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公開番号2025049917
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023158429
出願日2023-09-22
発明の名称被加工物の処理システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】製造工程を実施するクリーンルーム内への作業者の立ち入り頻度を低減できる被加工物の処理システムを提供する事。
【解決手段】被加工物の処理システム1は、被加工物を分割して複数のデバイスチップを製造する複数の処理装置100と、処理装置100の上面に複数の処理装置100に渡って設置される搬送路10と、搬送路10を走行して複数の処理装置100の間で被加工物を搬送する搬送車20と、を有する第一の部屋1000と、複数枚の被加工物を収容するストッカー190を有し、ストッカー190と、搬送車20との間で被加工物を移し替える第二の部屋2000と、を備え、第一の部屋1000と第二の部屋2000とは搬送車20が走行する搬送路10によって接続される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物の処理システムであって、
被加工物を分割して複数のデバイスチップを製造する複数の処理装置と、該処理装置の上面に複数の該処理装置に渡って設置される搬送路と、該搬送路を走行して複数の該処理装置の間で被加工物を搬送する搬送車と、を有する第一の部屋と、
複数枚の被加工物を収容するストッカーを有し、該ストッカーと、該搬送車との間で被加工物を移し替える第二の部屋と、を備え、
該第一の部屋と該第二の部屋とは該搬送車が走行する該搬送路によって接続される被加工物の処理システム。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
該第一の部屋は該第二の部屋よりもクリーン度が高い請求項１に記載の被加工物の処理システム。
【請求項３】
該被加工物はデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域と、を有し、
該第一の部屋は、
該処理装置で該デバイス領域を分割して製造された該デバイスチップに対して、表面と、裏面と、側面と、の少なくともいずれかから撮像する撮像ユニットを有する検査装置が配置され、
該処理システムは、
該撮像ユニットが撮像した画像を記憶する記憶部と、
該画像から該デバイスチップのチッピングを少なくとも測定する測定部と、
を有する請求項１または請求項２に記載の被加工物の処理システム。
【請求項４】
該搬送車は、
被加工物または該処理装置で使用する物品の少なくともいずれかを収容するトレイと、
該トレイを該処理装置と該ストッカーとに対して昇降させる昇降機構と、
を含む請求項１または請求項２に記載の被加工物の処理システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の処理システムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
複数の被加工物を処理する処理装置に、搬送車（自動搬送車）によって、被加工物や加工工具、加工に使用する消耗品などの物品を搬送して、被加工物を処理する被加工物の処理システムが知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１６３９２０号公報
特開２０１９－２０４９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような被加工物の処理システムを使用して、半導体ウエーハなどの被加工物を分割し複数のデバイスチップを製造する製造工程において、デバイスチップの品質の向上が求められている。デバイスチップの品質の向上の為、異物混入を防ぐことが求められており、異物混入を防ぐ為、製造工程はクリーンルーム内で実施されるが、作業者の立ち入りが異物混入の原因となる発塵源として問題視されている。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、製造工程を実施するクリーンルーム内への作業者の立ち入り頻度を低減できる被加工物の処理システムを提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の処理システムは、被加工物の処理システムであって、被加工物を分割して複数のデバイスチップを製造する複数の処理装置と、該処理装置の上面に複数の該処理装置に渡って設置される搬送路と、該搬送路を走行して複数の該処理装置の間で被加工物を搬送する搬送車と、を有する第一の部屋と、複数枚の被加工物を収容するストッカーを有し、該ストッカーと、該搬送車との間で被加工物を移し替える第二の部屋と、を備え、該第一の部屋と該第二の部屋とは該搬送車が走行する該搬送路によって接続されるものである。
【０００７】
該第一の部屋は該第二の部屋よりもクリーン度が高くてもよい。
【０００８】
該被加工物はデバイスが形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域と、を有し、該第一の部屋は、該処理装置で該デバイス領域を分割して製造された該デバイスチップに対して、表面と、裏面と、側面と、の少なくともいずれかから撮像する撮像ユニットを有する検査装置が配置され、該処理システムは、該撮像ユニットが撮像した画像を記憶する記憶部と、該画像から該デバイスチップのチッピングを少なくとも測定する測定部と、を有してもよい。
【０００９】
該搬送車は、被加工物または該処理装置で使用する物品の少なくともいずれかを収容するトレイと、該トレイを該処理装置と該ストッカーとに対して昇降させる昇降機構と、を含んでもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、デバイスチップを製造する処理装置が設置される第一の部屋と、複数の被加工物を収容するストッカーが設置される第二の部屋と、を分け、第一の部屋と第二の部屋との間の搬送は搬送路を走行する搬送車が行うようにすることで、デバイスチップを製造する第一の部屋（製造工程を実施するクリーンルーム内）への作業者の立ち入る頻度を低減できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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