特許ウォッチ

公開番号2025047898
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023156665
出願日2023-09-22
発明の名称貼着装置及び貼着方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】シートに含まれる複数の貼着部を複数の被貼着物にそれぞれ貼着する際に利用されるロールシートを有効活用することが可能な貼着装置を提供することである。
【解決手段】貼着装置は、被貼着物を支持するためのテーブルと貼着部をテーブルによって支持された被貼着物に貼着するとともにシートから分離するための処理ユニットと処理ユニットを制御するためのコントローラとを備える。処理ユニットは、シートを筒状の芯に巻きつけることによって得られるロールシートが装着される供給ローラと供給ローラに装着されたロールシートからシートを引き出すような力をロールシートに付与するためのモータとを有する。コントローラは、モータのトルクをパラメータとする物理量のしきい値を記憶するためのメモリとモータを作動させる際の物理量の実際の値としきい値とを比較することによってロールシートが使用限界に達したか否かを判定するプロセッサとを有する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
シートに含まれる複数の貼着部を複数の被貼着物にそれぞれ貼着するための貼着装置であって、
該複数の被貼着物のいずれかを支持するためのテーブルと、
該複数の貼着部のいずれかを該テーブルによって支持された該複数の被貼着物のいずれかに貼着するとともに該シートから分離するための処理ユニットと、
該処理ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、
該処理ユニットは、
該シートを筒状の芯に巻きつけることによって得られるロールシートが装着される供給ローラと、
該供給ローラに装着された該ロールシートから該シートを引き出すような力を該ロールシートに付与するためのモータと、を有し、
該コントローラは、
該モータのトルクをパラメータとする物理量のしきい値を記憶するためのメモリと、
該モータを作動させる際の該物理量の実際の値と該しきい値とを比較することによって該ロールシートが使用限界に達したか否かを判定するプロセッサと、を有する貼着装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
該シートの終端は、該芯に固定され、
該プロセッサは、該物理量の該実際の値が該しきい値よりも大きい場合に、該ロールシートが使用限界に達したと判定する請求項１に記載の貼着装置。
【請求項３】
該シートの終端は、該芯に固定されず、
該プロセッサは、該物理量の該実際の値が該しきい値よりも小さい場合に、該ロールシートが使用限界に達したと判定する請求項１に記載の貼着装置。
【請求項４】
該処理ユニットは、該供給ローラに装着された該ロールシートの外径が所定の値よりも小さくなったことを把握するためのセンサをさらに備え、
該プロセッサは、該センサによって該ロールシートの該外径が該所定の値よりも小さくなったことが把握されてから、該ロールシートが使用限界に達したか否かの判定を開始する請求項１乃至３のいずれかに記載の貼着装置。
【請求項５】
シートに含まれる複数の貼着部を複数の被貼着物にそれぞれ貼着する貼着方法であって、
該シートを筒状の芯に巻きつけることによって得られるロールシートを供給ローラに装着する装着ステップと、
該装着ステップの後には、該供給ローラに装着された該ロールシートが使用限界に達したと判定されるまで該複数の貼着部を該複数の被貼着物にそれぞれ貼着する貼着ステップと、を備え、
該貼着ステップは、
該複数の被貼着物のいずれかを支持するためのテーブルに該複数の被貼着物のいずれかを搬入する搬入ステップと、
該供給ローラに装着された該ロールシートから該シートを引き出すような力を該ロールシートに付与するためのモータを作動させる作動ステップと、
該供給ローラに装着された該ロールシートから引き出された該シートに含まれる該複数の貼着部のいずれかを該テーブルによって支持された該複数の被貼着物のいずれかに貼着するとともに該シートから分離する処理ステップと、
該複数の貼着部のいずれかが貼着された該複数の被貼着物のいずれかを該テーブルから搬出する搬出ステップと、
を繰り返すことによって行われ、
該ロールシートが使用限界に達したか否かの判定は、該作動ステップにおける該モータのトルクをパラメータとする物理量の実際の値としきい値とを比較することによって行われる貼着方法。
【請求項６】
該シートの終端は、該芯に固定され、
