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公開番号2024179793
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023098929
出願日2023-06-16
発明の名称カセット
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/673 20060101AFI20241219BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】板状物をカセット内に収容して長時間保管しても、板状物の自重により板状物に割れが生じたり、上方の板状物が、下方の板状物又はテープに接触したりするという問題を解消し、また、板状物の表面や板状物を支持するテープに異物が付着するという問題を解消することができるカセットを提供する。
【解決手段】板状物を収容するカセット10であって、板状物を支持する支持溝12が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部11を形成する一対の側壁13、14と、一対の側壁13、14の上部を連結する天井部15と、一対の側壁13、14の下部を連結する底部16と、一対の側壁13、14の開口部11の反対側を連結する背部17と、を含み、支持溝12の開口部11側の端部には、開口部11に向かって末広がり形状をなすテーパー部12aが形成され、支持溝12の幅は、テーパー部12aの狭くなった幅で背部17に向かって維持され、開口部11を上にして縦に置くことを可能にする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を収容するカセットであって、
板状物を支持する支持溝が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部を形成する一対の側壁と、
該一対の側壁の上部を連結する天井部と、
該一対の側壁の下部を連結する底部と、
該一対の側壁の該開口部の反対側を連結する背部と、
を含み、
該支持溝の開口部側の端部には、該開口部に向かって末広がり形状をなすテーパー部が形成され、
該支持溝の幅は、該テーパー部の狭くなった幅で該背部に向かって維持され、
該開口部を上にして縦に置くことを可能にするカセット。
続きを表示（約 150 文字）【請求項２】
該背部には、該支持溝の幅に対応して板状物を支持する背部支持溝が形成される請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
該板状物は、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介してウエーハが支持されているフレームユニットである請求項１に記載のカセット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を収容するカセットに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ウエーハは、個々のデバイスチップに分割された後、ウエーハの形態を保った状態でピックアップ工程等の後工程に搬送されるため、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介して支持されてフレームユニットの形態に構成される。
【０００４】
また、フレームユニットは、カセットに複数収容されてダイシング装置、レーザー加工装置等に搬送されて設置される（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１５－８２５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来のカセットのように、ウエーハを支持するフレームユニットの面を水平方向に一致させてカセット内に収容して長時間保管すると、ウエーハの厚みが薄い場合（例えば２００μｍ以下）には、ウエーハの自重によって中央が沈み、ウエーハに割れが生じたり、上方のウエーハが下方のウエーハやテープに接触したりするという問題が発生すると共に、ウエーハの表面やウエーハを支持するテープに異物（埃、塵等）が付着するという問題が発生する。さらには、ウエーハの面を水平方向に沿う方向で収容する従来のカセットを保管する場合には、少なくともウエーハユニットの大きさを超える面積の保管場所が必要であり、該カセットの保管場所の確保に経費が掛かるという問題がある。このような問題は、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介して支持されたフレームユニットを収容する場合に限定されず、単体のウエーハ、硝子板等を収容するカセットであっても、同様の問題が起こり得る。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、板状物をカセット内に収容して長時間保管しても、板状物の自重により板状物に割れが生じたり、上方の板状物が、下方の板状物又はテープに接触したりするという問題を解消し、また、板状物の表面や板状物を支持するテープに異物が付着するという問題を解消することができるカセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を収容するカセットであって、板状物を支持する支持溝が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部を形成する一対の側壁と、該一対の側壁の上部を連結する天井部と、該一対の側壁の下部を連結する底部と、該一対の側壁の該開口部の反対側を連結する背部と、を含み、該支持溝の開口部側の端部には、該開口部に向かって末広がり形状をなすテーパー部が形成され、該支持溝の幅は、該テーパー部の狭くなった幅で該背部に向かって維持され、該開口部を上にして縦に置くことを可能にするカセットが提供される。
【０００９】
該背部には、該支持溝の幅に対応して板状物を支持する背部支持溝を形成することが好ましい。また、該板状物は、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介してウエーハが支持されているフレームユニットであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のカセットは、板状物を支持する支持溝が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部を形成する一対の側壁と、該一対の側壁の上部を連結する天井部と、該一対の側壁の下部を連結する底部と、該一対の側壁の該開口部の反対側を連結する背部と、を含み、該支持溝の開口部側の端部には、該開口部に向かって末広がり形状をなすテーパー部が形成され、該支持溝の幅は、該テーパー部の狭くなった幅で該背部に向かって維持され、該開口部を上にして縦に置くことを可能にすることから、板状物のバタつきが抑制されて、隣接する板状物同士が接触することなく保管することが可能になり、板状物を収容したカセットを長時間保存しても板状物の自重によって割れることがなく、板状物への異物の付着も防止することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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