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公開番号2025016950
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-05
出願番号2023119771
出願日2023-07-24
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B24B 49/16 20060101AFI20250129BHJP(研削;研磨)
要約【課題】チャックテーブルの保持面に対し、レベリングストーンを適正な圧力で接触させることができる研削装置を提供する。
【解決手段】研削装置は、チャックテーブル4の保持面を修正する環状のレベリングストーン60をバネ66を介して駆動源62の回転軸62aに装着した修正手段56と、修正手段56をチャックテーブル4に接近および離反させレベリングストーン60をチャックテーブル4の保持面に接触させる移動手段64と、を備える。制御手段は、チャックテーブル4を回転させるとともに、レベリングストーン60を回転させテーブル駆動源12または駆動源62の負荷電流値を検出しながら移動手段64を作動してチャックテーブル4の保持面にレベリングストーン60を接触させ負荷電流値が適正値に到達した際、適正値を維持しながらレベリングストーン60でチャックテーブル4の保持面を修正する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
ウエーハを保持しテーブル駆動源を備えた回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、制御手段と、を含む研削装置であって、
該チャックテーブルの保持面を修正する環状のレベリングストーンをバネを介して駆動源の回転軸に装着した修正手段と、該修正手段を該チャックテーブルに接近および離反させ該レベリングストーンを該チャックテーブルの保持面に接触させる移動手段と、を備え、
該制御手段は、該チャックテーブルを回転させるとともに、該レベリングストーンを回転させ該テーブル駆動源または該駆動源の負荷電流値を検出しながら該移動手段を作動して該チャックテーブルの保持面に該レベリングストーンを接触させ該負荷電流値が適正値に到達した際、該適正値を維持しながら該レベリングストーンで該チャックテーブルの保持面を修正する研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハを保持しテーブル駆動源を備えた回転可能なチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、制御手段と、を含む研削装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所定の厚みに形成された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、チャックテーブルの保持面に付着した研削屑などの異物を強制的に除去するレベリングストーンと、を含んでいて、ウエーハを高精度に均一厚みに研削することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平０１－２０５９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、チャックテーブルに対するレベリングストーンの接触圧が強すぎると、チャックテーブルの保持面に偏磨耗が生じるおそれがある。チャックテーブルの保持面が偏磨耗すると、ウエーハを高精度に均一厚みに研削できないという問題が発生する。
【０００６】
一方、チャックテーブルに対するレベリングストーンの接触圧が弱すぎると、チャックテーブルの保持面から研削屑などの異物を除去しきれない場合がある。このような場合には、保持面に残った異物によってウエーハにディンプルが発生してしまうという問題がある。
【０００７】
本発明の課題は、チャックテーブルの保持面に対し、レベリングストーンを適正な圧力で接触させることができる研削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の研削装置が提供される。すなわち、
「ウエーハを保持しテーブル駆動源を備えた回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、制御手段と、を含む研削装置であって、
該チャックテーブルの保持面を修正する環状のレベリングストーンをバネを介して駆動源の回転軸に装着した修正手段と、該修正手段を該チャックテーブルに接近および離反させ該レベリングストーンを該チャックテーブルの保持面に接触させる移動手段と、を備え、
該制御手段は、該チャックテーブルを回転させるとともに、該レベリングストーンを回転させ該テーブル駆動源または該駆動源の負荷電流値を検出しながら該移動手段を作動して該チャックテーブルの保持面に該レベリングストーンを接触させ該負荷電流値が適正値に到達した際、該適正値を維持しながら該レベリングストーンで該チャックテーブルの保持面を修正する研削装置」が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の研削装置は、
ウエーハを保持しテーブル駆動源を備えた回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、制御手段と、を含む研削装置であって、
該チャックテーブルの保持面を修正する環状のレベリングストーンをバネを介して駆動源の回転軸に装着した修正手段と、該修正手段を該チャックテーブルに接近および離反させ該レベリングストーンを該チャックテーブルの保持面に接触させる移動手段と、を備え、
該制御手段は、該チャックテーブルを回転させるとともに、該レベリングストーンを回転させ該テーブル駆動源または該駆動源の負荷電流値を検出しながら該移動手段を作動して該チャックテーブルの保持面に該レベリングストーンを接触させ該負荷電流値が適正値に到達した際、該適正値を維持しながら該レベリングストーンで該チャックテーブルの保持面を修正するので、チャックテーブルの保持面に対し、レベリングストーンを適正な圧力で接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明に係る研削装置の斜視図。
図１に示すチャックテーブルおよびチャックテーブル洗浄機構の斜視図。
図１に示すチャックテーブルおよび修正手段の斜視図。
図１に示す修正手段の分解斜視図。
図１に示すチャックテーブルの保持面を修正している状態を示す斜視図。
保持面が修正されたチャックテーブルの斜視図。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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