特許ウォッチ

公開番号2025027785
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-28
出願番号2023132918
出願日2023-08-17
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250220BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】フレームユニットを搬送する場合と単体のウエーハを搬送する場合において搬送手段が適正か否か確認できる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置の搬送手段は、ワークを吸引して保持する第一の保持部32と、エアーを噴射した際にベルヌーイ効果によって生成される吸引力によってワークを保持する第二の保持部と、第一の保持部32と第二の保持部とを選択的に連結する連結部56を備えた搬送アーム36とを含む。連結部56に第一の保持部32を連結した際は、エアー供給口が閉塞されて第二のバルブ76を開にすると第二の圧力計74の値が大きくなって連結部56に第一の保持部32が連結されていることが確認できる。連結部56に第二の保持部を連結した際は、エアー吸引口が閉塞されて第一のバルブ70を開にすると第一の圧力計68の値が小さくなって連結部56に第二の保持部が連結されていることが確認できる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたワークを切削する切削手段と、該チャックテーブルにワークを搬送し、あるいは該チャックテーブルからワークを搬送する搬送手段と、を含む加工装置であって、
該搬送手段は、ワークを吸引して保持する第一の保持部と、エアーを噴射した際にベルヌーイ効果によって生成される吸引力によってワークを保持する第二の保持部と、該第一の保持部と該第二の保持部とを選択的に連結する連結部を備えた搬送アームと、を含み、
該第一の保持部には該連結部のエアー吸引路と連結するエアー吸引口が形成され、
該第二の保持部には該連結部のエアー供給路と連結するエアー供給口が形成され、
該エアー吸引路は第一の圧力計と第一のバルブとを介して吸引源に接続されており、
該エアー供給路は第二の圧力計と第二のバルブとを介してエアー源に接続されており、
該連結部に該第一の保持部を連結した際は、該エアー供給口が閉塞されて該第二のバルブを開にすると該第二の圧力計の値が大きくなって該連結部に該第一の保持部が連結されていることが確認でき、
該連結部に該第二の保持部を連結した際は、該エアー吸引口が閉塞されて該第一のバルブを開にすると該第一の圧力計の値が小さくなって該連結部に該第二の保持部が連結されていることが確認できる加工装置。
続きを表示（約 150 文字）【請求項２】
該ワークは、ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームにテープを介してウエーハを支持したフレームユニットと、単体のウエーハと、のいずれかであり、
フレームユニットは該第一の保持部によって保持され、単体のウエーハは該第二の保持部によって保持される請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたワークを切削する切削手段と、チャックテーブルにワークを搬送し、あるいはチャックテーブルからワークを搬送する搬送手段と、を含む加工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩなどの複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコンなどの電気機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に支持したスピンドルを備えた切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、切削済みのウエーハを洗浄する洗浄手段と、ウエーハを複数収容したカセットが設置されるカセットテーブルと、カセットテーブルに設置されたカセットからウエーハを搬出し仮置きテーブルに位置づける搬出手段と、搬出されたウエーハをチャックテーブルに搬送する第一の搬送手段と、切削済みのウエーハを洗浄手段に搬送する第二の搬送手段と、を備え、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、ウエーハは、ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームにテープを介して支持されたフレームユニットの形態で切削手段によって完全切断される場合と、単体のウエーハとして切削手段によって不完全にハーフカットされる場合とがある。
【０００５】
そして、第一の搬送手段および第二の搬送手段は、フレームユニットを搬送する場合と、単体のウエーハを搬送する場合とにおいて搬送手段の構成が異なるため、オペレータは、搬送手段の取り替えを適切に行う必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１０－３６２７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、オペレータが搬送手段の取り替えを忘れたり、搬送手段を取り違えたりすると、搬送手段によってウエーハを搬送している際に、搬送手段からウエーハが落下し、あるいは、搬送ができないという問題が生じる。
【０００８】
本発明の課題は、フレームユニットを搬送する場合と単体のウエーハを搬送する場合において搬送手段が適正か否か確認できる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の加工装置が提供される。すなわち、
「ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたワークを切削する切削手段と、該チャックテーブルにワークを搬送し、あるいは該チャックテーブルからワークを搬送する搬送手段と、を含む加工装置であって、
該搬送手段は、ワークを吸引して保持する第一の保持部と、エアーを噴射した際にベルヌーイ効果によって生成される吸引力によってワークを保持する第二の保持部と、該第一の保持部と該第二の保持部とを選択的に連結する連結部を備えた搬送アームと、を含み、
該第一の保持部には該連結部のエアー吸引路と連結するエアー吸引口が形成され、
該第二の保持部には該連結部のエアー供給路と連結するエアー供給口が形成され、
該エアー吸引路は第一の圧力計と第一のバルブとを介して吸引源に接続されており、
該エアー供給路は第二の圧力計と第二のバルブとを介してエアー源に接続されており、
該連結部に該第一の保持部を連結した際は、該エアー供給口が閉塞されて該第二のバルブを開にすると該第二の圧力計の値が大きくなって該連結部に該第一の保持部が連結されていることが確認でき、
該連結部に該第二の保持部を連結した際は、該エアー吸引口が閉塞されて該第一のバルブを開にすると該第一の圧力計の値が小さくなって該連結部に該第二の保持部が連結されていることが確認できる加工装置」が提供される。
【００１０】
好ましくは、該ワークは、ウエーハを収容する開口部を中央に備えたフレームにテープを介してウエーハを支持したフレームユニットと、単体のウエーハと、のいずれかであり、フレームユニットは該第一の保持部によって保持され、単体のウエーハは該第二の保持部によって保持される。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許