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公開番号2025050560
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023159420
出願日2023-09-25
発明の名称搬送装置、及び、被搬送物の搬送方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250328BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被搬送物の搬送時に、被搬送物にかかる負荷を検知できる搬送装置を提供する。
【解決手段】被搬送物(10)を任意の保持機構(20)に押し込んで搬送する搬送装置(46)であって、フレーム(50)を保持機構に接近する搬送方向に移動させる移動部(24)と、フレームに設けられ被搬送物を保持する保持部(53)と、被搬送物の搬送方向の後方側でフレームに設けられ、被搬送物が保持機構に押し込まれる負荷を検知する負荷検知部(80)と、を備え、負荷検知部は、被搬送物を保持機構に搬送する際に、被搬送物の移動が規制されているにも関わらず保持部が移動部によって移動し続ける場合に被搬送物に接触する接触部(82)と、接触部が所定値以上の力で被搬送物に押し付けられたことを検知するセンサ(83)と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
被搬送物を任意の保持機構に押し込んで搬送する搬送装置であって、
該搬送装置は、
フレームを該保持機構に接近する搬送方向に移動させる移動部と、
該フレームに設けられ該被搬送物を保持する保持部と、
該被搬送物の搬送方向の後方側で該フレームに設けられ、該被搬送物が該保持機構に押し込まれる負荷を検知する負荷検知部と、
を備え、
該負荷検知部は、
該被搬送物を該保持機構に搬送する際に、該被搬送物の移動が規制されているにも関わらず該保持部が該移動部によって移動し続ける場合に該被搬送物に接触する接触部と、
該接触部が所定値以上の力で該被搬送物に押し付けられたことを検知するセンサと、
を備える搬送装置。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
該接触部は、一端側が該フレームに固定される固定端部と、他端側に揺動可能な自由端部と、を有する板バネであり、
該板バネが該被搬送物に接触することで揺動した該自由端部を該センサが検知することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
該被搬送物は環状フレームの開口に支持テープを介して保持されたワークを有し、
該保持部は、該環状フレームの一方の面を支持する支持プレートと、該支持プレートとの間に該環状フレームを挟持する押さえプレートと、を有することを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載の搬送装置を用いた被搬送物の搬送方法であって、
該被搬送物を該保持部が保持する保持ステップと、
該保持部を該保持機構に向かって移動させ該被搬送物を搬送する搬送ステップと、を有し、
該搬送ステップにおいて、該センサが、該接触部が該被搬送物に所定値以上の力で押し付けられたことを検知すると該保持部の移動を停止することを特徴とする被搬送物の搬送方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送する搬送装置及び搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
被搬送物を搬送する搬送装置では、搬送方向に移動可能な搬送アームに被搬送物を保持し、駆動機構によって搬送アームを移動させている。
【０００３】
搬送装置によって被搬送物を搬送する際に、何らかの障害物により搬送方向への被搬送物の移動が規制されているにも関わらず、被搬送物を保持する搬送アームが動き続けてしまうと、被搬送物が破損してしまうおそれがある。例えば、被搬送物を収容するカセットの内部に被搬送物を搬送する際に、カセットの入り口に被搬送物が引っ掛かってそれ以上の移動が規制されている状態で、搬送アームが移動を続けて被搬送物をカセットに押し込もうとすると、被搬送物に過大な負荷が加わって破損してしまう。
【０００４】
従来の搬送装置として、例えば、特許文献１には、水平方向と上下方向に移動可能な搬入出ユニットが、被搬送物を挟持する挟持部（クランプ）を備えており、モータで回転駆動するボールねじを有する駆動機構によって搬入出ユニットを移動させる構造が開示されている。
【０００５】
このような搬送装置で、被搬送物の破損を防ぐために、ボールねじのモータにトルクリミットセンサを設け、モータのトルクの大きさによって被搬送物の移動負荷（押し付け負荷）を検知する方法がとられている。モータのトルクが閾値以上になった場合に、被搬送物の搬送を妨げる状態になっていると判断され、モータの駆動を停止させていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１４－２０４０２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
搬送装置において駆動機構のモータのトルクが上がる原因は複数有り、被搬送物に負荷がかかっている場合以外にも、モータのトルクが過度に大きくなる可能性がある。例えば、ボールねじと搬送アーム（搬入出ユニット）との間の螺合の状態や、搬送アームの移動を案内するガイドレールと搬送アームとの間の接触の状態などによって、モータのトルクが変動する。そして、これらの箇所における精度誤差などが原因で、被搬送物の搬送方向への移動は制限されていないにも関わらず、モータのトルクが上がってしまう場合がある。
【０００８】
そのため、駆動機構のモータのトルクリミットセンサを用いて、被搬送物の搬送状態を検知するための閾値の設定が難しい。閾値を低くしすぎると、実際には被搬送物の移動が規制されていないにも関わらず、過剰にエラーが検知されて頻繁に搬送が停止されてしまい、動作効率が悪くなる。閾値を高くしすぎると、実際には被搬送物の移動が規制されているにも関わらず、駆動機構の駆動を継続させてしまい、被搬送物に過大な負荷が加わって破損するおそれがある。
【０００９】
また、従来の搬送装置におけるモータのトルクリミットセンサでは、搬送の不具合の原因が、被搬送物に対する移動の規制であるか、それ以外の理由によるものであるかを、切り分けて判断することができないという問題があった。
【００１０】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、被搬送物の搬送時に、被搬送物にかかる負荷を検知できる搬送装置、及び、被搬送物の搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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