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公開番号2025033709
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023139627
出願日2023-08-30
発明の名称濃度計測装置および方法
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01N 21/3577 20140101AFI20250306BHJP(測定;試験)
要約【課題】液温が不明であっても測定されている純水の吸光度を用いて濃度計測ができるようにする。
【解決手段】推定回路103は、所定の測定波長における純水の吸光度と純水の吸光度の測定時の純水の液温との相関を表す液温推定回帰式を用いて、吸光度計102が測定した純水の吸光度から液温の推定値を推定する。濃度算出回路104は、推定回路103が推定した推定値で補正した濃度回帰式を用いて、吸光度計102が測定した溶液の吸光度から溶液における成分の濃度を求める。濃度算出回路104は、推定回路103が推定した推定値で濃度回帰式の定数項を補正し、定数項を補正した濃度回帰式を用いて成分濃度を求める。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
濃度の測定対象となる溶液の吸光度より前記溶液における成分の濃度を求める濃度回帰式、および純水の吸光度と純水の吸光度の測定時の純水の液温との相関を表す液温推定回帰式を記憶するように構成された記憶回路と、
前記溶液および純水の各々について吸光度を測定する吸光度計と、
前記液温推定回帰式を用いて前記吸光度計が測定した純水の吸光度から液温の推定値を推定するように構成された推定回路と、
前記推定値で補正した前記濃度回帰式を用いて、前記吸光度計が測定した前記溶液の吸光度から前記溶液における前記成分の濃度を求めるように構成された濃度算出回路と
を備える濃度計測装置。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
請求項１記載の濃度計測装置において、
前記濃度算出回路は、前記推定値で前記濃度回帰式の定数項を補正する濃度計測装置。
【請求項３】
純水の吸光度を測定する第１ステップと、
測定した純水の吸光度と純水の吸光度の測定時の純水の液温との相関を表す液温推定回帰式を用いて、前記第１ステップで測定した吸光度から液温の推定値を推定する第２ステップと、
濃度の測定対象となる溶液の吸光度を測定する第３ステップと、
測定した前記溶液の吸光度より前記溶液における成分の濃度を求める濃度回帰式を前記推定値で補正し、補正した前記濃度回帰式を用いて、前記第３ステップで測定した吸光度から前記溶液における前記成分の濃度を求める第４ステップと
を備える濃度計測方法。
【請求項４】
請求項３記載の濃度計測方法において、
前記第４ステップでは、前記推定値で前記濃度回帰式の定数項を補正する濃度計測方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、濃度計測装置および方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
光吸収を利用して半導体洗浄液などの薬液濃度を計測する技術が知られている（特許文献１）。この測定技術は、室温付近の純水の透過光強度（スペクトル）を基準として、計測対象薬液のスペクトルの基準からの光強度変化量（吸光度）により薬液濃度を計測する。生産現場では、常に純水の透過光強度を測定することが容易ではない。生産現場における濃度の測定は、薬液を収容している容器に取り付けられている濃度計測装置で実施している。このため、基準となる純水の透過光強度（基準スペクトル）の測定は、容器に収容している薬液を排出し、容器内を洗浄した後、容器に純水を収容して実施することになる。このように、基準スペクトルの取得のためには、生産を停止するなどの煩雑な作業が必要となる。
【０００３】
一方で、濃度計測装置における光源の経時変化や濃度計測装置の取付け位置のずれなどにより、吸光度の測定で常に同じ基準スペクトルを用いると、正確な測定が実施できない。従って、一般には、定期的（例えば２，３年に１回）に基準スペクトルの再取得をし、生産時の薬液濃度計測では、定期的に測定・更新されている基準スペクトルを用いた吸光度の測定で薬液濃度の計測が実施されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－３３１３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した光吸収（吸光度）を利用した濃度計測では、基準スペクトル取得時の液温が必要となるが、濃度計測装置が設けられている薬液容器では、液温計測や制御がなされていない場合が多い。このため、液温が不明であっても、測定されている純水の透過光強度を用いた吸光度測定で濃度計測が実施できる方法が要求されている。
【０００６】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、液温が不明であっても測定されている純水の吸光度から液温を推定し、濃度回帰式を補正することで濃度計測ができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る濃度計測装置は、濃度の測定対象となる溶液の吸光度より溶液における成分の濃度を求める濃度回帰式、および純水の吸光度と純水の吸光度の測定時の純水の液温との相関を表す液温推定回帰式を記憶するように構成された記憶回路と、溶液および純水の各々について吸光度を測定する吸光度計と、液温推定回帰式を用いて吸光度計が測定した純水の吸光度から液温の推定値を推定するように構成された推定回路と、推定値で補正した濃度回帰式を用いて、吸光度計が測定した溶液の吸光度から溶液における成分の濃度を求めるように構成された濃度算出回路とを備える。
【０００８】
上記濃度計測装置の一構成例において、濃度算出回路は、推定値で濃度回帰式の定数項を補正する。
【０００９】
本発明に係る濃度計測方法は、純水の吸光度を測定する第１ステップと、測定した純水の吸光度と純水の吸光度の測定時の純水の液温との相関を表す液温推定回帰式を用いて、第１ステップで測定した吸光度から液温の推定値を推定する第２ステップと、濃度の測定対象となる溶液の吸光度を測定する第３ステップと、測定した溶液の吸光度より溶液における成分の濃度を求める濃度回帰式を推定値で補正し、補正した濃度回帰式を用いて、第３ステップで測定した吸光度から溶液における成分の濃度を求める第４ステップとを備える。
【００１０】
上記濃度計測方法の一構成例において、第４ステップでは、推定値で濃度回帰式の定数項を補正する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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