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公開番号2025018150
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023121625
出願日2023-07-26
発明の名称調整方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類G01N 3/20 20060101AFI20250130BHJP(測定;試験)
要約【課題】チップの抗折強度を計測する圧子の平行度の調整が個人差によってばらつくことを防止し、抗折強度の計測の信頼性が確保できる調整方法を提供する。
【解決手段】チップDの抗折強度計測装置準備工程と、ブロックゲージGを準備するブロックゲージ準備工程と、ブロックゲージGに圧子7aを接触させて荷重計測器4の値が第一の値Wとなった際の位置計測器10の第二の値を記録する記録工程と、ブロックゲージGを支点ブロック9のY方向の他方の側に位置付けて移動手段8を作動してブロックゲージGに圧子7aを接触させて荷重計測器4の値が第一の値Wと一致した際に、移動手段8の作動を停止して位置計測器10の値と第二の値とのZ方向の差ΔZを算出する算出工程と、算出工程によって算出されたZ方向の差ΔZが0になるように、圧子ブロック7を調整する調整工程と、を含み構成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
チップの抗折強度を計測する抗折強度計測装置の調整方法であって、
チップの下面をＸ方向に間隔をもって２つの支点で支持するＹ方向に延在する支点ブロックと、該支点ブロックの中央に位置付けられ該支点ブロックで支持されたチップにＺ方向から荷重を加える該Ｙ方向に延在する圧子を備えた圧子ブロックと、該圧子をＺ方向で移動し該支点ブロックに支持されたチップに接触及び離反させる移動手段と、該圧子のＺ方向の移動位置を計測する位置計測器と、該圧子が該支点ブロックに支持されたチップに接触することで生成される荷重を計測する荷重計測器と、を含み構成された抗折強度計測装置を準備する抗折強度計測装置準備工程と、
厚みが均一で強度の強いブロックゲージを準備するブロックゲージ準備工程と、
該ブロックゲージを該支点ブロックの該Ｙ方向の一方の側に位置付けて該移動手段を作動して該ブロックゲージに該圧子を接触させて該荷重計測器の値が第一の値となった際の該位置計測器の第二の値を記録する記録工程と、
該ブロックゲージを該支点ブロックの該Ｙ方向の他方の側に位置付けて該移動手段を作動して該ブロックゲージに該圧子を接触させて該荷重計測器の値が該第一の値と一致した際に、該移動手段の作動を停止して該位置計測器の値と該第二の値とのＺ方向の差を算出する算出工程と、
該算出工程によって算出されたＺ方向の差が０になるように、該圧子ブロックを調整する調整工程と、
を含み構成される調整方法。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
該圧子ブロックは、Ｘ方向に延在する回転軸を備える固定ブロックに回動可能に装着されると共に、該固定ブロックに配設された固定具によって固定され、
該調整工程において、該固定具を緩めて該圧子ブロックの回動を許容して、該Ｚ方向の差が０になるように該圧子ブロックを回動して該固定具によって固定する請求項１に記載の調整方法。
【請求項３】
該記録工程において、該ブロックゲージが位置付けられた前側の位置と、該算出工程において該ブロックゲージが位置付けられた後側の位置とのＹ方向の差と、該算出工程で算出されたＺ方向の差によって、該圧子の傾きを求めて該調整工程が実施される請求項２に記載の調整方法。
【請求項４】
該調整工程の後、該記録工程と該算出工程とを実施して、調整した結果が許容範囲であるか否かを確認する確認工程が含まれる請求項１に記載の調整方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップの抗折強度を計測する抗折強度計測装置の調整方法に関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
また、ウエーハ毎のサンプル検査によって分割されたデバイスチップの抗折強度が計測され、所定以上の抗折強度が計測されたウエーハのデバイスチップのみが採用されて電気機器に利用される（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１９６１８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、デバイスチップの抗折強度を計測する抗折強度計測装置は、デバイスチップの下面をＸ方向に間隔をもって２つの支点で支持するＹ方向に延在する支点ブロックと、該支点ブロックの該一対の支点の中央に位置付けられ該一対の支点で支持されたデバイスチップにＺ方向から荷重を加える該Ｙ方向に延在する圧子と、該圧子を該支点ブロックに支持されたデバイスチップに接触するように移動させる移動手段と、該圧子が該支点ブロックに支持されたデバイスチップに接触することで生成される荷重を計測する荷重計測器を含み構成されている。
