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公開番号2024177826
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-24
出願番号2023096176
出願日2023-06-12
発明の名称チラーユニット
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B23Q 11/12 20060101AFI20241217BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】チラーユニットが配設された装置のオペレータが、紫外線照射手段を使用して該チラーユニットを循環する液体の漏れを早期に発見することが可能となるチラーユニットを提供する。
【解決手段】チラーユニット30は、液体を循環させる循環経路31と、循環経路に配設され液体を所定の温度に調整する温度調整手段34と、を含み、液体には、紫外線吸光剤が混入されオペレータは、加工領域に向けて紫外線を照射することができ、スピンドルユニット80のスピンドルハウジング81や、チラーユニット30の循環経路31から冷却用の液体の漏れを感知することができる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
所定の温度に調整された液体を循環させるチラーユニットであって、
液体を循環させる循環経路と、該循環経路に配設され該液体を所定の温度に調整する温度調整手段と、を含み、
該液体には、紫外線吸光剤が混入されているチラーユニット。
続きを表示（約 87 文字）【請求項２】
該液体は水である請求項１に記載のチラーユニット。
【請求項３】
該水には不凍液が混入されている請求項２に記載のチラーユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の温度に調整された液体を循環させるチラーユニットに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、切削装置によって分割予定ラインが切削されて、個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、研削装置を構成する研削手段は、研削砥石が配設された研削ホイールを回転可能に装着したスピンドルと、該スピンドルをエアーベアリングで支持するスピンドルハウジングとから概ね構成されたスピンドルユニットを備えていて、該スピンドルが熱によって伸縮しないように、スピンドルハウジング内に配設された配管に所定の温度に保たれた液体（恒温水）を循環液として流し、スピンドルユニットを一定の温度に保つチラーユニット（冷却機構）が配設される。
【０００４】
上記したのと同様に、切削装置を構成する切削手段は、切削ブレードが装着されたスピンドルと、該スピンドルをエアーベアリングで支持するスピンドルハウジングとから概ね構成されたスピンドルユニットを備えていて、上記した研削装置と同様に、該スピンドルユニットを一定の温度に保つチラーユニットが配設される（例えば特許文献１、２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－３８３２９号公報
特開２００９－２０２２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記したチラーユニットにおいては、経年変化や搭載される装置の振動等に起因して、チラーユニット内を循環する液体が漏れる場合があり、該液体の漏れにオペレータが気付かずに装置の運転を継続した場合、スピンドルの冷却が不十分となって、加工精度が維持されず、被加工物の品質が低下するという問題が生じる。また、該液体の漏れに気付かずにさらに運転を継続した場合には、最終的に、スピンドルの熱膨張によってスピンドルユニットが損傷するという問題も生じ得る。このような冷却機能の不全に起因する様々な問題は、上記した研削装置や切削装置に限定されず、一定の温度に保つ必要がある機器を冷却する全てのチラーユニットに生じ得る問題である。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、チラーユニットが配設された装置のオペレータが、該チラーユニットを循環する液体の漏れを早期に発見することを可能にすることであり、チラーユニットによって冷却される被冷却物、例えばスピンドルの冷却が不十分となって加工精度が低下し個々に分割されるデバイスチップの品質が低下したり、スピンドルの熱膨張によってスピンドルユニットが損傷したりするという問題を解消することができるチラーユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、所定の温度に調整された液体を循環させるチラーユニットであって、液体を循環させる循環経路と、該循環経路に配設され該液体を所定の温度に調整する温度調整手段と、を含み、該液体には、紫外線吸光剤が混入されているチラーユニットが提供される。
【０００９】
該液体は水であることが好ましい。また、該水には不凍液が混入されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のチラーユニットは、液体を循環させる循環経路と、該循環経路に配設され該液体を所定の温度に調整する温度調整手段と、を含み、該液体には、紫外線吸光剤が混入されていることから、チラーユニットが配設された装置のオペレータが、紫外線照射手段を使用して該チラーユニットを循環する液体の漏れを早期に発見することが可能となり、チラーユニットによって冷却される被冷却物、例えばスピンドルの冷却が不十分となって加工精度が低下し個々に分割されるデバイスチップの品質が低下したりスピンドルの熱膨張によってスピンドルユニットが損傷したりするという問題を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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