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公開番号2025012314
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023115059
出願日2023-07-13
発明の名称検査ウェーハ収容カセット及び加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/673 20060101AFI20250117BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】効率的に検査対象のウェーハを回収することができること。
【解決手段】検査ウェーハ収容カセット70は、ウェーハ200を収容するカセットの上に載置される検査ウェーハ収容カセットであって、対向する一対の側壁73にウェーハ200を収容する対をなす収容溝76が形成されるとともに、収容溝76にウェーハ200を搬入・搬出するための開口部77を有するカセット本体71と、カセット本体71に配設され、カセットに収容されたウェーハ200を検知するウェーハ検知ユニットによって検知が可能な被検知プレート72と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを収容するカセットの上に載置される検査ウェーハ収容カセットであって、
対向する一対の側壁にウェーハを収容する対をなす収容溝が形成されるとともに、該収容溝にウェーハを搬入・搬出するための開口部を有するカセット本体と、
該カセット本体に配設され、該カセットに収容されたウェーハを検知するウェーハ検知手段によって検知が可能な被検知プレートと、
を備えることを特徴とする検査ウェーハ収容カセット。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
加工装置であって、
ウェーハを保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、
ウェーハが収容されたカセットを載置する載置手段と、
該載置手段に載置されたカセットに収容されているウェーハを検知するウェーハ検知手段と、
該加工手段と該載置手段に載置されたカセットとの間においてウェーハを搬送する搬送手段と、
制御手段と、
から少なくとも構成され、
該制御手段は、
検査対象のウェーハを設定する検査ウェーハ設定部と、
該載置手段に載置されたカセットの上に載置された検査ウェーハ収容カセットを該ウェーハ検知手段を用いて検知する検知部と、
該検知部で該検査ウェーハ収容カセットを検知した場合に、該検査ウェーハ設定部で設定した検査対象のウェーハを該搬送手段を用いて該検査ウェーハ収容カセットに搬送する搬送部と、
を備え、
該検査ウェーハ収容カセットは、
対向する一対の側壁にウェーハを収容する対をなす収容溝が形成されるとともに、該収容溝にウェーハを搬入するための開口部を有するカセット本体と、
該カセット本体に配設され、ウェーハ検知手段の検知対象となる被検知プレートと、
を備えることを特徴とする加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査ウェーハ収容カセット及び加工装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の板状の被加工物を切削するダイサー等の加工装置では、カセットステージに載置したカセットに収容されたウェーハをカセットからチャックテーブルに搬送し、チャックテーブルに保持されたウェーハを加工している。そして加工したウェーハを洗浄手段で洗浄した後、カセットに搬送している。このような加工装置では加工したウェーハの品質を作業者が設定したタイミングで検査している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
検査対象となるウェーハは、例えばウェーハを１０枚加工した後の１１枚目というように装置に設定される。検査対象として設定されたウェーハはカセットに搬送されるのではなく、カセットステージの下に配設されているインスペクションステージ内に搬送される。そして作業者は、インスペクションステージ内に搬送されたウェーハを回収して、別の検査装置で検査をする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－２５１３５６号公報
特開２００７－１４２３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、インスペクションステージ内から回収したウェーハは、検査装置までの移動または一時的な保管の為に、別途カセットに収容する必要があり、手間である。また、インスペクションステージは、加工装置内の一定のスペースを占有するため、インスペクションステージに代わる効率的な検査対象のウェーハの回収方法が求められていた。
【０００６】
本発明の目的は、効率的に検査対象のウェーハを回収することができる検査ウェーハ収容カセット及び加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の検査ウェーハ収容カセットは、ウェーハを収容するカセットの上に載置される検査ウェーハ収容カセットであって、対向する一対の側壁にウェーハを収容する対をなす収容溝が形成されるとともに、該収容溝にウェーハを搬入・搬出するための開口部を有するカセット本体と、該カセット本体に配設され、該カセットに収容されたウェーハを検知するウェーハ検知手段によって検知が可能な被検知プレートと、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の加工装置は、加工装置であって、ウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、ウェーハが収容されたカセットを載置する載置手段と、該載置手段に載置されたカセットに収容されているウェーハを検知するウェーハ検知手段と、該加工手段と該載置手段に載置されたカセットとの間においてウェーハを搬送する搬送手段と、制御手段と、から少なくとも構成され、該制御手段は、検査対象のウェーハを設定する検査ウェーハ設定部と、該載置手段に載置されたカセットの上に載置された検査ウェーハ収容カセットを該ウェーハ検知手段を用いて検知する検知部と、該検知部で該検査ウェーハ収容カセットを検知した場合に、該検査ウェーハ設定部で設定した検査対象のウェーハを該搬送手段を用いて該検査ウェーハ収容カセットに搬送する搬送部と、を備え、該検査ウェーハ収容カセットは、対向する一対の側壁にウェーハを収容する対をなす収容溝が形成されるとともに、該収容溝にウェーハを搬入するための開口部を有するカセット本体と、該カセット本体に配設され、ウェーハ検知手段の検知対象となる被検知プレートと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、効率的に検査対象のウェーハを回収することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。
図２は、図１に示された加工装置のカセットエレベータに載置されるカセットの構成例を模式的に示す斜視図である。
図３は、実施形態１に係る検査ウェーハ収容カセットの構成例を模式的に示す斜視図である。
図４は、図３に示された検査ウェーハ収容カセットがカセット上に載置される状態を模式的に示す斜視図である。
図５は、図３に示された検査ウェーハ収容カセットがカセット上に載置された状態を模式的に示す斜視図である。
図６は、図１に示された加工装置の加工動作開始前の状態を一部断面で模式的に示す正面図である。
図７は、図１に示された加工装置の加工動作開始直後に、ウェーハ検知ユニットが検査ウェーハ収容カセットを検知する状態を一部断面で模式的に示す正面図である。
図８は、図１に示された加工装置の搬送機構の第１搬送ユニットが検査対象のウェーハを検査ウェーハ収容カセットに収容する状態を一部断面で模式的に示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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