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公開番号2025003046
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-09
出願番号2023103500
出願日2023-06-23
発明の名称研磨装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 47/12 20060101AFI20241226BHJP(研削;研磨)
要約【課題】調整工数を削減しつつ、基板を高精度に平坦化することが可能な研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨装置1は、基板を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された基板を研磨する研磨ユニット20と、を備え、研磨ユニット20は、研磨パッド512を装着する装着面431を有する装着部43と、装着部43を回転させるためのスピンドルモータと、スピンドルモータの回転を装着部に伝達するための等速ジョイント41と、研磨パッド512を基板の傾きに追従させる傾動機構42と、を有し、傾動機構42は、装着部43に連結し、装着部43の傾動とともに傾動する可動側球面部材50と、可動側球面部材50を傾動可能に支持する固定側球面部材49と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
研磨パッドを用いて基板を研磨する研磨装置であって、
基板を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された基板を研磨する研磨ユニットと、を備え、
該研磨ユニットは、
研磨パッドを装着する装着面を有する装着部と、
該装着部を回転させるための回転駆動源と、
該回転駆動源の回転を該装着部に伝達するための等速ジョイントと、
該研磨パッドを基板の傾きに追従させる傾動機構と、を有し、
該傾動機構は、
該装着部に連結し、該装着部の傾動とともに傾動する球面部と、
該球面部を傾動可能に支持する球面座と、を備えることを特徴とする、研磨装置。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
該装着部は、該装着部に装着された該研磨パッドが基板に接触していない場合に、自重によって水平に保持されることを特徴とする、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
該球面部は、金属を含んで構成され、
該球面座は、樹脂を含んで構成されることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
該保持テーブルは、基板にかえて研磨パッドを保持し、
該装着部は、研磨パッドにかえて基板を装着し、
該傾動機構は、基板を研磨パッドに追従させることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の研磨装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等の基板を処理する基板処理装置の一例として、研磨処理を行うＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）装置が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような研磨装置においては、基板と研磨パッドとを互いに回転させながら当接させ、この当接部に対して加工対象に応じたスラリーを供給し、化学的・機械的な研磨作用を生じさせることで、基板表面を研磨している。
【０００４】
ここで、基板を平坦に研磨するためには、基板と研磨パッドとを平行にして研磨パッドによる押し付け圧力を均一にする必要がある。
【０００５】
従って、従来から用いられてきた研磨装置は、レベリングボルト等を用いて基板と研磨パッドとの平行度調整を行っているが、熟練者でも工数のかかる煩雑な作業であることが問題視されていた。
【０００６】
上述の問題を解決するため、研磨パッド側に首振り機構（ジンバル機構）を設け、研磨パッド側を基板に自動で追従させる技術が種々提案されている（例えば、特許文献２及び特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特表平１１－５０５１８１号公報
特許第６７２１９６７号公報
特開２０１２－９１２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２に記載されているように、研磨パッドを駆動させる駆動軸の回転を研磨パッドに伝達するために駆動ピンを使用する方法においては、駆動軸の角速度と研磨パッドの角速度とが同じにならないため、モータを一定の回転数で回転させても研磨パッドの回転数が変動し、研磨ムラが発生してしまい基板を平坦化することが困難であった。
【０００９】
また、特許文献２及び特許文献３に記載されているように、ベローズ（蛇腹）を用いて研磨パッドを基板に平行に倣わせる方法では、ベローズの変形により反発力が生じてしまい、パッド面内で押し付け圧力の偏りが生じてしまうという課題があり、基板を平坦化することが困難であった。
【００１０】
本発明の目的は、調整工数を削減しつつ、基板を高精度に平坦化することが可能な研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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