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公開番号2025050529
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023159377
出願日2023-09-25
発明の名称薬液貯留装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G01N 9/12 20060101AFI20250328BHJP(測定;試験)
要約【課題】処理装置への不適切な処理液の供給を防止することが可能な薬液貯留装置を提供する。
【解決手段】薬液を貯留する薬液貯留装置であって、薬液を貯留するタンクと、薬液の濃度レベルを示す濃度表示ユニットと、を備え、濃度表示ユニットは、薬液の浮力が作用する第1浮子及び第2浮子を備え、第1浮子は、薬液の濃度が第1基準値以上であると薬液の浮力によって移動し、第2浮子は、薬液の濃度が第1基準値よりも高い第2基準値を超えると薬液の浮力によって移動する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
薬液を貯留する薬液貯留装置であって、
該薬液を貯留するタンクと、
該薬液の濃度レベルを示す濃度表示ユニットと、を備え、
該濃度表示ユニットは、該薬液の浮力が作用する第１浮子及び第２浮子を備え、
該第１浮子は、該薬液の濃度が第１基準値以上であると該薬液の浮力によって移動し、
該第２浮子は、該薬液の濃度が該第１基準値よりも高い第２基準値を超えると該薬液の浮力によって移動することを特徴とする薬液貯留装置。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
該濃度表示ユニットは、該タンクの内側に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の薬液貯留装置。
【請求項３】
該濃度表示ユニットは、該タンクの外側に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の薬液貯留装置。
【請求項４】
該第１浮子の密度は該第２浮子の密度よりも低いことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の薬液貯留装置。
【請求項５】
該第１浮子及び該第２浮子は、一端が開口した筒状の容器と、該容器に挿入された密度調節部材と、を備え、
該密度調節部材を該容器に対して相対的に移動させて該容器と該密度調節部材との間の空隙の体積を調節することにより、該第１浮子及び該第２浮子の密度を調節可能であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の薬液貯留装置。
【請求項６】
該第１浮子及び該第２浮子を検出するセンサを更に備えることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の薬液貯留装置。
【請求項７】
該薬液は、処理装置に供給される処理液に添加されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の薬液貯留装置。
【請求項８】
該処理装置に供給される該処理液が流れる処理液供給路に接続された薬液供給路と、
該タンクに貯留された該薬液を該薬液供給路に供給するポンプと、を更に備えることを特徴とする、請求項７に記載の薬液貯留装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬液を貯留する薬液貯留装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスを備えるデバイスチップが製造される。また、複数のデバイスチップを所定の基板上に実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。このパッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割する際には、各種の加工装置によって被加工物が加工される。例えば、環状の切削ブレードで被加工物に切削加工を施す切削装置によって、被加工物が分割される（特許文献１参照）。また、分割前の被加工物に対して、研削装置を用いた研削加工や研磨装置を用いた研磨加工が施されることがある。
【０００４】
加工装置には、被加工物を加工装置で加工する際に用いられる処理液が供給される。例えば、切削装置で被加工物を切削する場合には、被加工物及び切削ブレードに純水等の加工液が供給される。加工液の供給により、被加工物及び切削ブレードが冷却されるとともに、切削加工によって発生した屑（加工屑）が洗い流される。
【０００５】
また、加工装置で使用される処理液には、目的に応じて所定の薬液が添加されることがある。例えば、切削ブレードで被加工物を切削する際に、界面活性剤が添加された加工液を被加工物に供給する手法が提案されている（特許文献２、３参照）。加工液に界面活性剤を含有させることにより、被加工物に付着した加工屑が除去されやすくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開平１０－２４２０８３号公報
特開２００９－１３３０１号公報
特開２０１６－１６５７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
加工装置、洗浄装置等の処理装置において使用される処理液（加工液、洗浄液等）は、処理液供給源から処理液供給路を介して処理装置へ供給される。また、処理液に所定の薬液を添加する場合には、薬液を貯留するタンクが処理液供給路に接続される。タンクから処理液供給路に薬液が供給されると、処理液供給路内において処理液と薬液とが混合され、薬液を含有した処理液が処理装置に供給される。
【０００８】
処理液に添加される薬液は、所定の濃度でタンクに貯留され、所定の流量でタンクから処理液供給路に供給される。これにより、処理液に含有される薬液の濃度が調節される。しかしながら、タンクに注入される薬液の濃度の調節が不十分であったり、誤って異なる濃度の薬液がタンクに補充されたりすると、想定されていない濃度の薬液がタンクに貯留される。この場合、タンクから処理液供給路に供給される薬液の流量を厳密に制御しても、処理液に含有される薬液の濃度が意図した通りに調節されず、処理液を用いた被加工物の処理に支障をきたすおそれがある。
【０００９】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、処理装置への不適切な処理液の供給を防止することが可能な薬液貯留装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、薬液を貯留する薬液貯留装置であって、該薬液を貯留するタンクと、該薬液の濃度レベルを示す濃度表示ユニットと、を備え、該濃度表示ユニットは、該薬液の浮力が作用する第１浮子及び第２浮子を備え、該第１浮子は、該薬液の濃度が第１基準値以上であると該薬液の浮力によって移動し、該第２浮子は、該薬液の濃度が該第１基準値よりも高い第２基準値を超えると該薬液の浮力によって移動する薬液貯留装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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