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公開番号2025029362
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-06
出願番号2023133945
出願日2023-08-21
発明の名称分粒装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B03B 5/28 20060101AFI20250227BHJP(液体による,または,風力テーブルまたはジグによる固体物質の分離;固体物質または流体から固体物質の磁気または静電気による分離,高圧電界による分離)
要約【課題】粒子水に含まれる粒子を短時間で分粒する分粒装置を得る。
【解決手段】粒子水を溜めるタンク(11)と、タンクから粒子水を汲み上げるポンプ(12)と、ポンプによって送水された粒子水から粒子を取得する遠心分離ユニット(13)と、取得する粒子の大きさを設定する設定部(41)と、粒子の大きさに対するポンプの送水量を設定したデータテーブル(T)と、設定部に設定した粒子の大きさでデータテーブルを参照しポンプの送水量を選択する選択部(43)と、選択部によって選択された送水量にポンプを制御する制御部(44)と、を備え、遠心分離ユニットは、鉛直方向に延在し下側を収縮させたメガホン形状の筒(20、30)内に粒子水を送水し内側面に沿って粒子水を旋回させ、筒の下端に開口した下開口(204、304)から出た粒子水に含まれる粒子を所定の大きさの粒子(Pa、Pb)として取得する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
分粒装置であって、
粒子を含んだ粒子水を溜めるタンクと、
前記タンクから前記粒子水を汲み上げるポンプと、
前記ポンプによって送水された前記粒子水から前記粒子を取得する遠心分離ユニットと、
取得する粒子の大きさを設定する設定部と、
前記粒子の大きさに対する前記ポンプの送水量を設定したデータテーブルと、
前記設定部に設定した前記粒子の大きさで前記データテーブルを参照し前記ポンプの前記送水量を選択する選択部と、
前記選択部によって選択された前記送水量に前記ポンプを制御する制御部と、を備え、
前記遠心分離ユニットは、鉛直方向に延在し下側を収縮させたメガホン形状の筒と、前記筒の下端に開口した下開口と、前記筒の側壁に開口し前記筒内に前記粒子水を送水し内側面に沿って前記粒子水を旋回させる入口と、前記筒の上端を塞ぐ天板と、前記天板の中央に配置する出口と、を備え、
前記下開口から出た前記粒子水に含まれる前記粒子を所定の大きさの前記粒子として取得する、分粒装置。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
前記遠心分離ユニットは、
第１遠心分離ユニットと第２遠心分離ユニットとの少なくとも２つと、前記第１遠心分離ユニットの出口と前記第２遠心分離ユニットの入口とを連結する連結管と、を備え、
前記第１遠心分離ユニットの下開口から出た第１粒子水に含まれる第１粒子と、
前記第２遠心分離ユニットの下開口から出た第２粒子水に含まれる前記第１粒子の粒子径より小さい粒子径の第２粒子と、
を取得する、請求項１記載の分粒装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子を含んだ粒子水から所定の大きさの粒子を取得する分粒装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示のように、被加工物を研磨加工するための砥石は、多数の砥粒とボンドとを混合して成形されている。加工液を供給しながら砥石を用いて被加工物を研磨すると、砥粒や加工屑を含んだ加工液が排出される。
【０００３】
使用後の加工液などに含まれている様々な大きさの砥粒を、特許文献２に開示のような分粒装置を用いて篩にかけることによって、均一な所定の大きさの砥粒を取得することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１９２９２７号公報
特開平５－２７７４３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２の分粒装置は、網目状のフィルタを備え、フィルタを通過した所定の大きさ以下の砥粒を取得するように構成されている。しかし、この分粒装置は、フィルタの網目を通過しない大きさの砥粒がフィルタ付近に留まって、フィルタの網目を通過可能な大きさの砥粒がフィルタを通過することを妨げるため、フィルタを通過可能な砥粒にフィルタを通過させて取得するまでに時間がかかる。つまり、分粒に時間がかかるという問題がある。
【０００６】
したがって、粒子水から所定の大きさの粒子を取得する分粒装置は、短時間で分粒を行うという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様の分粒装置は、粒子を含んだ粒子水を溜めるタンクと、前記タンクから前記粒子水を汲み上げるポンプと、前記ポンプによって送水された前記粒子水から前記粒子を取得する遠心分離ユニットと、取得する粒子の大きさを設定する設定部と、前記粒子の大きさに対する前記ポンプの送水量を設定したデータテーブルと、前記設定部に設定した前記粒子の大きさで前記データテーブルを参照し前記ポンプの前記送水量を選択する選択部と、前記選択部によって選択された前記送水量に前記ポンプを制御する制御部と、を備え、前記遠心分離ユニットは、鉛直方向に延在し下側を収縮させたメガホン形状の筒と、前記筒の下端に開口した下開口と、前記筒の側壁に開口し前記筒内に前記粒子水を送水し内側面に沿って前記粒子水を旋回させる入口と、前記筒の上端を塞ぐ天板と、前記天板の中央に配置する出口と、を備え、前記下開口から出た前記粒子水に含まれる前記粒子を所定の大きさの前記粒子として取得する。
【０００８】
前記遠心分離ユニットは、第１遠心分離ユニットと第２遠心分離ユニットとの少なくとも２つと、前記第１遠心分離ユニットの出口と前記第２遠心分離ユニットの入口とを連結する連結管と、を備え、前記第１遠心分離ユニットの下開口から出た第１粒子水に含まれる第１粒子と、前記第２遠心分離ユニットの下開口から出た第２粒子水に含まれる前記第１粒子の粒子径より小さい粒子径の第２粒子と、を取得することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の分粒装置によれば、遠心分離ユニットが備える筒内の旋回流を利用して、粒子水に含まれる粒子を取得して、短時間で分粒を行うことが可能である。また、データテーブルを参照してポンプの送水量を選択することによって、所定の大きさの粒子を効率的に取得することができる。
【００１０】
さらに、第１遠心分離ユニットと第２遠心分離ユニットとを少なくとも備えることによって、大きさの異なる粒子を同時に取得することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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