特許ウォッチ

公開番号2024179878
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023099164
出願日2023-06-16
発明の名称ブレード着脱具
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 45/00 20060101AFI20241219BHJP(研削;研磨)
要約【課題】装着時のワッシャーブレードの破損を抑制することができるブレード着脱具を提供すること。
【解決手段】ブレード着脱具1は、ワッシャーブレードをスピンドル先端に固定されたフランジに着脱するためのものであって、円柱状の本体10と、本体10の一方の端面11の外周には、ワッシャーブレードに対応する位置で円周方向に複数形成され、ワッシャーブレードを吸引保持する吸引孔25と、気体を供給する供給口21と、気体を排出する排出口24と、吸引孔25に負圧を生成する流路26と、を少なくとも備え、ワッシャーブレードを本体10の一方の端面11に吸引保持する際は、吸引孔25に発生する負圧によって吸引保持され、ワッシャーブレードの吸引保持を解除する際は、排出口24を塞ぐことによって気体が吸引孔25から排出してワッシャーブレードの吸引保持を解除する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ワッシャーブレードを切削装置のスピンドル先端に固定されたフランジに着脱するためのブレード着脱具であって、
円柱状の本体と、
該本体の一端面の外周には、該ワッシャーブレードに対応する位置で円周方向に複数形成され、該ワッシャーブレードを吸引保持する吸引孔と、
気体を供給する供給部と、気体を排出する排出部と、該吸引孔に負圧を生成する流路と、を少なくとも備え、
該ワッシャーブレードを該本体の一端面に吸引保持する際は、該吸引孔に発生する負圧によって吸引保持され、
該ワッシャーブレードの吸引保持を解除する際は、該排出部を塞ぐことによって気体が該吸引孔から排出して該ワッシャーブレードの吸引保持を解除する、
ブレード着脱具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワッシャーブレードを着脱するためのブレード着脱具に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが表面に複数形成されたシリコンウエーハは、裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置に使用される切削ブレードの一つとして、公知のメタルブレード、レジンブレード等の環状の切削ブレード（ワッシャーブレード）があげられる。
【０００４】
上記ワッシャーブレードは、運搬中の破損を防止するために、ブレードケースに収容されて、慎重に取り扱われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
そして、ワッシャーブレードは、製造現場にてブレードケースから作業者が切削ブレードを素手で取り、切削装置のスピンドルの先端に装着されたフランジに装着され、固定フランジと固定ナットによって、スピンドルの先端に固定されて使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第４４３１０１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記ワッシャーブレードの厚さは、例えば、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下と薄く、作業者がワッシャーブレードを素手で取り扱うと破損してしまうという問題がある。
【０００８】
本発明は、装着時のワッシャーブレードの破損を抑制することができるブレード着脱具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレード着脱具は、ワッシャーブレードを切削装置のスピンドル先端に固定されたフランジに着脱するためのブレード着脱具であって、円柱状の本体と、該本体の一端面の外周には、該ワッシャーブレードに対応する位置で円周方向に複数形成され、該ワッシャーブレードを吸引保持する吸引孔と、気体を供給する供給部と、気体を排出する排出部と、該吸引孔に負圧を生成する流路と、を少なくとも備え、該ワッシャーブレードを該本体の一端面に吸引保持する際は、該吸引孔に発生する負圧によって吸引保持され、該ワッシャーブレードの吸引保持を解除する際は、該排出部を塞ぐことによって気体が該吸引孔から排出して該ワッシャーブレードの吸引保持を解除することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、装着時のワッシャーブレードの破損を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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