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公開番号2025037120
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-17
出願番号2023143895
出願日2023-09-05
発明の名称保持部材
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250310BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持面において静電引力を均一に発生させることができる保持部材を提供すること。
【解決手段】保持面11と、Z軸方向にて保持面11とは反対側に設けられる下面12と、保持面11と下面12の間に配置されるチャック電極50と、チャック電極50と外部電源に接続された給電端子66とを電気的に接続する導通部材と、を備え、保持面11上に半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、導通部材は、チャック電極50に接続する接続電極60を有し、接続電極60は、Z軸方向に延びるとともにチャック電極50の外周に沿う形状をなすものである。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されるチャック電極と、前記チャック電極と外部電源に接続された給電端子とを電気的に接続する導通部材と、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持部材において、
前記導通部材は、前記チャック電極に接続する接続電極を有し、
前記接続電極は、前記厚み方向に延びるとともに前記チャック電極の外周に沿う形状をなすものである
ことを特徴とする保持部材。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持部材において、
前記接続電極は、前記チャック電極の外周側面に接続されている
ことを特徴とする保持部材。
【請求項３】
請求項１に記載する保持部材において、
前記接続電極は、等間隔に分割配置されている
ことを特徴とする保持部材。
【請求項４】
請求項１に記載する保持部材において、
前記接続電極は、前記チャック電極の外周全域に配置されている
ことを特徴とする保持部材。
【請求項５】
請求項１から請求項４に記載するいずれか１つの保持部材において、
前記導通部材は、前記給電端子から前記接続電極までの給電経路に配置されるビアを備えており、
前記接続電極は、前記厚み方向視で、前記ビアと重なり合わない位置に配置されている
ことを特徴とする保持部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持部材に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程において、半導体ウエハを保持するために、保持装置（例えば静電チャック等）が使用されている。この種の保持装置では、保持面に半導体ウエハを保持するための静電引力を発生させるチャック電極を備えている（特許文献１参照）。
【０００３】
そして、チャック電極がビアを介して給電端子に接続されており、外部電源から給電端子及びビアを介してチャック電極に給電されるようになっている。チャック電極へ給電されると保持面に静電引力が発生して、その静電引力によって半導体ウエハが保持面に保持されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１６７５２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の保持装置のようにチャック電極にビアを接続する場合、接続箇所において、ビアと接続パッドが複数重なり合っている（積層されている）ため、厚み方向にかさ上げされてしまい、チャック電極がビア（及び接続パッド）によって保持面側へ突き上げられてしまう。そのため、チャック電極が保持面側へ凸となり、局所的に保持面とチャック電極との距離（絶縁距離）が変化してしまう。その結果、保持面において静電引力の大きさがばらついてしまって均一にならないおそれがある。
【０００６】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、保持面において静電引力を均一に発生させることができる保持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の面と、厚み方向にて前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面と、前記第１の面と前記第２の面の間に配置されるチャック電極と、前記チャック電極と外部電源に接続された給電端子とを電気的に接続する導通部材と、を備え、前記第１の面上に対象物を保持する保持部材において、
前記導通部材は、前記チャック電極に接続する接続電極を有し、
前記接続電極は、前記厚み方向に延びるとともに前記チャック電極の外周に沿う形状をなすものであることを特徴とする。
【０００８】
この保持装置では、厚み方向に延びるとともにチャック電極の外周に沿う形状（シート状）の接続電極をチャック電極に接続している。つまり、チャック電極にビアを接続していない。そして、接続電極が厚み方向に延びるとともにチャック電極の外周に沿う形状（シート状）をなしているため、接続電極とチャック電極との接続箇所において、接続電極がチャック電極を保持面側へ突き上げることがない。
【０００９】
そのため、保持面とチャック電極との距離（絶縁距離）を一定にすることができる。従って、チャック電極により、保持面において静電引力を均一に発生させることができる。
【００１０】
上記した保持部材において、
前記接続電極は、前記チャック電極の外周側面に接続されていることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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