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公開番号2025051130
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023160066
出願日2023-09-25
発明の名称搬送システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250328BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】処理装置の稼働効率を向上させる搬送システムを提供する事。
【解決手段】搬送システム1は、複数の処理装置100に渡って処理装置100の上方に配置される搬送路10と、物品210を収容する第一カセット23を含み、搬送路10を走行する搬送車20と、を備え、搬送車20は、第一カセット23を処理装置100に対して昇降させる第一昇降ユニットを有し、処理装置100は、上面に第一カセット23が通過する通過口312と、複数の物品210を収容する第二カセット330と、第一カセット23と、第二カセット330との間で物品210を搬送する搬送アーム345と、第一カセット23と第二カセット330との少なくともいずれかと、搬送アーム345と、を相対的に移動させる移動ユニット350と、を有し、第一カセット23と第二カセット330との間で物品210を搬送する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
物品を処理する処理装置に対して該物品を搬送する搬送システムであって、
該搬送システムは、
複数の処理装置に渡って該処理装置の上方に配置される搬送路と、
物品を収容する第一カセットを含み、該搬送路を走行する搬送車と、
制御ユニットと、を備え、
該搬送車は、
該第一カセットを該処理装置に対して昇降させる第一昇降ユニットを有し、
該処理装置は、
上面に該第一カセットが通過する通過口と、
複数の該物品を収容する第二カセットと、
該第一カセットと、該第二カセットとの間で該物品を搬送する搬送アームと、
該第一カセットと該第二カセットとの少なくともいずれかと、該搬送アームと、を相対的に移動させる移動ユニットと、を有し、
該制御ユニットは、該移動ユニットを駆動させて該搬送アームによって該第一カセットと該第二カセットとの間で物品を搬送する
搬送システム。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
該第二カセットの上面に該第一カセットが着地する着地部が形成される請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
該移動ユニットは、該第二カセットを、該搬送アームに対して昇降させる第二昇降ユニットを含む事を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
該物品は、該処理装置で加工される被加工物、該処理装置で使用する消耗品、の少なくともいずれかである請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項５】
該処理装置は、
被加工物を加工する加工装置と、
被加工物の状態を検査する検査装置と、
複数の被加工物を収容する収容部を有し、該収容部と、該搬送車の該第一カセットと、の間で被加工物を移し替えるストッカーと、
の少なくともいずれかを含む請求項４に記載の搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
複数の被加工物を処理する処理装置に、搬送車（自動搬送車）によって、被加工物や加工工具、加工に使用する消耗品などの物品を搬送する搬送システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１６１５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような搬送システムでは、搬送車から供給されたカセットから処理装置内に被加工物や物品を搬送して処理装置を稼働させていた。このため、搬送車から被加工物や物品が供給されるタイミングによって処理装置の処理が左右されるため、処理装置の稼働効率が低下する恐れがあるという問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、処理装置の稼働効率を向上させる搬送システムを提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送システムは、物品を処理する処理装置に対して該物品を搬送する搬送システムであって、該搬送システムは、複数の処理装置に渡って該処理装置の上方に配置される搬送路と、物品を収容する第一カセットを含み、該搬送路を走行する搬送車と、制御ユニットと、を備え、該搬送車は、該第一カセットを該処理装置に対して昇降させる第一昇降ユニットを有し、該処理装置は、上面に該第一カセットが通過する通過口と、複数の該物品を収容する第二カセットと、該第一カセットと、該第二カセットとの間で該物品を搬送する搬送アームと、該第一カセットと該第二カセットとの少なくともいずれかと、該搬送アームと、を相対的に移動させる移動ユニットと、を有し、該制御ユニットは、該移動ユニットを駆動させて該搬送アームによって該第一カセットと該第二カセットとの間で物品を搬送するものである。
【０００７】
該第二カセットの上面に該第一カセットが着地する着地部が形成されてもよい。
【０００８】
該移動ユニットは、該第二カセットを、該搬送アームに対して昇降させる第二昇降ユニットを含んでいてもよい。
【０００９】
該物品は、該処理装置で加工される被加工物、該処理装置で使用する消耗品、の少なくともいずれかであってもよい。
【００１０】
該処理装置は、被加工物を加工する加工装置と、被加工物の状態を検査する検査装置と、複数の被加工物を収容する収容部を有し、該収容部と、該搬送車の該第一カセットと、の間で被加工物を移し替えるストッカーと、の少なくともいずれかを含んでいてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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