該物理量の該実際の値が該しきい値よりも大きい場合に、該ロールシートが使用限界に達したと判定される請求項５に記載の貼着方法。
【請求項７】
該シートの終端は、該芯に固定されず、
該物理量の該実際の値が該しきい値よりも小さい場合に、該ロールシートが使用限界に達したと判定されることを特徴とする請求項５に記載の貼着方法。
【請求項８】
該ロールシートが使用限界に達したか否かの判定は、該供給ローラに装着された該ロールシートの外径が所定の値よりも小さくなってから開始される請求項５乃至７のいずれかに記載の貼着方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートに含まれる複数の貼着部を複数の被貼着物にそれぞれ貼着するための貼着装置及び貼着方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハを薄化してから個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
【０００３】
例えば、ウェーハは、研削装置において裏面側を研削することによって薄化され、また、切削装置又はレーザー加工装置において複数のデバイスの境界を除去することによって分割される。ただし、この薄化の際には、ウェーハの表面側が強く押圧されて複数のデバイスが破損するおそれがある。また、この分割の際には、製造されるチップが離散してそれらの取り扱いが困難になるおそれがある。
【０００４】
これらの点を踏まえて、これらの加工の前には、貼着装置においてウェーハの表面にシートを貼着することが一般的である（例えば、特許文献１参照）。具体的には、この貼着装置には、その幅がウェーハよりも長く、かつ、その長さが幅よりも桁違いに長いシート（細長シート）を筒状の芯に巻きつけることによって得られるロールシートが装着される供給ローラが設けられている。
【０００５】
そして、この貼着装置においては、この供給ローラに装着されたロールシートから細長シートを引き出してから、その一部（端的には、ウェーハに対応するような形状を有する貼着部）をウェーハ（被貼着物）の表面に貼着するとともに細長シートから分離する。さらに、この貼着装置においては、例えば、ロールシートが使用限界に達するまで同様の動作を繰り返すことによってシートに含まれる複数の貼着部が複数の被貼着物にそれぞれ貼着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１６－８１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した貼着装置には、ロールシートの残量が少なくなったことを把握するためのセンサが設けられている。具体的には、このセンサは供給ローラを構成する金属を検知可能である。そして、被貼着物へのシートの貼着が繰り返されることに伴ってロールシートの外径が小さくなると、このセンサによるロールシートを介した供給ローラの検知が可能になる。
【０００８】
また、この貼着装置においては、このセンサによって供給ローラが検知された場合にロールシートが使用限界に達したと判定される。ただし、このようにロールシートが使用限界に達したと判定される場合、利用可能な部分が残存するロールシートが廃棄されるおそれがある。
【０００９】
この点に鑑み、本発明の目的は、シートに含まれる複数の貼着部を複数の被貼着物にそれぞれ貼着する際に利用されるロールシートを有効活用することが可能な貼着装置及び貼着方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面によれば、シートに含まれる複数の貼着部を複数の被貼着物にそれぞれ貼着するための貼着装置であって、該複数の被貼着物のいずれかを支持するためのテーブルと、該複数の貼着部のいずれかを該テーブルによって支持された該複数の被貼着物のいずれかに貼着するとともに該シートから分離するための処理ユニットと、該処理ユニットを制御するためのコントローラと、を備え、該処理ユニットは、該シートを筒状の芯に巻きつけることによって得られるロールシートが装着される供給ローラと、該供給ローラに装着された該ロールシートから該シートを引き出すような力を該ロールシートに付与するためのモータと、を有し、該コントローラは、該モータのトルクをパラメータとする物理量のしきい値を記憶するためのメモリと、該モータを作動させる際の該物理量の実際の値と該しきい値とを比較することによって該ロールシートが使用限界に達したか否かを判定するプロセッサと、を有する貼着装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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