特許ウォッチ

公開番号2025009270
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2023112154
出願日2023-07-07
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20250110BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工屑などの排水管内への堆積を防いで加工廃水を排水管内でスムーズに流して排出することができる加工装置を提供すること。
【解決手段】切削装置(加工装置)1において、切削水(加工水)を供給しつつウェーハ(被加工物)Wを加工することによって発生する切削屑(加工屑)を含む切削廃水(加工廃水)を排出する排水管81は、エアと水との混合流体を加工廃水の流れ方向上流から下流に向かうように内部に噴射する噴射部83を備えている。ここで、排水管81の切削廃水の流れ方向下流側から分岐管88を分岐させ、該分岐管88を吸引源89に接続してもよい。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
加工水を供給しつつ被加工物を加工することによって発生する加工屑を含む加工廃水を排水する排水管を備える加工装置であって、
前記排水管は、エアと水との混合流体を加工廃水の流れ方向上流から下流に向かうように内部に噴射する噴射部を備えることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記排水管の加工廃水の流れ方向下流側から分岐管を分岐させ、該分岐管を大気に開放し或いは吸引源に接続したことを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
前記噴射部にエアを供給するエア供給源と水を供給する水供給源と、
前記エア供給源から前記噴射部へのエア供給経路に設けられたエアバルブと、
前記水供給源から前記噴射部への水供給経路に設けられた水バルブと、
被加工物を加工しているときにのみ前記エアバルブと前記水バルブとを開いて前記噴射部から混合流体を噴射させる制御部と、
を備えることを特徴とする請求項１または２記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の加工によって発生した加工屑を含む加工廃水を排出する排水管を備える加工装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体チップの製造工程においては、円板状の薄い半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の表面が格子状に配列されたストリートと称される分割予定ラインによって多数の矩形領域に区画され、各矩形領域にＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ形成される。そして、このように多数のデバイスが形成されたウェーハをダイサーと称される切削装置の切削ブレードで分割予定ラインに沿って切削することによって、複数の半導体チップが得られる。
【０００３】
ところで、切削装置によるウェーハの切削は、切削ブレードに加工液である切削水を供給しつつ、切削ブレードを高速回転させることによってなされるが、切削ブレードの高速回転によって周囲に飛散する切削水（以下、「切削廃水」と称する）には、ウェーハの切削屑や端材が含まれている。このような切削屑や端材を含んだ切削廃水は、容器状のウォータケースに落下して回収され、ウォータケースの排水口から排水管を経てウォータケース外へと排出されている。
【０００４】
ところが、ウォータケース内においては、切削水の流れだけでは切削屑や端材が排水口へとスムーズに流れず、これらの切削屑や端材がウォータケースの底面に滞留して蓄積するという問題があった。
【０００５】
そこで、特許文献１には、流動ノズルからウォータケースの排水口に向かって水を噴射して切削屑や端材を排水口に向かってスムーズに流すようにした切削装置が提案されている。また、特許文献２には、ウォータケースの排水口を覆う網カゴを設置し、この網カゴで端材など回収するとともに、網カゴの下方から該網カゴに向けってエアを噴射するようにした加工装置が提案されている。さらに、特許文献３には、切削屑や端材をウォータケースの排出口に向けてスムーズに流すために、流体発振ノズルから高圧の水を排水口に向けて流すようにした切削装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－１３４４７５号公報
特開２０２２－０２０２８９号公報
特開２０２３－０３８８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１～３において提案されている手法によって切削屑や端材をウォータケースの排水口へと流すようにしても、排水口から延びる排水管の傾斜（勾配）が小さい場合には、切削屑や端材が排水管を流れないで堆積し、これらの切削屑や端材を含んだ切削廃水の流れを阻害するという問題が発生する。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、加工屑などの排水管内への堆積を防いで加工廃水を排水管内でスムーズに流して排出することができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための請求項１記載の発明は、加工水を供給しつつ被加工物を加工することによって発生する加工屑を含む加工廃液を排水する排水管を備える加工装置であって、前記排水管は、エアと水との混合流体を加工廃液の流れ方向上流から下流に向かうように内部に噴射する噴射部を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記排水管の加工廃水の流れ方向下流側から分岐管を分岐させ、該分岐管を大気に開放し或いは吸引源に接続したことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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