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公開番号2024168153
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023084590
出願日2023-05-23
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/02 20060101AFI20241128BHJP(研削;研磨)
要約【課題】切削水を使用する加工装置において、大量の切削水が使用されて不経済であるという問題を解消できる加工装置を提供する。
【解決手段】ウエーハWを保持するチャックテーブル7と、チャックテーブル7に保持されたウエーハWを切削する切削手段9と、チャックテーブル7と切削手段9とを相対的に加工送りする送り手段と、を含み、切削手段9は、外周に切り刃91aを備えた切削ブレード91と、切削ブレード91を回転可能に支持する端部を備えたスピンドル92と、スピンドル92を回転可能に支持し、駆動源を備えたスピンドルハウジング93と、スピンドルハウジング93の端部に装着され切削ブレード91を覆うカバー手段94とを含み、カバー手段94は、切削ブレード91を冷却するマイクロアイス130を噴射するマイクロアイス噴射ノズル95、96を備えている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を加工する加工装置であって、
板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、を含み、
該切削手段は、外周に切り刃を備えた切削ブレードと、該切削ブレードを回転可能に支持する端部を備えたスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持し、駆動源を備えたスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの端部に装着され切削ブレードを覆うカバー手段と、を含み、
該カバー手段は、切削ブレードを冷却するマイクロアイスを噴射するマイクロアイス噴射ノズルを備えている加工装置。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
該マイクロ噴射ノズルは、切削ブレードを挟むように配設された切り刃の側面にマイクロアイスを噴射する一対の側面ノズル、又は切削ブレードの切り刃の先端に向けてマイクロアイスを噴射する先端側ノズルの少なくともいずれかを含む請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該マイクロアイス噴射ノズルは、一端からエアーを供給するエアー供給パイプと、該エアー供給パイプの他端に配設されエアーを供給する流路を絞る絞り部及び該絞り部に連結された拡張部を含む噴射部と、該噴射部の絞り部に他端が連結され一端から切削水を供給する切削水供給パイプとを含み、
該エアー供給パイプに供給されるエアーの圧力と、該噴射部の絞り部に供給される切削水の流量とが調整可能であり、該エアーの圧力を０．５～１．０ＭＰａの範囲で調整し、該切削水の流量を５～５０ｍＬ／分の範囲で調整することで、マイクロアイス噴射ノズルから噴射されるマイクロアイスの流量、及び硬さが調整される請求項２に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割されて携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段とを備え、該切削ブレードとウエーハの加工点とに切削水を供給しながらウエーハを個々のデバイスチップに分割することができる（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－３６２７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来のダイシング装置においては、切削水として１分間に２～３Ｌの水が使用され、1台のダイシング装置を８時間稼働すると、約１ｔの純水が切削水として使用されることになり、不経済であるという問題がある。また、この問題は、加工後の切削水を濾過して純水化する廃液濾過装置を使用したとしても、該廃液濾過装置の稼働率が高くなり、同様に不経済であるという問題が生じ得る。
【０００６】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、切削水を使用する加工装置において、大量の切削水が使用されて不経済であるという問題を解消できる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を加工する加工装置であって、板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、を含み、該切削手段は、外周に切り刃を備えた切削ブレードと、該切削ブレードを回転可能に支持する端部を備えたスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持し、駆動源を備えたスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの端部に装着され切削ブレードを覆うカバー手段とを含み、該カバー手段は、切削ブレードを冷却するマイクロアイスを噴射するマイクロアイス噴射ノズルを備えている加工装置が提供される。
【０００８】
該マイクロ噴射ノズルは、切削ブレードを挟むように配設された切り刃の側面にマイクロアイスを噴射する一対の側面ノズル、又は切削ブレードの切り刃の先端に向けてマイクロアイスを噴射する先端側ノズルの少なくともいずれかを含むことが好ましい。また、該マイクロアイス噴射ノズルは、一端からエアーを供給するエアー供給パイプと、該エアー供給パイプの他端に配設されエアーを供給する流路を絞る絞り部及び該絞り部に連結された拡張部を含む噴射部と、該噴射部の絞り部に他端が連結され一端から切削水を供給する切削水供給パイプと、を含み、該エアー供給パイプに供給されるエアーの圧力と、該噴射部の絞り部に供給される切削水の流量とが調整可能であり、該エアーの圧力を０．５～１．０ＭＰａの範囲で調整し、該切削水の流量を５～５０ｍＬ／分の範囲で調整することで、マイクロアイス噴射ノズルから噴射されるマイクロアイスの流量、及び硬さが調整するようにしてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の加工装置は、板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、を含み、該切削手段は、外周に切り刃を備えた切削ブレードと、該切削ブレードを回転可能に支持する端部を備えたスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持し、駆動源を備えたスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの端部に装着され切削ブレードを覆うカバー手段とを含み、該カバー手段は、切削ブレードを冷却するマイクロアイスを噴射するマイクロアイス噴射ノズルを備えていることから、切削ブレード及び加工点を冷却すると共に、異物の除去を行う洗浄効果を確保しつつ、純水をそのまま切削水として使用する場合に比べ、純水の使用量を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
ダイシング装置の全体斜視図である。
（ａ）図１に示すダイシング装置に装着される切削手段の斜視図、（ｂ）（ａ）に示す切削手段の分解斜視図である。
（ａ）図２（ｂ）のＡ－Ａ断面図、（ｂ）図２（ｂ）のＢ－Ｂ断面図である。
図１に示すダイシング装置において切削加工が実施される態様を示す斜視図である。
（ａ）図４に示す切削加工時における切削手段の図２（ｂ）のＡ－Ａ断面図に対応する断面図、（ｂ）図４に示す切削加工時における切削手段の一部を断面図として示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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