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公開番号2025008349
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023110449
出願日2023-07-05
発明の名称研削ホイール
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24D 7/06 20060101AFI20250109BHJP(研削;研磨)
要約【課題】アンモニアガスを放出するフェノール樹脂を含むボンド材を有する砥石を備えるものの、ケースから取り出す際の取り扱いが容易な研削ホイールを提供する。
【解決手段】被加工物を研削するための研削ホイールであって、一面に環状の溝が形成されているホイール基台と、それぞれが溝に挿入されるとともに一面から突出するように設けられている複数の砥石と、溝において複数の砥石を固定するための接着剤と、を備え、砥石は、アンモニアガスを放出するフェノール樹脂を含むボンド材と、ボンド材に分散されている砥粒と、を有し、接着剤には、アンモニアガスを吸着するための吸着剤が分散されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削するための研削ホイールであって、
一面に環状の溝が形成されているホイール基台と、
それぞれが該溝に挿入されるとともに該一面から突出するように設けられている複数の砥石と、
該溝において該複数の砥石を固定するための接着剤と、を備え、
該砥石は、アンモニアガスを放出するフェノール樹脂を含むボンド材と、該ボンド材に分散されている砥粒と、を有し、
該接着剤には、該アンモニアガスを吸着するための吸着剤が分散されている研削ホイール。
続きを表示（約 61 文字）【請求項２】
該吸着剤は、沸石、シリカゲル又は活性炭の少なくとも一つを含む請求項１に記載の研削ホイール。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削するための研削ホイールに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されたウェーハ等の被加工物を薄化してから複数のデバイスの境界に沿って分割することで製造される。
【０００３】
被加工物を薄化する方法としては、研削装置における被加工物の裏面側の研削が挙げられる。この研削装置は、例えば、被加工物の表面側を保持するためのチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に設けられ、かつ、研削ホイールが下端部に装着されたスピンドルと、を備える（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
なお、研削ホイールは、一般的に、一面に環状の溝が形成されているホイール基台と、それぞれが溝に挿入されるとともにホイール基台の一面から突出するように設けられている複数の砥石と、溝において複数の砥石を固定するための接着剤と、を含む。また、この砥石は、ボンド材と、ボンド材に分散されている砥粒と、を有する。
【０００５】
そして、研削装置においては、例えば、被加工物の表面側を保持するチャックテーブルとスピンドルの下端部に装着された研削ホイールとの双方を回転させた状態で、被加工物の裏面に複数の砥石を接触させる。これにより、被加工物の裏面側が研削されて被加工物が薄化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１４－１２４６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
研削ホイールは、一般的に、専用のケースに収容された状態で保管される。ただし、研削ホイールに含まれる砥石においては、そのボンド材として、アンモニアガスを放出するフェノール樹脂が適用されることがある。この場合、このケースにおけるアンモニアガスの濃度が高くなることがある。そして、アンモニアガスには刺激臭があるため、このケースから研削ホイールを取り出す際に研削ホイールの取り扱いが困難になるおそれがある。
【０００８】
この点に鑑み、本発明の目的は、アンモニアガスを放出するフェノール樹脂を含むボンド材を有する砥石を備えるものの、ケースから取り出す際の取り扱いが容易な研削ホイールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、被加工物を研削するための研削ホイールであって、一面に環状の溝が形成されているホイール基台と、それぞれが該溝に挿入されるとともに該一面から突出するように設けられている複数の砥石と、該溝において該複数の砥石を固定するための接着剤と、を備え、該砥石は、アンモニアガスを放出するフェノール樹脂を含むボンド材と、該ボンド材に分散されている砥粒と、を有し、該接着剤には、該アンモニアガスを吸着するための吸着剤が分散されている研削ホイールが提供される。
【００１０】
好ましくは、該吸着剤は、沸石、シリカゲル又は活性炭の少なくとも一つを含む。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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