特許ウォッチ

公開番号2025004424
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-15
出願番号2023104110
出願日2023-06-26
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250107BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搭載された複数のチェックテーブルの劣化を均等にすること。
【解決手段】加工装置1は、被加工物100を保持する少なくとも2つ以上のチャックテーブル10と、チャックテーブル10に保持された被加工物100を加工する加工ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニット60と、を備える加工装置1であって、制御ユニット60は、加工ユニットにて被加工物100を加工する際に使用されたチャックテーブルの使用回数をチャックテーブル10毎のそれぞれにおいて記憶する使用回数記憶部61と、使用回数記憶部61に記憶されたそれぞれのチャックテーブル10の使用回数に基づいて、使用するチャックテーブル10を選定するチャックテーブル選定部62と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する、少なくとも２つ以上のチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
該加工ユニットにて該被加工物を加工する際に使用された該チャックテーブルの使用回数をチャックテーブル毎のそれぞれにおいて記憶する使用回数記憶部と、
該使用回数記憶部に記憶されたそれぞれのチャックテーブルの使用回数に基づいて、使用するチャックテーブルを選定するチャックテーブル選定部と、
を備えることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
該チャックテーブル選定部は、該使用回数記憶部に記憶されたそれぞれのチャックテーブルの使用回数から、使用回数が最も少ないチャックテーブルを選定することで複数のチャックテーブルにおいて使用回数の均一化を図ることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
ＬＣ，ＬＳＩ等のデバイスが複数形成された被加工物は、裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の分割装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。例えば、研削装置では、ウェーハの上面に研削水を供給しながら研削砥石を環状に形成される研削ホイールを備えた研削ユニットによってウェーハの上面を研削している。このような研削装置では、生産性の向上のため、粗研削用の研削ユニット、仕上げ研削用の研削ユニットが搭載されている。特許文献１には、ウェーハを保持する複数のチャックテーブルを搭載したターンテーブルを備え、ターンテーブルの回転により複数のチャックテーブルの位置を変更する研削装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－２８８８８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数のチャックテーブルが搭載された研削装置では、それぞれのテーブルに通し番号やＡ，Ｂ，Ｃなどが採番されて装置内で管理されている。その場合、研削装置で加工を実施する場合、採番された番号順に使用される。そのため、加工枚数がチャックテーブル個数で割り切れない場合や、１枚の加工などでは、若番で管理されるチャックテーブルが多く使われ劣化が早くなる。若番は、番号のうちの数が小さい方を意味する。研削装置における劣化は、例えば、目詰まり、汚れなどによるバキューム力の変化等を含む。チャックテーブルは、目詰まり等により劣化した場合、交換時等にセルフグラインドが行われる。チャックテーブルの上面の形状を維持するために直接チャックテーブルを研削するセルフグラインドは、全てのチャックテーブルを研削するため、チャックテーブルの劣化にバラつきがあると、劣化していないチャックテーブルも研削されてしまい、作業効率を低下させていた。また、加工装置は、複数のチャックテーブルの劣化にバラつきがあると、セルフグラインドの実施回数も増加するため、装置の生産性が低下してしまう。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、搭載された複数のチェックテーブルの劣化を均等にすることができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する、少なくとも２つ以上のチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、該加工ユニットにて該被加工物を加工する際に使用された該チャックテーブルの使用回数をチャックテーブル毎のそれぞれにおいて記憶する使用回数記憶部と、該使用回数記憶部に記憶されたそれぞれのチャックテーブルの使用回数に基づいて、使用するチャックテーブルを選定するチャックテーブル選定部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
前記加工装置において、該チャックテーブル選定部は、該使用回数記憶部に記憶されたそれぞれのチャックテーブルの使用回数から、使用回数が最も少ないチャックテーブルを選定することで複数のチャックテーブルにおいて使用回数の均一化を図ってもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本願発明は、搭載された複数のチェックテーブルを均等に利用することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。
図２は、図１の加工装置の要部を示す断面図である。
図３は、３つのチャックテーブルの使用回数と加工枚数との関係例を示す図である。
図４は、加工装置１が実行する選定方法に関する処理手順の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明に係る実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許