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公開番号2024179233
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023097925
出願日2023-06-14
発明の名称スピンドルユニット
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 55/06 20060101AFI20241219BHJP(研削;研磨)
要約【課題】スピンドルの先端部への加工屑の付着によるスピンドルの回転ロックの発生を防ぐことができるスピンドルユニットを提供すること。
【解決手段】先端にマウント66によって切削ブレード(加工具)65を装着したスピンドル62と、該スピンドル62を回転駆動する電動モータ(駆動源)Mと、スピンドル62をベアリング63によって回転可能に支持するハウジング61を備えるスピンドルユニット60は、軸方向においてハウジング61とマウント66との間に配置されてスピンドル62の先端部外周を囲繞する円環状のフロントキャップ72と、該フロントキャップ72に水を供給する水供給部と、を備え、フロントキャップ72の少なくともマウント66に対向する外周面側をポーラス部材62Bで構成し、該ポーラス部材72Bに水供給源74から水を供給するよう構成する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
先端にマウントによって加工具を装着したスピンドルと、該スピンドルを回転駆動する駆動源と、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングを備えるスピンドルユニットであって、
軸方向において該ハウジングと該マウントとの間に配置されて該スピンドルの先端部外周を囲繞する円環状のフロントキャップと、
該フロントキャップに水を供給する水供給部と、
を備え、
該フロントキャップの少なくとも該マウントに対向する外周面側をポーラス部材で構成し、該ポーラス部材に該水供給部から供給した水を該ポーラス部材の外周面から噴出させるようにしたことを特徴とするスピンドルユニット。
続きを表示（約 97 文字）【請求項２】
前記フロントキャップの全体をポーラス部材で構成し、該フロントキャップの内周面と外周面から水を噴出させるようにしたことを特徴とする請求項１記載のスピンドルユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドルの先端に装着された加工具を高速回転させるスピンドルユニットに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体チップの製造工程においては、円板状の半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の表面が格子状に配列されたストリートと称される分割予定ラインによって多数の矩形領域に区画され、各矩形領域にＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ形成される。そして、このように多数のデバイスが形成されたウェーハをダイサーと称される切削装置の切削ブレードで分割予定ラインに沿って切削することによって、複数の半導体チップが得られる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、切削装置には、切削ブレードを高速回転させるスピンドルユニットが備えられており、このスピンドルユニットにおいては、先端に切削ブレードが取り付けられたスピンドルが電動モータによって高速回転し、該スピンドルと共に切削ブレードが高速回転することによってウェーハが分割予定ラインに沿って切削される。このウェーハの切削加工時には、切削ブレードがウェーハに切り込んだ切削部に発生する摩擦熱を除去するなどの目的で、噴射ノズルから切削水が切削ブレードに向かって噴射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１７－２１２３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、ウェーハの切削加工中に高速回転する切削ブレードに向けて切削水を噴射すると、切削屑を含んだ切削水の噴霧がスピンドルの先端部に付着し、その状態でスピンドルの回転を停止させ、切削水が乾燥するとスピンドルに付着した切削水に含まれる切削屑がスピンドルの先端部に固着することで、スピンドルの回転がロックしてしまうという問題が発生する可能性がある。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、スピンドルの先端部への加工屑の付着によるスピンドルの回転ロックの発生を防ぐことができるスピンドルユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明は、先端にマウントによって加工具を装着したスピンドルと、該スピンドルを回転駆動する駆動源と、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングを備えるスピンドルユニットであって、軸方向において該ハウジングと該マウントとの間に配置されて該スピンドルの先端部外周を囲繞する円環状のフロントキャップと、該フロントキャップに水を供給する水供給部と、を備え、該フロントキャップの少なくとも該マウントに対向する外周面側をポーラス部材で構成し、該ポーラス部材に該水供給部から供給した水を該ポーラス部材の外周面から噴出させるようにしたことを特徴とする。
この場合、前記フロントキャップの全体をポーラス部材で構成し、該フロントキャップの内周面と外周面から水を噴出させるようにしてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、切削加工時に水供給部からフロントキャップのポーラス部材に供給される水がポーラス材の外周面から噴出されるため、加工具の高速回転によって発生する加工水の噴霧に含まれる加工屑のスピンドルの先端部への付着が防がれ、加工屑の固着によるスピンドルの回転ロックが確実に防がれる。そして、フロントキャップの全体をポーラス部材で構成すると、該ポーラス部材の内周面とスピンドルの外周面との間の環状隙間に水が浸入して該環状隙間に水シールを形成するため、加工屑を含んだ加工水のスピンドルの外周面の軸方向に沿う浸入が防がれ、加工屑のスピンドルの外周面への固着も防がれて該スピンドルの回転ロックが一層確実に防がれる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明に係るスピンドルユニットを備える切削装置の斜視図である。
ウェーハとリングフレームの斜視図である。
本発明の第１実施形態に係るスピンドルユニットの側断面図である。
図３のＡ部拡大詳細図である。
図４のＢ－Ｂ線断面図である。
本発明の第２実施形態に係るスピンドルユニット要部の側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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