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公開番号2025018236
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023121770
出願日2023-07-26
発明の名称プローブ
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/073 20060101AFI20250130BHJP(測定;試験)
要約【課題】先端部材が母材から外れることが抑制されたプローブを提供する。
【解決手段】プローブ1は、支持部12を有する先端部材10と、一端から軸方向に沿って一定の範囲で側面の一部を軸方向に垂直な厚み方向に後退させて接合領域200が構成された母材20を備える。先端部材10の支持部12の第1側面121と母材20の接合領域200に露出する後退させた対向側面201とが当接して、先端部材10と母材20が接合されている。第1側面121と対向側面201の一方に厚み方向に突起する凸部が形成され、第1側面121と対向側面201の他方に凸部と篏合する凹部が形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
支持部を有し、前記検査対象物と接触する先端部材と、
一端から軸方向に沿って一定の範囲で側面の一部を前記軸方向に垂直な厚み方向に後退させて接合領域が構成された母材と
を備え、
前記先端部材の前記支持部の第１側面と前記母材の前記接合領域に露出する後退させた側面とが当接して、前記支持部が前記母材と接合され、
前記第１側面と前記後退させた側面の一方に前記厚み方向に突起する凸部が形成され、前記第１側面と前記後退させた側面の他方に前記凸部と篏合する凹部が形成されている、
プローブ。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
前記先端部材が、前記支持部に連結し、前記検査対象物と接触する突出部を有し、
前記突出部の突出する方向と反対方向に延伸する埋込部が前記先端部材の前記支持部に形成され、
前記軸方向において前記支持部と対向する前記母材の対向端面に埋込溝が形成され、
前記埋込溝に前記埋込部が埋め込まれている、
請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記接合領域の端から前記軸方向に延伸する前記母材の側面に配置された、前記母材より電気抵抗の低い材料の伝送部材を更に備え、
前記先端部材の前記支持部と前記伝送部材が接続されている、
請求項１に記載のプローブ。
【請求項４】
前記伝送部材の一部が前記接合領域と重なるように前記軸方向に沿って延伸し、
前記先端部材の前記支持部の一部が前記伝送部材の前記延伸した部分と前記母材に挟まれている、
請求項３に記載のプローブ。
【請求項５】
前記支持部の前記第１側面に対向する第２側面が、前記母材と段差なく連続している、請求項１に記載のプローブ。
【請求項６】
前記第１側面と前記後退させた側面に、複数の前記凸部および前記凸部とそれぞれ篏合する複数の前記凹部が形成されている、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項７】
前記凸部と前記凹部の当接面が、前記軸方向に沿った断面において前記軸方向と平行および垂直な辺により構成される矩形状である、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項８】
前記凸部と前記凹部の当接面が、前記軸方向に沿った断面において前記軸方向と斜めに交差する辺により構成されるテーパ形状である、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプローブ。
【請求項９】
前記検査対象物の検査開始時に前記検査対象物に接触する前記先端部材が変位する方向に、前記支持部と前記母材が重なりを有して前記先端部材と前記母材が接合され、前記凸部の突起する方向が前記変位する方向である、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプローブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部を検査対象物の電極に接触させ、プローブの他方の端部をプリント基板などに配置された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－１４７５１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査対象物との接触によりプローブの端部が摩耗することを抑制するために、例えば母材よりも硬度の高い硬質材料の先端部材を柱形状の母材の一端に接合したプローブが使用されている。本発明は、先端部材が母材から外れることが抑制されたプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、支持部を有する先端部材と、一端から軸方向に沿って一定の範囲で側面の一部を軸方向に垂直な厚み方向に後退させて接合領域が構成された母材を備えるプローブが提供される。先端部材の支持部の第１側面と母材の接合領域に露出する後退させた側面とが当接して、先端部材と母材が接合されている。第１側面と後退させた側面の一方に厚み方向に突起する凸部が形成され、第１側面と後退させた側面の他方に凸部と篏合する凹部が形成されている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、先端部材が母材から外れることが抑制されたプローブを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な断面図である。
図２は、本発明の第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な斜視図である。
図３は、本発明の第１の実施形態に係るプローブを使用した電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図４は、本発明の第１の実施形態に係るプローブと検査対象物の接触した状態を示す模式図である。
図５は、本発明の第１の実施形態の変形例に係るプローブの構成を示す模式的な断面図である。
図６Ａは、本発明の第１の実施形態の変形例に係るプローブの凸部と凹部の構成を示す模式的な断面図である。
図６Ｂは、本発明の第１の実施形態の変形例に係るプローブの凸部と凹部の他の構成を示す模式的な断面図である。
図７は、本発明の第２の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な断面図である。
図８は、本発明の第３の実施形態に係るプローブの構成を示す模式的な断面図である。
図９は、本発明の第３の実施形態の変形例に係るプローブの構成を示す模式的な断面図である。
図１０は、本発明のその他の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置および製造方法などを下記のものに特定するものでない。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１に示す第１の実施形態に係るプローブ１は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１は、先端部材１０と母材２０を備える。先端部材１０は、検査対象物と接触する突出部１１、および突出部１１に連結する支持部１２を有する。先端部材１０は、支持部１２において母材２０と接合されている。図１は、プローブ１の中心軸に沿った断面図である。
【００１０】
図１および図２に示すように、柱形状の母材２０の延伸する方向を軸方向Ｄ１、軸方向Ｄ１に垂直で支持部１２と母材２０の対向する方向を厚み方向Ｄ２、軸方向Ｄ１および厚み方向Ｄ２に垂直な方向を幅方向Ｄ３とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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