【０００６】
ここで、該一対の支点を構成する支点ブロックと該圧子の先端とがＺ方向に平行になっていない場合は、該圧子が支点ブロックに支持されたデバイスチップに片当たりしてしまい、抗折強度が正確に計測できないという問題があることから、下方に感圧紙を敷いて圧子を下降し、該圧子が当たった位置の色の濃さによって平行度を確認している。しかし、該感圧紙の色の濃さに基づく確認方法では、確認するオペレータによって個人差が生じ、正確に平行度を確認することが困難であることから、該圧子を用いた抗折強度の計測結果の信頼性が欠けるという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、チップの抗折強度を計測する圧子の平行度の調整が個人差によってばらつくことを防止し、抗折強度の計測の信頼性が確保できる調整方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、チップの抗折強度を計測する抗折強度計測装置の調整方法であって、チップの下面をＸ方向に間隔をもって２つの支点で支持するＹ方向に延在する支点ブロックと、該支点ブロックの中央に位置付けられ該支点ブロックで支持されたチップにＺ方向から荷重を加える該Ｙ方向に延在する圧子を備えた圧子ブロックと、該圧子をＺ方向で移動し該支点ブロックに支持されたチップに接触及び離反させる移動手段と、該圧子のＺ方向の移動位置を計測する位置計測器と、該圧子が該支点ブロックに支持されたチップに接触することで生成される荷重を計測する荷重計測器と、を含み構成された抗折強度計測装置を準備する抗折強度計測装置準備工程と、厚みが均一で強度の強いブロックゲージを準備するブロックゲージ準備工程と、該ブロックゲージを該支点ブロックの該Ｙ方向の一方の側に位置付けて該移動手段を作動して該ブロックゲージに該圧子を接触させて該荷重計測器の値が第一の値となった際の該位置計測器の第二の値を記録する記録工程と、該ブロックゲージを該支点ブロックの該Ｙ方向の他方の側に位置付けて該移動手段を作動して該ブロックゲージに該圧子を接触させて該荷重計測器の値が該第一の値と一致した際に、該移動手段の作動を停止して該位置計測器の値と該第二の値とのＺ方向の差を算出する算出工程と、該算出工程によって算出されたＺ方向の差が０になるように、該圧子ブロックを調整する調整工程と、を含み構成される調整方法が提供される。
【０００９】
該圧子ブロックは、Ｘ方向に延在する回転軸を備える固定ブロックに回動可能に装着されると共に、該固定ブロックに配設された固定具によって固定され、該調整工程において、該固定具を緩めて該圧子ブロックの回動を許容して、該Ｚ方向の差が０になるように該圧子ブロックを回動して該固定具によって固定することが好ましい。また、該記録工程において、該ブロックゲージが位置付けられた前側の位置と、該算出工程において該ブロックゲージが位置付けられた後側の位置とのＹ方向の差と、該算出工程で算出されたＺ方向の差によって、該圧子の傾きを求めて該調整工程が実施されることが好ましい。さらに、該調整工程の後、該記録工程と該算出工程とを実施して、調整が許容範囲であるか否かを確認する確認工程が含まれることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の抗折強度計測装置の調整方法は、チップの下面をＸ方向に間隔をもって２つの支点で支持するＹ方向に延在する支点ブロックと、該支点ブロックの中央に位置付けられ該支点ブロックで支持されたチップにＺ方向から荷重を加える該Ｙ方向に延在する圧子を備えた圧子ブロックと、該圧子をＺ方向で移動し該支点ブロックに支持されたチップに接触及び離反させる移動手段と、該圧子のＺ方向の移動位置を計測する位置計測器と、該圧子が該支点ブロックに支持されたチップに接触することで生成される荷重を計測する荷重計測器と、を含み構成された抗折強度計測装置を準備する抗折強度計測装置準備工程と、厚みが均一で強度の強いブロックゲージを準備するブロックゲージ準備工程と、該ブロックゲージを該支点ブロックの該Ｙ方向の一方の側に位置付けて該移動手段を作動して該ブロックゲージに該圧子を接触させて該荷重計測器の値が第一の値となった際の該位置計測器の第二の値を記録する記録工程と、該ブロックゲージを該支点ブロックの該Ｙ方向の他方の側に位置付けて該移動手段を作動して該ブロックゲージに該圧子を接触させて該荷重計測器の値が該第一の値と一致した際に、該移動手段の作動を停止して該位置計測器の値と該第二の値とのＺ方向の差を算出する算出工程と、該算出工程によって算出されたＺ方向の差が０になるように、該圧子ブロックを調整する調整工程と、を含み構成されることから、感圧紙を用いて調整した場合のように個人差によって調整のばらつきが生じることが防止されて、圧子を用いて実施されるチップの抗折強度の計測の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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