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公開番号2024178635
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-25
出願番号2023096920
出願日2023-06-13
発明の名称フレームカセット
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/673 20060101AFI20241218BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複雑な構造を用いることなく、フレームユニットの揺れを抑制する。
【解決手段】フレームカセットの側壁部11に形成されている収容溝21が、出入部14側から背部15に向かって溝幅が狭くなるように形成されている。このため、出入部14側からフレームユニット110を収容溝21に収容する際、フレームユニット110は、収容溝21における溝幅の広い部分に挿入される。このため、フレームユニット110のフレーム111が、収容溝21の上下に位置する棚部22の側面に衝突することを抑制することができる。また、背部15側では、収容溝21における溝幅の狭い部分にフレーム111が収容される。これにより、フレーム111の移動が制限される。このため、収容溝21に収容されたフレームユニット110が、フレームユニット110の並び方向に揺れることを抑制することができる。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを収容する開口を中央部に有するフレームの該開口に該ウェーハを収容し、該フレームの一方の面に樹脂シートを固定すると共に該ウェーハを固定することによって形成されたフレームユニットを、複数枚収容可能なフレームカセットであって、
溝幅が該フレームの厚み以上に形成される複数の収容溝が対向して配設された一対の側壁部と、
該一対の側壁部の上部を連結する天井部と、
該一対の側壁部の下部を連結する底部と、
該一対の側壁部と該天井部と該底部とで形成された、フレームユニットの出し入れを許容する出入部と、
該出入部の反対側に備えられ、フレームユニットの脱落を防止するための背部と、を含み、
該収容溝は、該出入部側から該背部に向かって溝幅が狭くなるように形成されていることを特徴とする、
フレームカセット。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
該収容溝は、
該出入部側に設けられ、一定の溝幅を有し、フレームを受け入れるフレーム受け入れ部と、
該背部側に設けられ、該フレーム受け入れ部の溝幅よりも狭い一定の溝幅を有し、該フレームの移動を規定するフレーム規定部と、
該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部との間に設けられ、該フレーム受け入れ部側から該フレーム規定部側に向かって溝幅が狭くなる傾斜部と、を備え、
該傾斜部は、該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部とを接続するように形成されている、
請求項１記載のフレームカセット。
【請求項３】
該収容溝は、溝幅が最も狭い部位に弾性部材を備えており、
該弾性部材は、該フレームが該収容溝に挿入された際に該フレームの移動を抑制する、
請求項１または請求項２記載のフレームカセット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレームカセットに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造プロセスの後工程で使用されるフレームカセットは、複数の収容棚が形成された一対の側板を対向させて、一対の側板の上端同士及び下端同士を、それぞれ上下の連結部材で連結することによって形成される。
【０００３】
このようなフレームカセットには、粘着テープを介して環状フレームとウェーハとを一体化させたフレームユニットが収納される。フレームカセットの正面は開口されており、フレームユニットが、この開口を通じて複数の収容棚に収容される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－８２５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようなフレームカセットでは、フレームユニットにおける環状フレームの側面がスライド壁に当接することによって、フレームユニットの飛び出しが防止されている。しかしながら、搬送時にフレームカセットが上下方向に揺れることによって、収容棚に収まったフレームユニットがバタついて、ウェーハに衝撃を与えてしまうおそれがある（上下のウェーハ同士が接触することもある）。
【０００６】
そこで、環状フレームの上下のバタツキを防止できる機構として、上下にスライドすることによって開状態／閉状態とを切り替えるフレーム規制部を備えたフレームカセットが知られている。
【０００７】
ところが、このような機構を備えるフレームカセットでは、機構が複雑であるため、製造コストが増えるともに、スライド機構の破損が生じやすい。
本発明の目的は、スライド機構のような複雑な構造を用いることなく、フレームユニットの揺れを抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフレームカセット（本フレームカセット）は、ウェーハを収容する開口を中央部に有するフレームの該開口に該ウェーハを収容し、該フレームの一方の面に樹脂シートを固定すると共に該ウェーハを固定することによって形成されたフレームユニットを、複数枚収容可能なフレームカセットであって、溝幅が該フレームの厚み以上に形成される複数の収容溝が対向して配設された一対の側壁部と、該一対の側壁部の上部を連結する天井部と、該一対の側壁部の下部を連結する底部と、該一対の側壁部と該天井部と該底部とで形成された、フレームユニットの出し入れを許容する出入部と、該出入部の反対側に備えられ、フレームユニットの脱落を防止するための背部と、を含み、該収容溝は、該出入部側から該背部に向かって溝幅が狭くなるように形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本フレームカセットでは、該収容溝は、該出入部側に設けられ、一定の溝幅を有し、フレームを受け入れるフレーム受け入れ部と、該背部側に設けられ、該フレーム受け入れ部の溝幅よりも狭い一定の溝幅を有し、該フレームの移動を規定するフレーム規定部と、該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部との間に設けられ、該フレーム受け入れ部側から該フレーム規定部側に向かって溝幅が狭くなる傾斜部と、を備えてもよく、該傾斜部は、該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部とを接続するように形成されていてもよい。
【００１０】
本フレームカセットでは、該収容溝は、溝幅が最も狭い部位に弾性部材を備えていてもよく、該弾性部材は、該フレームが該収容溝に挿入された際に該フレームの移動を抑制してもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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