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公開番号2025012145
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114747
出願日2023-07-12
発明の名称カセットアダプタ
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250117BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハ処理装置内への異物の侵入を抑制することができるカセットアダプタを提供すること。
【解決手段】カセットアダプタ1は、ウェーハを収容するオープンカセットが載置されるカセット載置台と、オープンカセットに収容されたウェーハを搬入・搬出する搬送手段と、搬送手段を通過させる開口部と、を備えたウェーハ処理装置のカセット載置台上に着脱自在に設置可能なカセットアダプタ1であって、カセット載置台上に載置されると共に、オープンカセットがその上に載置される基台2と、基台2に配設され、開口部における該搬送手段が通過する領域以外の余剰領域を覆うカバー3と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを収容するカセットが載置されるカセット載置台と、該カセットに収容されたウェーハを搬入・搬出する搬送手段と、該搬送手段を通過させる開口部と、を備えたウェーハ処理装置の該カセット載置台上に着脱自在に設置可能なカセットアダプタであって、
該カセット載置台上に載置されると共に、該カセットがその上に載置される基台と、
該基台に配設され、該開口部における該搬送手段が通過する領域以外の余剰領域を覆うカバーと、
を備えることを特徴とするカセットアダプタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットアダプタに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハの表面には、格子状に配列された複数の領域にデバイスが複数形成されている。このような半導体ウェーハは、例えば、研削装置によって裏面が研削され、更に切削装置によって切削されて複数のチップに分割される。
【０００３】
上記の研削装置及び切削装置のようなウェーハ処理装置の中には、異物の付着を防止する目的でウェーハを収納して密閉可能な密閉型カセットであるＦＯＵＰ（Front Opening Unity Pod）が載置されるステージを有し、ＦＯＵＰがステージに載置された状態でＦｏｕｐの蓋を開けてウェーハを搬送するロードポートを備えた装置がある（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－１６５７１９号公報
特開２００６－２２２３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記ロードポートを備えたウェーハ処理装置にはＦＯＵＰをセットするのが基本ではあるが、カセットアダプタを用いてＦＯＵＰ以外のカセットをセットすることもある。このとき、上記ウェーハ処理装置に設けられた、ウェーハを搬入・搬出する搬送手段を通過させるための開口部はＦＯＵＰのサイズに合わせて開口するため、例えばＦＯＵＰより高さの低い例えば１段式のオープンカセットを設置した場合、開口部に余分な隙間が生じてしまうことになる。このように隙間が生じた状態であると、この隙間を通してウェーハ処理装置内に異物が侵入し易い恐れがあった。
【０００６】
本発明の目的は、ウェーハ処理装置内への異物の侵入を抑制することができるカセットアダプタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のカセットアダプタは、ウェーハを収容するカセットが載置されるカセット載置台と、該カセットに収容されたウェーハを搬入・搬出する搬送手段と、該搬送手段を通過させる開口部と、を備えたウェーハ処理装置の該カセット載置台上に着脱自在に設置可能なカセットアダプタであって、該カセット載置台上に載置されると共に、該カセットがその上に載置される基台と、該基台に配設され、該開口部における該搬送手段が通過する領域以外の余剰領域を覆うカバーと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、ウェーハ処理装置内への異物の侵入を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態１に係るカセットアダプタの構成例を示す斜視図である。
図２は、図１に示されたカセットアダプタが設置されるウェーハ処理装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
図３は、図２に示されたウェーハ処理装置に設置されるＦＯＵＰカセットの構成例を模式的に示す斜視図である、
図４は、図２に示されたウェーハ処理装置に設置されるオープンカセットの構成例を示す斜視図である。
図５は、図１にカセットアダプタがウェーハ処理装置のカセット載置台にオープンカセットを設置した状態を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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