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公開番号2024173029
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-12
出願番号2023091144
出願日2023-06-01
発明の名称加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 41/06 20120101AFI20241205BHJP(研削;研磨)
要約【課題】加工する前の準備にかかる時間と材料歩留まりの低下を抑制することができる加工方法を提供すること。
【解決手段】加工方法は、ウェーハの第一の面に保護テープを貼り付ける貼り付けステップ1001と、チャックテーブルにウェーハの第一の面を積載する積載ステップ1002と、チャックテーブル上で、バキュームとブローを複数回繰り返すことで、チャックテーブルの塵がウェーハの第一の面の保護テープに付着させる付着ステップ1003と、保護テープ側をチャックテーブルで保持しウェーハの第二の面を研削する研削ステップと、ウェーハの第一の面から保護テープを剥離する剥離ステップ1005と、ウェーハの第二の面をチャックテーブルに保持し、ウェーハの第一の面を研削する第2研削ステップ1006と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの第一の面とウェーハの第二の面を研削する加工方法であって、
該ウェーハの第一の面に保護テープを貼り付ける貼り付けステップと、
チャックテーブルに該ウェーハの第一の面を積載する積載ステップと、
該チャックテーブル上で該ウェーハの保護テープ側をバキュームした後、ブローするとともに、該バキュームと該ブローを複数回繰り返すことで、該チャックテーブルの塵が該ウェーハの第一の面の該保護テープに付着させる付着ステップと、
保護テープ側を該チャックテーブルで保持し、該ウェーハの第二の面を研削する研削ステップと、
該ウェーハの該第一の面から該保護テープを剥離する剥離ステップと、
該ウェーハの第二の面を該チャックテーブルに保持し、該ウェーハの第一の面を研削する第２研削ステップと、
を有することを特徴とする加工方法。
続きを表示（約 62 文字）【請求項２】
該ウェーハの第一の面に樹脂と保護シートを貼り付けることを特徴とする請求項１に記載の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを研削する加工方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
加工装置（例えば、特許文献１参照）は、加工前に、チャックテーブル上にあるコンタミを除去するため、長時間のウォームアップや、慣らし運転で数十枚のウェーハをチャックテーブルに保持して、加工して、チャックテーブル上をきれいにしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－００６１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前述した特許文献１等に記載された加工装置は、ウォームアップや慣らし運転にかかる時間などの加工する前の準備にかかる時間が長時間化する傾向であった。また、前述した特許文献１等に記載された加工装置は、慣らし運転で加工される数十枚のウェーハが無駄となって、材料歩留まりが低下する傾向であった。
【０００５】
本発明の目的は、加工する前の準備にかかる時間と材料歩留まりの低下を抑制することができる加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工方法は、ウェーハの第一の面とウェーハの第二の面を研削する加工方法であって、該ウェーハの第一の面に保護テープを貼り付ける貼り付けステップと、チャックテーブルに該ウェーハの第一の面を積載する積載ステップと、該チャックテーブル上で該ウェーハの保護テープ側をバキュームした後、ブローするとともに、該バキュームと該ブローを複数回繰り返すことで、該チャックテーブルの塵が該ウェーハの第一の面の該保護テープに付着させる付着ステップと、保護テープ側を該チャックテーブルで保持し、該ウェーハの第二の面を研削する研削ステップと、該ウェーハの該第一の面から該保護テープを剥離する剥離ステップと、該ウェーハの第二の面を該チャックテーブルに保持し、該ウェーハの第一の面を研削する第２研削ステップと、を有することを特徴とする。
【０００７】
前記加工方法において、該ウェーハの第一の面に樹脂と保護シートを貼り付けても良い。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、加工する前の準備にかかる時間と材料歩留まりの低下を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態１に係る加工方法の加工対象のウェーハを模式的に示す断面図である。
図２は、実施形態１に係る加工方法で用いられる研削装置の構成例を示す斜視図である。
図３は、実施形態１に係る加工方法の流れを示すフローチャートである。
図４は、図３に示された加工方法の貼り付けステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。
図５は、図３に示された加工方法の貼り付けステップにおいて貼り付け装置が台上に保護シートを送り出した状態を模式的に斜視図である。
図６は、図５に示された台上の保護シートに樹脂を供給する状態を模式的に示す斜視図である。
図７は、図６に示された台上の保護シートに樹脂を供給した状態を模式的に示す斜視図である。
図８は、図７に示された台上の保護シートに供給された樹脂にウェーハの第一の面を押し付けた状態を模式的に示す斜視図である。
図９は、図８に示された保護シートをウェーハの外縁に沿って切断する状態を模式的に示す斜視図である。
図１０は、図９に示された保護シートがウェーハの外縁に沿って切断された状態を模式的に示す斜視図である。
図１１は、図３に示された積載ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。
図１２は、図３に示された加工方法の付着ステップにおいてチャックテーブルの保持面から流体をブローする状態を一部断面で模式的に示す側面図である。
図１３は、図３に示された加工方法の付着ステップにおいて保護テープに塵が付着した状態を一部断面で模式的に示す側面図である。
図１４は、図３に示された加工方法の研削ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。
図１５は、図３に示された加工方法の研削ステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。
図１６は、図３に示された加工方法の剥離ステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。
図１７は、図３に示された加工方法の第２研削ステップを一部断面で模式的に示す側面図である。
図１８は、図３に示された加工方法の第２研削ステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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