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公開番号2025008521
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023110758
出願日2023-07-05
発明の名称試験装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 3/20 20060101AFI20250109BHJP(測定;試験)
要約【課題】複数種類の試験を実施することができる試験装置を提供すること。
【解決手段】試験装置1は、チップの裏面を支持する支持台210と、支持台210で支持されたチップを押圧する押圧ユニット220と、押圧ユニット220がチップを押圧する際の荷重を計測する荷重計測器223とを備え、押圧ユニット220は、支持台210で支持されたチップを押圧して3点曲げ試験を行う第1試験用圧子227と、支持台210で支持されたチップを押圧して4点曲げ試験を行う第2試験用圧子228と、を有し、支持台210で支持されたチップを押圧ユニットで押圧する際に、第1試験用圧子227と第2試験用圧子228とが選択自在に構成される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
試験片の下面を支持する支持台と、該支持台で支持された試験片を押圧する押圧ユニットと、該押圧ユニットが試験片を押圧する際の荷重を計測する荷重計測器と、を備えた試験装置であって、
該押圧ユニットは、該支持台で支持された試験片を押圧して第１の試験を行う第１試験用圧子と、該支持台で支持された試験片を押圧して第１の試験とは異なる第２の試験を行う第２試験用圧子と、を有し、
該支持台で支持された試験片を該押圧ユニットで押圧する際に該第１試験用圧子と該第２試験用圧子とが選択自在に構成される、試験装置。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
該支持台は、所定の間隔を有して配設されるとともに、それぞれ第１方向に伸長し試験片の下面を支持する一対の支持部を有し、
該第１試験用圧子は、該支持部で支持された試験片の上面に当接し押圧する該第１方向に伸長した第１端部を含み、
該第２試験用圧子は、該支持部で支持された試験片の上面にそれぞれ当接し押圧する該第１方向に伸長した第２端部と、該第２端部に隣接する第３端部と、を含む、請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
該第１試験用圧子と、該第２試験用圧子とは、該第１方向に並設される、請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
該支持台は、該第１試験用圧子で押圧される試験片が載置される第１試験用領域と、該第１方向において該第１試験用領域に隣接し該第２試験用圧子で押圧される試験片が載置される第２試験用領域と、を含み、
該第１試験用領域は、該第１試験用圧子に対面し、該第２試験用領域は該第２試験用圧子に対面する、請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
該試験片を保持する保持面を有し保持した試験片を該支持台上に載置する搬送ユニットを備え、
該搬送ユニットは、該第１の試験を行う試験片を該第１試験用領域に搬送し、該第２の試験を行う試験片を該第２試験用領域に搬送する、請求項４に記載の試験装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験片の強度を測定する試験装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
試験片の強度を測定するために３点曲げ試験が広く利用されている。そして、３点曲げ試験によって試験片の強度を測定するための試験装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－９４８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、試験片の強度を測定するために４点曲げ試験も広く利用されており、複数の試験種類を実施できる試験装置が切望されている。
【０００５】
本発明の目的は、複数種類の試験を実施することができる試験装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の試験装置は、試験片の下面を支持する支持台と、該支持台で支持された試験片を押圧する押圧ユニットと、該押圧ユニットが試験片を押圧する際の荷重を計測する荷重計測器と、を備えた試験装置であって、該押圧ユニットは、該支持台で支持された試験片を押圧して第１の試験を行う第１試験用圧子と、該支持台で支持された試験片を押圧して第１の試験とは異なる第２の試験を行う第２試験用圧子と、を有し、該支持台で支持された試験片を該押圧ユニットで押圧する際に該第１試験用圧子と該第２試験用圧子とが選択自在に構成されることを特徴とする。
【０００７】
前記試験装置において、該支持台は、所定の間隔を有して配設されるとともに、それぞれ第１方向に伸長し試験片の下面を支持する一対の支持部を有し、該第１試験用圧子は、該支持部で支持された試験片の上面に当接し押圧する該第１方向に伸長した第１端部を含み、該第２試験用圧子は、該支持部で支持された試験片の上面にそれぞれ当接し押圧する該第１方向に伸長した第２端部と、該第２端部に隣接する第３端部と、を含んでも良い。
【０００８】
前記試験装置において、該第１試験用圧子と、該第２試験用圧子とは、該第１方向に並設されても良い。
【０００９】
前記試験装置において、該支持台は、該第１試験用圧子で押圧される試験片が載置される第１試験用領域と、該第１方向において該第１試験用領域に隣接し該第２試験用圧子で押圧される試験片が載置される第２試験用領域と、を含み、該第１試験用領域は、該第１試験用圧子に対面し、該第２試験用領域は該第２試験用圧子に対面しても良い。
【００１０】
前記試験装置において、該試験片を保持する保持面を有し保持した試験片を該支持台上に載置する搬送ユニットを備え、該搬送ユニットは、該第１の試験を行う試験片を該第１試験用領域に搬送し、該第２の試験を行う試験片を該第２試験用領域に搬送しても良い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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