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公開番号2025002923
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-09
出願番号2023103315
出願日2023-06-23
発明の名称搬送車
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類G05D 1/43 20240101AFI20241226BHJP(制御;調整)
要約【課題】走行路のラインに沿って正確に走行することができる搬送車を提供すること。
【解決手段】加工装置100の上方に設置された走行路70上を誘導用の第1マークM1に沿って走行して被加工物を加工装置100に搬送する搬送車1は、板状のシャーシ2の上に配置された基板3と、該基板3に配置され第1マークM1を検知する第1センサ40と、を備え、該第1センサ40は、第1マークM1に向かって光L1を出射する第1発光部41と、該第1発光部41から出射して該第1マークM1で反射した反射光L2を受光する第1受光部42と、を備え、基板3は、第1受光部42を収容する第1受光部収容穴3aを備えている。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
加工装置の上方に設置された走行路上を誘導用の第１マークに沿って走行して被加工物を加工装置に搬送する搬送車であって、
板状のシャーシの上に配置された基板と、
該基板に配置され該第１マークを検知する第１センサと、
を備え、
該第１センサは、該第１マークに向かって光を出射する第１発光部と、該第１発光部から出射して該第１マークで反射した反射光を受光する第１受光部と、を備え、
該基板は、該第１受光部を収容する第１受光部収容穴を備える、
ことを特徴とする搬送車。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
該基板は、該第１発光部を収容する第１発光部収容穴を備えることを特徴とする請求項１記載の搬送車。
【請求項３】
該走行路は、該第１マークに直交し走行方向に等間隔で配置された複数の第２マークを備えており、
該基板に配置され該第２マークを検知する第２センサを備え、
該第２センサは、該第２マークに向かって光を出射する第２発光部と、該第２発光部から出射して該第２マークで反射した反射光を受光する第２受光部と、を備え、
該基板は、該第２受光部を収容する第２受光部収容穴を備える、
ことを特徴とする請求項１または２記載の搬送車。
【請求項４】
該基板は、該第２発光部を収容する第２発光部収容穴を備えることを特徴とする請求項３記載の搬送車。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の加工装置の間を走行路に沿って走行して被加工物を各加工装置に搬送する搬送車に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、被加工物としてのウェーハを加工する研削装置などの加工装置は、クリーンルーム内に複数設置されているが、これらの複数の加工装置には、複数のウェーハを収納したカセットを作業者が運んでいる。また、加工装置よって加工された複数のウェーハは、カセット内に収納されるが、このカセットは、作業者によって加工装置から取り出されて別の加工装置へと運ばれている。
【０００３】
ところが、複数のウェーハが収納されたカセットを作業者が複数の加工装置の間を運ぶ作業は、面倒で効率が悪く、カセットの落下などの思わぬ事故を招く可能性がある。このため、カセットを保持した搬送車を、加工装置の上方に配設された走行路に沿って走行（自走）させることによって、ウェーハを複数の加工装置の間で受け渡し、受け取ることが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上述のように、搬送車を走行路に沿って走行（自走）させる場合、走行路上に搬送車の走行方向に沿って延在するライン（マーク）を、搬送車に設置されたセンサが非接触で検知することが行われており、これによって搬送車は、ラインから外れることなく該ラインに沿って走行（自走）することができる。
【０００５】
ここで、搬送路上のラインを非接触で検知する手法としては、ラインをカメラによって撮像することが考えられるが、この方式では、カメラユニットや画像処理ユニット、充電池などが大型化することなどから、これらの機器が高価にならざるを得ないという問題がある。
【０００６】
そこで、ラインを非接触で光学的に検知する反射型フォトセンサを採用することが考えられる。この反射型フォトセンサは、発光部と受光部を備え、発光部からラインに向かって光を出射させ、ラインで反射して受光部に戻ってくる反射光を該受光部が検知することによって、ラインを非接触で検知するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０２１－０８２０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、反射型フォトセンサを用いて非接触でラインを検知する方式においては、ラインで一度反射した反射光が搬送車の下面で再び反射し、この反射光が再びラインに向かい、該ラインで再反射して受光部に戻って該受光部によって受光されるため、ラインが誤検知され、搬送車がラインに沿って蛇行することなく正確に走行することができないという問題がある。また、反射型フォトセンサの受光部が、クリーンルーム内の照明に使用される蛍光灯などの照明器具からの照明光を受光したり、発光部から出射する受光部が照明光を受光しないような色の光をそのままダイレクトに受光するため、ラインが誤検知され、同じく搬送車がラインに沿って正確に走行することができないという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、走行路のラインに沿って正確に走行することができる搬送車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための本発明は、加工装置の上方に設置された走行路上を誘導用の第１マークに沿って走行して被加工物を加工装置に搬送する搬送車であって、板状のシャーシの上に配置された基板と、該基板に配置され該第１マークを検知する第１センサと、
を備え、該第１センサは、該第１マークに向かって光を出射する第１発光部と、該第１発光部から出射して該第１マークで反射した反射光を受光する第１受光部と、を備え、該基板は、該第１受光部を収容する第１受光部収容穴を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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