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公開番号2025008802
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023111315
出願日2023-07-06
発明の名称情報伝達方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類G06F 11/07 20060101AFI20250109BHJP(計算;計数)
要約【課題】通信回線に接続されていない処理装置のエラー情報を容易に応答部に伝達することが可能となる情報伝達方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハを処理する処理装置10のエラー情報を外部サーバ30に伝達する情報伝達方法であって、処理装置10が、処理装置10のエラー情報を示すエラー識別コードを生成し、処理装置10の表示部13に表示するエラー識別コード生成ステップと、エラー識別コードを読み取る撮像ユニット26と、通信機能を備える通信ユニット25と、を有する通信機器20がエラー識別コードを読み取り、エラー識別コードに含まれるエラー情報を外部サーバ30に伝達するエラー情報伝達ステップと、を備える。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
処理対象物を処理する処理装置のエラー情報を応答部に伝達する情報伝達方法であって、
該処理装置が、
該処理装置の該エラー情報を示すエラー識別コードを生成し、該処理装置の表示部に表示するエラー識別コード生成ステップと、
該エラー識別コードを読み取る撮像ユニットと、通信機能を備える通信ユニットと、を有する通信機器が
該エラー識別コードを読み取り、該エラー識別コードに含まれる該エラー情報を該応答部に伝達するエラー情報伝達ステップと、
を備える情報伝達方法。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
該応答部から該処理装置に記録される情報においてエラーの解析に必要なデータの種類を該通信機器に伝達する要求ステップと、
該要求ステップにおける該応答部からの要求により生成された該データの伝達を要求する要求識別コードを該通信機器に表示する要求識別コード表示ステップと、
該要求識別コードを該処理装置に設置された撮像ユニットで読み取る要求読み取りステップと、
該処理装置が該要求識別コードによって要求された該データを含む回答識別コードを生成し、該処理装置の該表示部に表示する回答識別コード生成ステップと、
該通信機器が該回答識別コードを読み取り、該回答識別コードに含まれる情報を該応答部に伝達する回答伝達ステップと、
を備える請求項１に記載の情報伝達方法。
【請求項３】
該応答部から該処理装置を制御する任意の実行指示値を該通信機器に伝達する実行指令ステップと、
該応答部からの要求により生成された該実行指示値を含む実行識別コードを該通信機器に表示する実行識別コード表示ステップと、
該実行識別コードを該処理装置に設置された撮像ユニットで読み取り、該処理装置の制御ユニットが該実行指示値によって要求された実行指示に基づき制御する実行制御ステップと、
を備える請求項１または２に記載の情報伝達方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報伝達方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハなどの処理対象物を処理する処理装置が知られている。また、ネットワークに接続されていない処理装置に処理条件を設定できる基板処理システムが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１５９７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術においては、処理装置が通信回線に接続されていない場合には、処理装置を操作する作業者以外の応答部が処理装置のエラー情報を確認することが困難である。したがって、通信回線に接続されていない処理装置であっても、エラー情報を容易に伝達させる、という解決すべき課題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、通信回線に接続されていない処理装置のエラー情報を容易に応答部に伝達することが可能となる情報伝達方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の情報伝達方法は、処理対象物を処理する処理装置のエラー情報を応答部に伝達する情報伝達方法であって、該処理装置が、該処理装置の該エラー情報を示すエラー識別コードを生成し、該処理装置の表示部に表示するエラー識別コード生成ステップと、該エラー識別コードを読み取る撮像ユニットと、通信機能を備える通信ユニットと、を有する通信機器が該エラー識別コードを読み取り、該エラー識別コードに含まれる該エラー情報を該応答部に伝達するエラー情報伝達ステップと、を備える。
【０００７】
本発明の情報伝達方法は、該応答部から該処理装置に記録される情報においてエラーの解析に必要なデータの種類を該通信機器に伝達する要求ステップと、該要求ステップにおける該応答部からの要求により生成された該データの伝達を要求する要求識別コードを該通信機器に表示する要求識別コード表示ステップと、該要求識別コードを該処理装置に設置された撮像ユニットで読み取る要求読み取りステップと、該処理装置が該要求識別コードによって要求された該データを含む回答識別コードを生成し、該処理装置の該表示部に表示する回答識別コード生成ステップと、該通信機器が該回答識別コードを読み取り、該回答識別コードに含まれる情報を該応答部に伝達する回答伝達ステップと、を更に備えてもよい。
【０００８】
本発明の情報伝達方法は、該応答部から該処理装置を制御する任意の実行指示値を該通信機器に伝達する実行指令ステップと、該応答部からの要求により生成された該実行指示値を含む実行識別コードを該通信機器に表示する実行識別コード表示ステップと、該実行識別コードを該処理装置に設置された撮像ユニットで読み取り、該処理装置の制御ユニットが該実行指示値によって要求された実行指示に基づき制御する実行制御ステップと、を更に備えてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ネットワークに接続されていない処理装置のエラー情報を容易に応答部に伝達することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本実施形態の情報伝達方法を実行する情報伝達システムの一例を示す図である。
本実施形態の情報伝達方法のうち第１工程の一例を示すシーケンスチャートである。
本実施形態の情報伝達方法のうち第２工程の一例を示すシーケンスチャートである。
本実施形態の情報伝達方法のうち第３工程の一例を示すシーケンスチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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