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公開番号2024179968
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023099344
出願日2023-06-16
発明の名称液状樹脂塗布装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B05B 17/06 20060101AFI20241219BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】対象物に対して均一に液状樹脂を塗布することができる液状樹脂塗布装置を提供すること。
【解決手段】液状樹脂塗布装置1は、液状樹脂100を霧化して対象物200に塗布する装置であって、超音波振動24を発生する振動子20と、振動子20が発生した超音波振動24を伝達し、一方の端面31が端面31と直交する方向に振動32する柱状の振動体30と、分散部材60を介して振動体30の外周面36に液状樹脂100を供給する液状樹脂供給ノズル50と、を備え、液状樹脂供給ノズル50は、液状樹脂供給源41から供給された液状樹脂100を移送するための流路51と、流路51の下流端において振動体30の外周面36に対向する開口部54と、を有し、分散部材60は、開口部54において流路51に移送された液状樹脂100を受ける位置に配置されるとともに、液状樹脂100を内部で分散させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液状樹脂を霧化して対象物に塗布する液状樹脂塗布装置であって、
超音波振動を発生する振動子と、
該振動子が発生した超音波振動を伝達し、一方の端面が該端面と直交する方向に振動する柱状の振動体と、
分散部材を介して該振動体の外周面に液状樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルと、
を備え、
該液状樹脂供給ノズルは、
液状樹脂供給源から供給された該液状樹脂を移送するための流路と、
該流路の下流端において該振動体の外周面に対向する開口部と、
を有し、
該分散部材は、
該開口部において該流路に移送された該液状樹脂を受ける位置に配置されるとともに、該液状樹脂を内部で分散させる
ことを特徴とする、液状樹脂塗布装置。
続きを表示（約 150 文字）【請求項２】
該開口部は、該一方の端面に平行な方向に延びるスリット状に形成されている
ことを特徴とする、請求項１に記載の液状樹脂塗布装置。
【請求項３】
該分散部材は、多孔質の樹脂部材を含む
ことを特徴とする、請求項１または２に記載の液状樹脂塗布装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状樹脂塗布装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程において、表面にデバイスが形成された被加工物（ウェーハ）をチップサイズへと分割する際に、被加工物に設定された分割予定ラインに沿ってレーザービームを照射してアブレーション加工を行う方法が提案されている。このような加工方法では、デブリと呼ばれる加工屑が発生するため、このデブリが飛散して被加工物に再付着すると、被加工物を汚染してしまう可能性がある。
【０００３】
この課題を解決するために、被加工物の表面に水溶性の液状樹脂を塗布して保護膜を形成する方法が開示されている（特許文献１参照）。保護膜を形成する方法としては、被加工物を保持したスピンナーテーブルを高速回転させながら、スピンナーテーブル上の被加工物の表面に水溶性の液状樹脂を供給し、遠心力を受けた液状樹脂の移動によって被加工物の表面を覆い、乾燥させて保護膜とする方法が一般的である。
【０００４】
ところで、被加工物に段差や電極等のバンプが存在する場合、特許文献１の方法では、被加工物の加工面に液状樹脂を均一に塗布することが困難であり、部分的に保護膜で被覆されない可能性がある。この課題を解決するために、例えば、液状樹脂を霧化させる方法（特許文献２）を用い、本出願人は、超音波振動子の振動に連動して振動する複数の振動板間の微小間隙に液状樹脂を供給することで液状樹脂を霧化させた状態で被加工物に塗布する方法を試みた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００６－１４０３１１号公報
特開２０１６－１４７２４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の方法では、振動板間の微小間隙に対して液状樹脂が供給された箇所において、液状樹脂が局所的に霧化するため、被加工物全体に均一に塗布することが依然困難であった。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、対象物に対して均一に液状樹脂を塗布することができる液状樹脂塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の液状樹脂塗布装置は、液状樹脂を霧化して対象物に塗布する液状樹脂塗布装置であって、超音波振動を発生する振動子と、該振動子が発生した超音波振動を伝達し、一方の端面が該端面と直交する方向に振動する柱状の振動体と、分散部材を介して該振動体の外周面に液状樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルと、を備え、該液状樹脂供給ノズルは、液状樹脂供給源から供給された該液状樹脂を移送するための流路と、該流路の下流端において該振動体の外周面に対向する開口部と、を有し、該分散部材は、該開口部において該流路に移送された該液状樹脂を受ける位置に配置されるとともに、該液状樹脂を内部で分散させることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の液状樹脂塗布装置において、該開口部は、該一方の端面に平行な方向に延びるスリット状に形成されることが好ましい。
【００１０】
また、本発明の液状樹脂塗布装置において、該分散部材は、多孔質の樹脂部材を含むことが好ましい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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