特許ウォッチ

公開番号2025001135
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-08
出願番号2023100560
出願日2023-06-20
発明の名称研削装置
出願人株式会社タカトリ
代理人個人
主分類B24B 45/00 20060101AFI20241225BHJP(研削;研磨)
要約【課題】砥石ユニットを交換する際に、簡単かつ低コストで交換作業を行えるようにした研削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル2を移動させるインデックステーブル3の上面に、砥石ユニット5を載置させる載置部材7を設ける。そして、チャックテーブル2を回転させて、載置部材7をスピンドル4の下方まで移動させ、スピンドル4を下降させて、砥石ユニット5を磁着させていた保持装置6の磁着状態を消磁状態に切り替え、砥石ユニット5を載置部材7の上に載置させて回収できるようにする。一方、新たな砥石ユニット5を取り付ける場合は、載置部材7に設けられたピン72に砥石ユニット5を取り付け、インデックステーブル3を回転させて、スピンドル4の回転軸と砥石ユニットの回転軸を位置合わせした状態で、スピンドル4を下降させて砥石ユニット5を磁着させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持しながら回転するチャックテーブルと、
当該チャックテーブルを移動させるインデックステーブルと、
前記チャックテーブルに保持された被加工物の表面に接触して、被加工物を研削する砥石ユニットと、
当該砥石ユニットを昇降させるとともに、当該砥石ユニットを回転させるスピンドルと、
当該スピンドルに前記砥石ユニットを着脱可能に保持させる保持装置と、
当該保持装置における前記砥石ユニットの取付状態と取外状態を切り替える切替部と、
を備えてなる研削装置において、
前記インデックステーブル上に設けられ、前記砥石ユニットを載置するための載置部材と、
前記スピンドルを下降させた状態で前記切替部を取外状態に切り替え、前記砥石ユニットを前記インデックステーブル上の載置部材に載置させる制御部と、
を設けるようにしたことを特徴とする研削装置。
続きを表示（約 320 文字）【請求項２】
前記保持装置が、磁石によって前記砥石ユニットを磁着させるように構成されるものである請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
前記載置部材に載置された砥石ユニットを前記スピンドルの下方に移動させた状態において、前記スピンドルの回転軸と前記砥石ユニットの回転軸とを一致させるための位置決め部材を前記載置部材に設けるようにした請求項１に記載の研削装置。
【請求項４】
前記インデックステーブルが、チャックテーブルを収容する複数の開口部を備えてなるものであり、
前記載置部材が、前記インデックステーブルの隣接する開口部と開口部との間に設けられるものである請求項１に記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハの表面を研削する研削装置に関するものであって、より詳しくは、ウエハを研削するための砥石ユニットを簡単に交換できるようにした研削装置に関するものである。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ワイヤーソーで薄く切断された半導体のウエハは、研削装置で更に薄く研削されている。このような研削装置を、図６に示す。
【０００３】
図６は研削装置を上面から見た図であって、符号９１は、ワイヤーソーで切断されたウエハ９０を保持しながら回転させるチャックテーブルであり、また、符号９２は、チャックテーブル９１を公転させるインデックステーブルである。また、符号９３は、チャックテーブル９１に保持されたウエハ９０を研削する砥石を備えた砥石ユニットであって、ウエハ９０の表面に向かって昇降させるスピンドル９４に取り付けられるものである。そして、このような構成において、チャックテーブル９１のＺ軸方向の回転軸と、砥石ユニット９３を保持するスピンドル９４のＺ軸方向の回転軸を横方向にずらし、チャックテーブル９１と砥石ユニット９３とをそれぞれ回転させることによって、ウエハ９０の表面を砥石ユニット９３で粗研削し、次いて、インデックステーブル９２を回転させて、隣のスピンドル９４の下方で仕上研削させるようにしている。
【０００４】
ところで、このような砥石ユニットは、一定期間使用された後、新しい砥石ユニットに交換される。
【０００５】
このような古い砥石ユニットを新しい砥石ユニットに交換する方法に関連して、下記の特許文献１に示す方法などが提案されている。
【０００６】
この特許文献１（第６２段落参照）には、スピンドルの下部に電磁石を設けておくとともに、その電磁石に磁着する砥石フランジを備えた砥石パッドを設け、電磁石の磁着状態と消磁状態を切り替えることによって、新しい砥石パッドに交換できるようにしたものである。このようにすれば、従来のように、交換作業時に、下方から工具を入れてネジを取り外す必要がなくなるため、交換作業を楽に行うことができるようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００１―１４８３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような構成を利用して砥石ユニットを交換する場合においても、次のような問題がある。
【０００９】
すなわち、一般的に、砥石ユニットを交換する場合、スピンドルを上方位置まで移動させ、その下方に大きな空間を形成した後、砥石ユニットを取り外して交換するようにしていたが、このとき、比較的重量のある砥石ユニットを両手で支えなければならず、一人で作業するのが困難になる。一方、特許文献１に示すように、アームなどの装置を用いて自動的に砥石ユニットを交換できるようにしてもよいが、このようにした場合、装置が複雑になり、また、コストも高くなるといった問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、上記課題に着目してなされたもので、砥石ユニットを交換する際に、簡単かつ低コストで交換作業を行えるようにした研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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