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公開番号2025014588
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117273
出願日2023-07-19
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 55/06 20060101AFI20250123BHJP(研削;研磨)
要約【課題】整形後の保持テーブルの保持面を加工屑が低減した清浄な状態にする。
【解決手段】研削装置1は、被加工物を保持面で保持する保持テーブル6と、円環状に研削砥石を配置した研削ホイールを回転させて保持テーブル6で保持した被加工物を研削する研削ユニット10,20と、研削ユニット10,20を保持面と垂直な研削送り方向に移動させる研削送りユニット30と、保持テーブル6に被加工物を搬入搬出する搬入出領域と該研削機構で該被加工物を研削する研削領域との間で保持テーブル6を移動させるターンテーブル5と、搬入出領域で保持テーブル6が保持する被加工物を洗浄する洗浄機構71と、を備える。研削装置1は、保持テーブル6の保持面を研削ユニット10,20で研削して整形する際、研削されて保持面を整形された保持テーブル6をターンテーブル5によって搬入出領域に移動し、洗浄機構71で保持テーブル6の保持面を洗浄する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持面で保持する保持テーブルと、円環状に研削砥石を配置した研削ホイールを回転させて該保持テーブルで保持した該被加工物を研削する研削機構と、該研削機構を該保持面と垂直な研削送り方向に移動させる研削送り機構と、該保持テーブルに該被加工物を搬入搬出する搬入出領域と該研削機構で該被加工物を研削する研削領域との間で該保持テーブルを移動させる保持テーブル移動機構と、該搬入出領域で該保持テーブルが保持する該被加工物を洗浄する洗浄機構と、を備える研削装置において、
該保持テーブルの該保持面を該研削機構で研削して整形する際、該研削機構で研削されて該保持面を整形された該保持テーブルを該保持テーブル移動機構によって該搬入出領域に移動し、該洗浄機構で該保持テーブルの該保持面を洗浄することを特徴とする研削装置。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
該保持テーブルは、該保持面に連通する連通路と、該連通路にブロー流体供給通路を介して接続しブロー流体を供給するブロー流体供給源と、該ブロー流体供給通路に配設された電磁開閉弁と、を有し、
該洗浄機構で該保持テーブルの該保持面を洗浄する際、該電磁開閉弁を開路し該保持テーブルの該保持面に該ブロー流体を供給して該保持面から該ブロー流体を吹き出すことを特徴とする請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
該洗浄機構は、エアと水とを混合させた混合液を該保持面に供給する洗浄ノズルを有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
研削装置は、被加工物の研削に先だって、被加工物を保持する保持テーブルの表面（保持面）を整形するために保持テーブルの表面側の研削（セルフグラインド）が行われることがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－１１４３３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
セルフグラインドを施す際は、保持面を研削する研削砥石と保持面とが接触する領域に水等の研削液を供給しながら研削する。これによって研削屑の排出と研削砥石の冷却を行うが、セルフグラインド後の保持面上に加工屑が残留することがある。保持面に加工屑が残留した状態で被加工物を保持面で保持すると、被加工物に割れが生じるという問題がある。そのため、保持面を研削により整形した後、保持面を洗浄することが考えられるが、保持面を研削する加工領域においては研削ホイールを装着する研削機構等があるため十分な洗浄機構を設置できないという問題がある。そのため、従来の研削装置には、被加工物を保持する保持テーブルの保持面を研削機構で研削して整形する際、整形後の保持テーブルの保持面を加工屑が低減した清浄な状態にすべきという課題がある。
【０００５】
本発明の目的は、被加工物を保持する保持テーブルの保持面を研削機構で研削して整形する際、整形後の保持テーブルの保持面を加工屑が低減した清浄な状態にすることができる研削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の研削装置は、被加工物を保持面で保持する保持テーブルと、円環状に研削砥石を配置した研削ホイールを回転させて該保持テーブルで保持した該被加工物を研削する研削機構と、該研削機構を該保持面と垂直な研削送り方向に移動させる研削送り機構と、該保持テーブルに該被加工物を搬入搬出する搬入出領域と該研削機構で該被加工物を研削する研削領域との間で該保持テーブルを移動させる保持テーブル移動機構と、該搬入出領域で該保持テーブルが保持する該被加工物を洗浄する洗浄機構と、を備える研削装置において、該保持テーブルの該保持面を該研削機構で研削して整形する際、該研削機構で研削されて該保持面を整形された該保持テーブルを該保持テーブル移動機構によって該搬入出領域に移動し、該洗浄機構で該保持テーブルの該保持面を洗浄することを特徴とする。
【０００７】
前記研削装置において、該保持テーブルは、該保持面に連通する連通路と、該連通路にブロー流体供給通路を介して接続しブロー流体を供給するブロー流体供給源と、該ブロー流体供給通路に配設された電磁開閉弁と、を有し、該洗浄機構で該保持テーブルの該保持面を洗浄する際、該電磁開閉弁を開路し該保持テーブルの該保持面に該ブロー流体を供給して該保持面から該ブロー流体を吹き出してもよい。
【０００８】
前記研削装置において、該洗浄機構は、エアと水とを混合させた混合液を該保持面に供給する洗浄ノズルを有してもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、整形後の保持テーブルの保持面を加工屑が低減した清浄な状態にすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態に係る洗浄装置を備える研削装置の構成例を示す斜視図である。
図２は、図１に示された研削装置の加工対象の被加工物を模式的に示す斜視図である。
図３は、実施形態に係る洗浄機構の構成例を示す斜視図である。
図４は、図３に示す保持テーブルの断面模式図である。
図５は、図３に示された洗浄機構の要部を示す斜視図である。
図６は、研削装置のセルフグラインドに係る処理手順の一例を示すフローチャートである。
図７は、図６に示す整形ステップを説明するための一部断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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