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公開番号2025057055
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-09
出願番号2023166684
出願日2023-09-28
発明の名称洗浄ノズル
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250402BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】洗浄用の液体を介して超音波を対象物へ効率的に伝播させることが可能な洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】液体に超音波を伝播させつつ液体を対象物に供給して対象物を洗浄する洗浄ノズルであって、液体を貯留する内部空間と、液体を内部空間から対象物に向かって供給する供給口と、液体を供給する液体供給源と内部空間とを接続する接続部と、を有するケースと、内部空間に供給口と対向するように設けられた平板状の振動板と、振動板に超音波振動を付与する複数の振動子と、を備え、複数の振動子のフェーズドアレイ制御によって、振動板から液体に付与される超音波の伝播を制御可能である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液体に超音波を伝播させつつ該液体を対象物に供給して該対象物を洗浄する洗浄ノズルであって、
該液体を貯留する内部空間と、該液体を該内部空間から該対象物に向かって供給する供給口と、該液体を供給する液体供給源と該内部空間とを接続する接続部と、を有するケースと、
該内部空間に該供給口と対向するように設けられた平板状の振動板と、
該振動板に超音波振動を付与する複数の振動子と、を備え、
複数の該振動子のフェーズドアレイ制御によって、該振動板から該液体に付与される超音波の伝播を制御可能であることを特徴とする洗浄ノズル。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
該振動板から該液体に付与される超音波を、該供給口と垂直で該供給口の中心を通過する直線上において収束させることが可能であることを特徴とする請求項１に記載の洗浄ノズル。
【請求項３】
複数の該振動子は、格子状に配列されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄ノズル。
【請求項４】
複数の該振動子は、円形又は環状に形成され、同心円状に配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄ノズル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物に液体を供給して対象物を洗浄する洗浄ノズルに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスを備えるデバイスチップが製造される。また、所定の基板上に複数のデバイスチップを実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。このパッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割してチップ化する際には、被加工物が各種の加工装置によって加工される。例えば、被加工物の分割には、環状の切削ブレードで被加工物を切削する切削装置や、被加工物にレーザー加工を施すレーザー加工装置等が用いられる。また、研削装置を用いて分割前の被加工物を研削して薄化しておくことにより、薄型のチップが得られる。
【０００４】
上記のような加工装置で被加工物を加工すると、加工によって発生した屑（加工屑）が飛散して被加工物に付着する。そこで、被加工物の加工後には、洗浄装置を用いて被加工物を洗浄する洗浄工程が実施される。洗浄装置は、被加工物に洗浄用の液体（洗浄液）を供給することによって被加工物に付着した加工屑を洗い流し、被加工物を洗浄する。
【０００５】
しかしながら、被加工物に加工屑が強固に固着している場合には、被加工物に洗浄液を供給するだけでは加工屑が除去されず、被加工物の洗浄が不十分になることがある。そこで、洗浄液に超音波振動を付与する洗浄ノズルを備えた洗浄装置が提案されている（特許文献１参照）。例えば洗浄ノズルは、ドーム型の凹球面状に形成された振動板を備えており、振動板を振動させることによって洗浄液に超音波振動を付与する。超音波振動が付与された洗浄液を被加工物に供給することにより、被加工物から加工屑が離脱しやすくなり、被加工物が効果的に洗浄される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２２－２８３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、洗浄用の液体に超音波振動を付与する振動板をドーム型の凹球面状に形成すると、超音波を洗浄ノズルの供給口付近で収束させることができ、超音波が高い強度を維持したまま洗浄の対象物に到達しやすくなる。しかしながら、凹球面状の振動板を用いると、振動板の凹球面付近に空気が溜まりやすいことが確認されている。振動板の凹球面付近に空気が溜まると、振動板と液体との間に空気層が形成され、この空気層によって振動板から液体への超音波の伝播が阻害される。その結果、超音波が対象物まで適切に伝播しにくくなり、対象物の洗浄効率が低下するおそれがある。
【０００８】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、洗浄用の液体を介して超音波を対象物へ効率的に伝播させることが可能な洗浄ノズルの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、液体に超音波を伝播させつつ該液体を対象物に供給して該対象物を洗浄する洗浄ノズルであって、該液体を貯留する内部空間と、該液体を該内部空間から該対象物に向かって供給する供給口と、該液体を供給する液体供給源と該内部空間とを接続する接続部と、を有するケースと、該内部空間に該供給口と対向するように設けられた平板状の振動板と、該振動板に超音波振動を付与する複数の振動子と、を備え、複数の該振動子のフェーズドアレイ制御によって、該振動板から該液体に付与される超音波の伝播を制御可能である洗浄ノズルが提供される。
【００１０】
なお、好ましくは、該洗浄ノズルは、該振動板から該液体に付与される超音波を、該供給口と垂直で該供給口の中心を通過する直線上において収束させることが可能である。また、好ましくは、複数の該振動子は、格子状に配列されている。また、好ましくは、複数の該振動子は、円形又は環状に形成され、同心円状に配置されている。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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