はチャックテーブルに保持される。この時、被加工物を直接チャックテーブルに載置すると、被加工物の損傷や汚染に繋がることや、分割後に一括搬送できなくなってしまうことから、チャックテーブルの保持面と接触する面に粘着テープが貼り付けられるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、被加工物から粘着テープを剥離する際に粘着剤等の残渣が被加工物に残ってしまう場合があった。そこで、平坦な支持テーブルの支持面に塊状、紐状、粒状、または流動状態の熱可塑性樹脂を供給し、加熱しつつ押し広げることでシート状の保護部材を形成し、このシート状の保護部材を被加工物に接着する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－０２１０１７号公報
特開２０２１－０８２６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２の方法で形成された保護部材は、粘着層を用いずに加熱によって接着することが可能なため、被加工物から剥離した際に残渣が残らないという利点がある。一方で、支持テーブルから保護部材を剥離する手間がかかるという課題や、押圧に用いられる部材が熱により膨張してしまい、保護部材の厚み精度が出にくいという課題も存在していた。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、支持テーブルから保護部材を剥離する手間を低減し、かつ、押圧部材からの熱の影響を低減できる保護部材製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保護部材製造装置は、対象物の一方の面を保護する保護部材を製造する保護部材製造装置であって、板状に形成された熱可塑性樹脂を加熱により軟化させる加熱ユニットと、該熱可塑性樹脂を所定量延伸させてシート状の保護部材を形成する延伸ユニットと、を備え、該加熱ユニットは、該熱可塑性樹脂の一方の面側から、該熱可塑性樹脂を囲繞するようにエアーカーテンを形成するエアーカーテン形成ユニットと、該エアーカーテンで区画された領域内の該熱可塑性樹脂に対して、該熱可塑性樹脂の他方の面側からメッシュ部材を介して温風を供給する熱可塑性樹脂加熱ユニットと、を有し、該延伸ユニットは、該熱可塑性樹脂の外縁部を少なくとも四方から挟持する複数の挟持部と、該挟持部をそれぞれ該熱可塑性樹脂から離隔する方向に移動させる移動ユニットと、を有することを特徴とする。
【０００８】
該エアーカーテン形成ユニットは、該熱可塑性樹脂の上方から該熱可塑性樹脂を囲繞するようにエアーカーテンを形成し、該熱可塑性樹脂加熱ユニットは、該熱可塑性樹脂の下方から温風を供給してもよい。
【０００９】
該メッシュ部材は、比較的粗い網目を有する第一のメッシュ部材と、該第一のメッシュ部材の中央部に配設され、比較的細かい網目を有する第二のメッシュ部材と、を含み、該第一のメッシュ部材および該第二のメッシュ部材が積層された領域に対して、温風供給源に連通する温風供給口が開口していてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、支持テーブルから保護部材を剥離する手間を低減し、かつ、押圧部材からの熱の影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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