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公開番号2025012274
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114997
出願日2023-07-13
発明の名称保持テーブル、保持方法、及び、エッジトリミング方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250117BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハを保持する保持テーブルに関し、新規な構成の保持テーブル、保持方法、及び、エッジトリミング方法を提案する。
【解決手段】椀状に表面側に反りを有したウェーハと該ウェーハの裏面に貼着されたテープと該テープの外周部が貼着された環状フレームとからなり、該環状フレームの開口に該ウェーハが配置されたウェーハユニットを保持する保持テーブルであって、吸引源に接続され、該ウェーハの中央部を吸引保持する吸引部が形成された保持面を含み、該テープを介して該ウェーハを保持するテーブル本体と、該テーブル本体の外側で該環状フレームを該保持面より引き落として保持するフレーム固定部と、を備え、該フレーム固定部で該ウェーハユニットの該環状フレームを保持してウェーハの反りを矯正した後に該吸引部を該吸引源に接続し該テープを介して該ウェーハを保持する、保持テーブルとする。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
椀状に表面側に反りを有したウェーハと該ウェーハの裏面に貼着されたテープと該テープの外周部が貼着された環状フレームとからなり、該環状フレームの開口に該ウェーハが配置されたウェーハユニットを保持する保持テーブルであって、
吸引源に接続され、該ウェーハの中央部を吸引保持する吸引部が形成された保持面を含み、該テープを介して該ウェーハを保持するテーブル本体と、
該テーブル本体の外側で該環状フレームを該保持面より引き落として保持するフレーム固定部と、を備え、
該フレーム固定部で該ウェーハユニットの該環状フレームを保持してウェーハの反りを矯正した後に該吸引部を該吸引源に接続し該テープを介して該ウェーハを保持する、保持テーブル。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
椀状に表面側に反りを有したウェーハと該ウェーハの裏面に貼着されたテープと該テープの外周部が貼着された環状フレームとからなり、該環状フレームの開口に該ウェーハが配置されたウェーハユニットを保持する保持方法であって、
吸引源に接続され、該ウェーハの中央部を吸引保持する吸引部が形成された保持面を含み該テープを介して該ウェーハを保持するテーブル本体と、該テーブル本体の外側で該環状フレームを該保持面より引き落として保持するフレーム固定部と、を備えた保持テーブルを準備する準備ステップと、
該保持テーブル上に該ウェーハユニットを載置する載置ステップと、
該載置ステップを実施した後、該フレーム固定部で該ウェーハユニットの該環状フレームを保持することで該環状フレームを該保持面より引き落とし、該ウェーハの反りを矯正するフレーム固定ステップと、
該フレーム固定ステップを実施した後、該吸引部を該吸引源に接続し該テープを介して該ウェーハを保持する吸引保持ステップと、
を備えた保持方法。
【請求項３】
請求項２に記載の保持方法により保持された該ウェーハについて、
該ウェーハの表面側の周縁部を切削することで面取部を形成する、エッジトリミング方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、椀状に反りを有したウェーハを環状フレームに固定してなるウェーハユニットを保持する保持テーブル、保持方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に開示されるように、半導体ウェーハの研削時にウェーハ外周の面取り部がシャープエッジ状となることで、ウェーハ破損リスクが高まることが知られている。このウェーハ破損リスクを低くするために、研削前にウェーハ外周部分を除去するエッジトリミングが知られている。
【０００３】
このエッジトリミングの工程において、保持テーブルにて保持されたウェーハの外周部に加工を施すため、特許文献１では、ウェーハの外周部に隣接した領域においてウェーハの下面を吸引溝で吸引保持している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－０２４０３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、従来の保持テーブルによるウェーハの吸引保持では、ウェーハが椀状に反っている場合には、吸引溝とウェーハの下面との間に間隙が形成されてしまうことにより、ウェーハを吸引保持できないといった問題があった。
【０００６】
本発明は以上の問題に鑑み、ウェーハを保持する保持テーブルに関し、新規な構成の保持テーブル、保持方法、及び、エッジトリミング方法を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
本発明の一態様によれば、椀状に表面側に反りを有したウェーハと該ウェーハの裏面に貼着されたテープと該テープの外周部が貼着された環状フレームとからなり、該環状フレームの開口に該ウェーハが配置されたウェーハユニットを保持する保持テーブルであって、吸引源に接続され、該ウェーハの中央部を吸引保持する吸引部が形成された保持面を含み、該テープを介して該ウェーハを保持するテーブル本体と、該テーブル本体の外側で該環状フレームを該保持面より引き落として保持するフレーム固定部と、を備え、該フレーム固定部で該ウェーハユニットの該環状フレームを保持してウェーハの反りを矯正した後に該吸引部を該吸引源に接続し該テープを介して該ウェーハを保持する、保持テーブルとする。
【０００９】
また、本発明の一態様によれば、椀状に表面側に反りを有したウェーハと該ウェーハの裏面に貼着されたテープと該テープの外周部が貼着された環状フレームとからなり、該環状フレームの開口に該ウェーハが配置されたウェーハユニットを保持する保持方法であって、吸引源に接続され、該ウェーハの中央部を吸引保持する吸引部が形成された保持面を含み該テープを介して該ウェーハを保持するテーブル本体と、該テーブル本体の外側で該環状フレームを該保持面より引き落として保持するフレーム固定部と、を備えた保持テーブルを準備する準備ステップと、該保持テーブル上に該ウェーハユニットを載置する載置ステップと、該載置ステップを実施した後、該フレーム固定部で該ウェーハユニットの該環状フレームを保持することで該環状フレームを該保持面より引き落とし、該ウェーハの反りを矯正するフレーム固定ステップと、該フレーム固定ステップを実施した後、該吸引部を該吸引源に接続し該テープを介して該ウェーハを保持する吸引保持ステップと、を備えた保持方法とする。
【００１０】
また、本発明の一態様によれば、ウェーハの表面側の周縁部を切削することで面取部を形成する、エッジトリミング方法とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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