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公開番号2025047181
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023155518
出願日2023-09-21
発明の名称機能水供給装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 55/02 20060101AFI20250326BHJP(研削;研磨)
要約【課題】純水の純度低下を抑制できるとともに、消費電力を低減できる機能水供給装置を提供する。
【解決手段】機能水供給装置2は、第一のポンプ4bで送り出された機能水を外気を遮断して貯える密閉タンク8と、密閉タンク8から送り出される機能水を少なくとも第一の経路10、第二の経路12に分岐する分岐部14と、第一の経路10と第二の経路12とを合流させる合流経路16と、密閉タンク8と分岐部14との間に配設された圧力センサー18と、第一の経路10に配設された第一の開閉弁20と、第二の経路12に配設された第二の開閉弁22と、合流経路16に配設され機能水の温度を調整する温度調整手段24と、第二の経路12に配設され第二の開閉弁22を通過した機能水を温度調整手段24に送り出す第二のポンプ26と、制御手段28とを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
水源から第一のポンプで送り出された機能水を加工装置に供給する機能水供給装置であって、
該第一のポンプで送り出された機能水を外気を遮断して貯える密閉タンクと、
該密閉タンクから送り出される機能水を少なくとも第一の経路、第二の経路に分岐する分岐部と、
該第一の経路と該第二の経路とを合流させる合流経路と、
該密閉タンクと該分岐部との間に配設された圧力センサーと、
該第一の経路に配設された第一の開閉弁と、
該第二の経路に配設された第二の開閉弁と、
該合流経路に配設され機能水の温度を調整する温度調整手段と、
該第二の経路に配設され該第二の開閉弁を通過した機能水を該温度調整手段に送り出す第二のポンプと、
制御手段と、
を含む機能水供給装置。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
該制御手段は、
該圧力センサーの値が加工装置に機能水を供給できる十分な圧力値であると判断した場合、該第一の開閉弁を開にし、該第二の開閉弁を閉にするとともに該第二のポンプを非稼働にして該第一の経路を機能させて機能水を加工装置に供給する請求項１記載の機能水供給装置。
【請求項３】
加工装置に供給する機能水の流量を調整する流量調整弁が該合流経路に配設され、適量の機能水を加工装置に供給する請求項２記載の機能水供給装置。
【請求項４】
該制御手段は、
該圧力センサーの値が加工装置に機能水を供給できる十分な圧力値でないと判断した場合、該第二の開閉弁を開にし、該第一の開閉弁を閉にして該第二のポンプを稼働させて該第二の経路によって機能水を加工装置に供給する請求項１記載の機能水供給装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、水源から第一のポンプで送り出された機能水を加工装置に供給する機能水供給装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に装着した研削手段と、研削ホイールに研削水（純水）を供給する研削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に研削することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、切削ブレードに切削水（純水）を供給する切削水供給手段と、ウエーハを洗浄する洗浄手段と、から概ね構成されており、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、研削装置およびダイシング装置で使用する研削水、切削水、洗浄水、研削手段および切削手段を一定の温度に調整する冷却水を含む機能水は、機能水設備（水源）から第一のポンプによって機能水供給装置に送られる。この機能水供給装置は、第一のポンプで送り出された機能水を貯えるタンクと、機能水の温度を調整する温度調整手段と、タンクに貯えられた純水を温度調整手段に送り出す第二のポンプとを含む。そして、機能水供給装置は、所望の温度に調整した機能水を研削装置、ダイシング装置などの加工装置に供給する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００９－１５８７６８号公報
特開２０１９－１４５５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
機能水設備（水源）の低性能、機能水設備の老朽化、季節的な要因など、様々な要因により、機能水設備から供給される機能水の温度が大きく変動することがある。そうすると、温度調整手段の許容能力を超えてしまう場合があり、このような場合には、一定温度の機能水を加工装置に供給することが困難になるという問題がある。そこで、従来の機能水供給装置においては、開放構造のタンクに機能水を貯えることで機能水の温度の変動を抑えて温度調整手段による温度制御を可能にしている。
【０００８】
しかし、機能水として純水が使用されることが多いことから、開放構造のタンクに機能水としての純水を貯えると、純水が外気に接触してしまい、純水の純度が低下するという問題がある。
【０００９】
また、第一のポンプと第二のポンプを使用する構成となっており、第一・第二のポンプの消費電力、第一・第二のポンプの発熱が機能水を加熱し温度調整手段の過度な稼働による消費電力、を増大させるという問題がある。
【００１０】
本発明の課題は、純水の純度低下を抑制できるとともに、消費電力を低減できる機能水供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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