特許ウォッチ

公開番号2025011359
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023113407
出願日2023-07-11
発明の名称光源診断方法、および状態検査方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類G01N 21/956 20060101AFI20250117BHJP(測定;試験)
要約【課題】光源の状態を容易に診断することが可能となる光源診断方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一部が透明部材で形成された保持面31を有する保持テーブル11と、保持面31の一方側に配置された光源22と、保持面31の他方側に配置された撮像ユニット21と、を備え、保持テーブル11に保持され分割予定ラインに沿って分割溝が形成された被加工物51の加工状態を検査する検査装置1において、光源22の状態を診断する光源診断方法であって、光源22から保持面31に光を照射し、撮像ユニット21で保持面31を透過した光を撮像する保持面撮像ステップと、保持面撮像ステップで取得した透過画像71の輝度から光源22の状態を診断する光源診断ステップと、を備える。
【選択図】図1B

特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも一部が透明部材で形成された保持面を有する保持テーブルと、
該保持面の一方側に配置された光源と、
該保持面の他方側に配置された撮像ユニットと、を備え、
該保持テーブルに保持され分割予定ラインに沿って分割溝が形成された被加工物の加工状態を検査する検査装置において、
該光源の状態を診断する光源診断方法であって、
該光源から該保持面に光を照射し、
該撮像ユニットで該保持面を透過した光を撮像する保持面撮像ステップと、
該保持面撮像ステップで取得した画像の輝度から該光源の状態を診断する光源診断ステップと、
を備えることを特徴とする光源診断方法。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
該光源診断ステップにおいて、
該画像の輝度がしきい値未満である場合、
該画像の輝度が該しきい値以上になるように該光源に供給する電流値を調整する調整ステップを実施する
ことを特徴とする請求項１に記載の光源診断方法。
【請求項３】
該調整ステップにおいて、
該光源へ供給する該電流値を所定値まで増加させても該画像の輝度が該しきい値以上とならない場合は、
該光源が異常と診断する
ことを特徴とする請求項２に記載の光源診断方法。
【請求項４】
該保持面撮像ステップは、
該光源と、該光源と対向する該撮像ユニットと、を
該保持面に対してＸ方向に相対的に移動させながら、複数領域で実施し、
該光源は、該Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って配置された複数の発光素子を有し、
該光源診断ステップは、
該Ｘ方向に連続的に輝度がしきい値未満である該画像が取得された場合は、
該発光素子の異常と診断し、
該Ｘ方向に非連続的に輝度がしきい値未満である該画像が取得された場合は、
該保持面の異常と診断する
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光源診断方法。
【請求項５】
請求項１から３の何れか１項に記載の光源診断方法を用いた該被加工物の該加工状態を検査する状態検査方法であって、
該保持面撮像ステップと、
該光源診断ステップと、の前に、
該保持面に該被加工物を保持し該光源で該被加工物を照射して、
該保持面と該分割溝と、を透過した光を撮像する分割溝撮像ステップと、
該分割溝撮像ステップで取得した該画像において、該分割予定ラインの位置に該分割溝が検出できる場合、該被加工物が分割されていると判定する分割判定ステップと、
を実施することを特徴とする状態検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源診断方法、および状態検査方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
少なくとも一部が光源からの光を透過する透明部材で形成された保持面を有する保持テーブルに、分割溝が形成された被加工物を保持し、保持面の一方側から光源で照射し、保持面の他方側に配置された撮像ユニットで該保持面と分割溝とを透過した光を取得し、分割溝が形成されているかを検査する検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－２００６９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術においては、光源が劣化すると、被加工物を透過する光が弱まるために、被加工物に形成された分割溝を正常に検査することができなかった。したがって、光源の状態を容易に診断させる、という解決すべき課題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、光源の状態を容易に診断することが可能となる光源診断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光源診断方法は、少なくとも一部が透明部材で形成された保持面を有する保持テーブルと、該保持面の一方側に配置された光源と、該保持面の他方側に配置された撮像ユニットと、を備え、該保持テーブルに保持され分割予定ラインに沿って分割溝が形成された被加工物の加工状態を検査する検査装置において、該光源の状態を診断する光源診断方法であって、該光源から該保持面に光を照射し、該撮像ユニットで該保持面を透過した光を撮像する保持面撮像ステップと、該保持面撮像ステップで取得した画像の輝度から該光源の状態を診断する光源診断ステップと、を備える。
【０００７】
本発明の光源診断方法は、該光源診断ステップにおいて、該画像の輝度がしきい値未満である場合、該画像の輝度が該しきい値以上になるように該光源に供給する電流値を調整する調整ステップを実施してもよい。
【０００８】
本発明の光源診断方法は、該調整ステップにおいて、該光源へ供給する該電流値を所定値まで増加させても該画像の輝度が該しきい値以上とならない場合は、該光源が異常と診断してもよい。
【０００９】
本発明の光源診断方法は、該保持面撮像ステップは、該光源と、該光源と対向する該撮像ユニットと、を該保持面に対してＸ方向に相対的に移動させながら、複数領域で実施し、該光源は、該Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って配置された複数の発光素子を有し、該光源診断ステップは、該Ｘ方向に連続的に輝度がしきい値未満である該画像が取得された場合は、該発光素子の異常と診断し、該Ｘ方向に非連続的に輝度がしきい値未満である該画像が取得された場合は、該保持面の異常と診断してもよい。
【００１０】
本発明の状態検査方法は、光源診断方法を用いた該被加工物の該加工状態を検査する状態検査方法であって、該保持面撮像ステップと、該光源診断ステップと、の前に、該保持面に該被加工物を保持し該光源で該被加工物を照射して、該保持面と該分割溝と、を透過した光を撮像する分割溝撮像ステップと、該分割溝撮像ステップで取得した該画像において、該分割予定ラインの位置に該分割溝が検出できる場合、該被加工物が分割されていると判定する分割判定ステップと、を実施してもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許