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公開番号2025027780
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-28
出願番号2023132909
出願日2023-08-17
発明の名称純水リサイクル装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B24B 55/03 20060101AFI20250220BHJP(研削;研磨)
要約【課題】電気再生式イオン交換手段から排出される濃縮水からイオンを除去して純水を再生するとともに、純水の補充を不要とする純水リサイクル装置を提供すること。
【解決手段】純水の供給を受けながら被加工物を加工する研削装置(加工装置)100から排出される加工廃水を貯留するタンク10と、該タンク10から供給された加工廃水から加工屑を除去して清水を生成する加工屑除去フィルタ20と、清水に紫外線を照射する紫外線照射ユニット30と、清水に含まれる有機物イオンを電気透析によって除去して純水を生成する電気脱イオン交換ユニット40を備えた純水リサイクル装置1において、電気脱イオン交換ユニット40から排出される濃縮水を蒸発させて蒸留水を生成する蒸留水生成ユニット50を設け、蒸留水を純水と共に研削装置100に還流させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
純水の供給を受けながら被加工物を加工する加工装置から排出される加工廃水を貯留するタンクと、
該タンクから供給された前記加工廃水から加工屑を除去して清水を生成する加工屑除去フィルタと、
前記清水に紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、
前記清水に含まれる有機物イオンを電気透析によって除去して純水を生成する電気脱イオン交換ユニットと、
を備え、前記加工装置から排出される前記加工廃水から前記純水を再生する純水リサイクル装置であって、
前記電気脱イオン交換ユニットから排出される濃縮水を蒸発させて蒸留水を生成する蒸留水生成ユニットを設け、前記蒸留水を前記純水と共に前記加工装置に還流させることを特徴とする純水リサイクル装置。
続きを表示（約 420 文字）【請求項２】
前記蒸留水生成ユニットは、
前記濃縮水を受けるトレーと、
該トレーに貯留された前記濃縮水を吸い上げる吸い上げ部材と、
前記トレーと前記吸い上げ部材とを収容する気化室と、
該気化室内の気体を加温させる加温部と、
前記気化室から気体を排出する出口と、
前記気化室に気体を導入する入口と、
前記気化室外で前記出口と前記入口とを接続する還流配管と、
該循環配管を前記出口から前記入口に向けて気体を流すブロワと、
前記出口から排出された気体を冷却する冷却部と、
該冷却部で冷却された気体に含まれる水分を凝縮させて蒸留水を取得する蒸留水取得部と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の純水リサイクル装置。
【請求項３】
前記加温部と前記冷却部は、ペルチェ素子で構成されていることを特徴とする請求項２記載の純水リサイクル装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置から排出される加工廃水を純水に再生して再利用するための純水リサイクル装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、各種電子機器に用いられるＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造工程においては、半導体デバイスの小型化と軽量化のために、ウェーハの裏面が研削砥石によって研削されて該ウェーハが所定の厚みまで薄肉化されている。この研削装置によるウェーハの研削においては、研削砥石とウェーハとの接触点（加工点）に加工液として純水を供給することによって、接触点（加工点）に発生する摩擦熱を除去して該接触点を冷却するとともに、研削によって発生する研削屑を洗い流すようにしている。また、研削装置においては、研削されたウェーハの洗浄ユニットによる洗浄に供される洗浄液にも純水が用いられている。
【０００３】
したがって、研削装置からは研削屑や有機イオンなどを含んだ加工廃液が排出されるが、この加工廃液をそのまま廃棄すると、環境を汚染するとともに、純水の消費量が多くなって加工コストが高騰するという問題がある。このため、研削装置などの加工装置から排出される加工廃液を純水に再生して再利用するための加工廃液処理装置（純水リサイクル装置）が例えば特許文献１～３などにおいて提案されている。
【０００４】
すなわち、特許文献１には、廃液収容タンク、廃液濾過手段、清水貯留タンク、純水生成手段、純水温度調整手段、制御手段などの各種構成要素を装置ハウジングにコンパクトに収容することによって、装置全体のコンパクト化を図るようにした構成が提案されている。
【０００５】
また、特許文献３には、加工廃液を濾過する逆洗フィルタを洗浄水によって逆洗し、該逆洗フィルタに蓄積された加工屑を取り出す構成を採用することによって、逆洗フィルタを短時間で容易に交換することができる加工廃液処理装置が提案されている。
【０００６】
さらに、特許文献３には、加工装置の稼働を停止することなくイオン交換樹脂の再生を行うことができる加工廃液処理装置が提案されている。具体的には、この加工廃液処理装置は、電気再生式イオン交換手段のイオン交換樹脂によって加工廃液からイオンを除去して純水を生成するとともに、イオン交換樹脂を電気透析によって再生するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００９－１９０１２８号公報
特開２０２２－１８０００５号公報
特開２０２１－０３０３６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１，２において提案された加工廃液処理装置においては、純水生成手段に設けられたイオン交換樹脂のイオン交換能力が経時的に徐々に低下し、生成される純水の純度が低下するため、イオン交換樹脂を定期的に交換する必要がある。これに対して、特許文献３において提案された加工廃水処理装置によれば、加工装置の稼働中においてもイオン交換樹脂を再生することができるため、該イオン交換樹脂を交換する必要がない。
【０００９】
ところで、加工廃液処理装置に備えられた電気再生式イオン交換手段においては、脱塩室を流れる加工廃液から除去されたイオンが濃縮室に放出され、濃縮室でイオンが濃縮された濃縮水が生成される。ここで、例えば、純水を３０ｍＬ／ｍｉｎの量だけ再生する場合には、濃縮水が１ｍＬ／ｍｉｎの量だけ生成されるため、この微量な濃縮水をそのまま廃棄する場合もある。この場合には、廃棄した濃縮水の量だけ純水を補充する必要があるために不経済である。
【００１０】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、電気再生式イオン交換手段から排出される濃縮水からイオンを除去して純水を再生するとともに、純水の補充を不要とする純水リサイクル装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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