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公開番号2025004370
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-15
出願番号2023104018
出願日2023-06-26
発明の名称研削ユニット、砥石ユニット、及びマウント
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 41/047 20060101AFI20250107BHJP(研削;研磨)
要約【課題】在庫の管理が容易な研削ユニットを提供する。
【解決手段】被加工物を研削する際に用いられる研削ユニットであって、締結具が挿入される複数の貫通穴を有しスピンドルに固定されるマウントと、マウントに対して装着される複数の砥石ユニットと、を含み、砥石ユニットは、締結具が締結される締結穴が開口する第1面と、第1面とは反対側の第2面と、複数の砥石ユニットが環状の第1領域に沿って配列される際に、隣接する砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第3面と、複数の砥石ユニットが第1領域とは異なる大きさの環状の第2領域に沿って配列される際に、隣接する砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第4面と、を有する砥石ベースと、砥石ベースの第2面側に露出する態様で砥石ベースに固定される研削砥石と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削する際に用いられる研削ユニットであって、
締結具が挿入される複数の貫通穴を有しスピンドルに固定されるマウントと、
該マウントに対して装着される複数の砥石ユニットと、を含み、
該砥石ユニットは、
該締結具が締結される締結穴が開口する第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、複数の該砥石ユニットが環状の第１領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第３面と、複数の該砥石ユニットが該第１領域とは異なる大きさの環状の第２領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第４面と、を有する砥石ベースと、
該砥石ベースの該第２面側に露出する態様で該砥石ベースに固定される研削砥石と、を有する研削ユニット。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
該マウントの複数の該貫通穴は、
該第１領域に沿って設けられた複数の第１貫通穴と、
該第２領域に沿って設けられた複数の第２貫通穴と、を含む請求項１に記載の研削ユニット。
【請求項３】
被加工物を研削する際に用いられる砥石ユニットであって、
締結具が締結される締結穴が開口する第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、複数の該砥石ユニットが環状の第１領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第３面と、複数の該砥石ユニットが該第１領域とは異なる大きさの環状の第２領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第４面と、を有する砥石ベースと、
該砥石ベースの該第２面側に露出する態様で該砥石ベースに固定される研削砥石と、を有する砥石ユニット。
【請求項４】
被加工物を研削する際に用いられる研削ユニットであって、
締結具が挿入される複数の貫通穴を有しスピンドルに固定されるマウントと、
該マウントに対して装着される複数の砥石ユニットと、を含み、
該砥石ユニットは、
該締結具が締結される締結穴が開口する第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、を有する砥石ベースと、
該砥石ベースの該第２面側に露出する態様で該砥石ベースに固定される研削砥石と、を有し、
該マウントの複数の該貫通穴は、
環状の第１領域に沿って設けられた複数の第１貫通穴と、
該第１領域とは異なる大きさの環状の第２領域に沿って設けられた複数の第２貫通穴と、を含む研削ユニット。
【請求項５】
該砥石ユニットの該砥石ベースは、
複数の該砥石ユニットが該第１領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第３面と、複数の該砥石ユニットが該第２領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第４面と、を更に有する請求項４に記載の研削ユニット。
【請求項６】
締結具が挿入される複数の貫通穴を有しスピンドルに固定され、被加工物を研削する際に用いられる複数の砥石ユニットが複数の該締結具により装着されるマウントであって、
複数の該貫通穴は、
環状の第１領域に沿って設けられた複数の第１貫通穴と、
該第１領域とは異なる大きさの環状の第２領域に沿って設けられた複数の第２貫通穴と、を含むマウント。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削する際に用いられる研削ユニット、砥石ユニット、及びマウントに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
小型で軽量なデバイスチップを実現するために、集積回路等のデバイスが表面側に設けられた円盤状のウェーハを薄く加工する機会が増えている。例えば、ウェーハの表面側をチャックテーブルで保持し、砥粒を含む研削砥石が固定された環状の研削ホイールと、チャックテーブルと、を互いに回転させて、純水等の液体を供給しながらウェーハの裏面に研削砥石を押し当てることで、このウェーハが研削され薄くなる。
【０００３】
上述した研削ホイールは、一般的に、回転軸となるスピンドルの先端部に固定された円盤状のマウントに対して、ボルト等の締結具により取り付けられる（例えば、特許文献１参照）。具体的には、マウントには、その厚みの方向に沿って貫通する複数の穴が設けられており、各穴を通じて研削ホイールの複数の締結穴に締結具が締結されることにより、研削ホイールは、マウントに装着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６－２２４２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したウェーハに代表される被加工物を研削する際には、被加工物が適切に研削されるように、被加工物の大きさに合った大きさの研削ホイールが使用される。すなわち、被加工物の直径が８インチ、１２インチ、１８インチと大きくなると、研削ホイールの直径も同様に大きくなる。
【０００６】
そのため、例えば、大きさが異なる複数の種類の被加工物を研削することが予定されている場合には、複数の種類の研削ホイールを予め在庫として用意しておく必要があり、その管理が煩雑であった。
【０００７】
よって、本発明の目的は、在庫の管理が容易な研削ユニット、砥石ユニット、及びマウントを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によれば、被加工物を研削する際に用いられる研削ユニットであって、締結具が挿入される複数の貫通穴を有しスピンドルに固定されるマウントと、該マウントに対して装着される複数の砥石ユニットと、を含み、該砥石ユニットは、該締結具が締結される締結穴が開口する第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、複数の該砥石ユニットが環状の第１領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第３面と、複数の該砥石ユニットが該第１領域とは異なる大きさの環状の第２領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第４面と、を有する砥石ベースと、該砥石ベースの該第２面側に露出する態様で該砥石ベースに固定される研削砥石と、を有する研削ユニットが提供される。
【０００９】
好ましくは、該マウントの複数の該貫通穴は、該第１領域に沿って設けられた複数の第１貫通穴と、該第２領域に沿って設けられた複数の第２貫通穴と、を含む。
【００１０】
本発明の別の一側面によれば、被加工物を研削する際に用いられる砥石ユニットであって、締結具が締結される締結穴が開口する第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、複数の該砥石ユニットが環状の第１領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第３面と、複数の該砥石ユニットが該第１領域とは異なる大きさの環状の第２領域に沿って配列される際に、隣接する該砥石ユニットに対して面で接触できるように構成された第４面と、を有する砥石ベースと、該砥石ベースの該第２面側に露出する態様で該砥石ベースに固定される研削砥石と、を有する砥石ユニットが提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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