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公開番号2025030664
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023136161
出願日2023-08-24
発明の名称圧力センサ
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01L 9/12 20060101AFI20250228BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定精度の悪化を抑制してより広い測定レンジが得られるようにする。
【解決手段】この圧力センサは、2つの第1センサ素子121a、第2センサ素子121bを備え、第1センサ素子121aの第1基準室103aより、第2センサ素子121bの第2基準室103bの方が高い圧力とされている。第1基準室103aは、例えば真空(0Pa)とされている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１基台と、
前記第１基台の表面から離間して前記第１基台と向かい合う第１ダイアフラムと、
前記第１基台と前記第１ダイアフラムとの間に形成されて密閉された第１基準室と、
前記第１ダイアフラムの変位を基に前記第１ダイアフラムが受けた圧力値を求めるように構成された第１測定回路と、
第２基台と、
前記第２基台の表面から離間して前記第２基台と向かい合う第２ダイアフラムと、
前記第２基台と前記第２ダイアフラムとの間に形成されて、前記第１基準室より高い圧力とされて密閉された第２基準室と、
前記第２ダイアフラムの変位を基に前記第２ダイアフラムが受けた圧力値を求めるように構成された第２測定回路と
を備える圧力センサ。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
請求項１記載の圧力センサにおいて、
前記第１ダイアフラムと前記第２ダイアフラムとは、同一形状とされている圧力センサ。
【請求項３】
請求項１記載の圧力センサにおいて、
前記第１基台と向かい合う前記第１ダイアフラムの対向面に設けられた第１可動電極と、
前記第１基台の表面に設けられて前記第１可動電極と向かい合う第１固定電極と、
前記第２基台と向かい合う前記第２ダイアフラムの対向面に設けられた第２可動電極と、
前記第２基台の表面に設けられて前記第２可動電極と向かい合う第２固定電極と
を備え、
前記第１測定回路は、前記第１ダイアフラムの変位による前記第１可動電極と前記第１固定電極との間の容量変化を圧力値に変換して出力し、
前記第２測定回路は、前記第２ダイアフラムの変位による前記第２可動電極と前記第２固定電極との間の容量変化を圧力値に変換して出力する
圧力センサ。
【請求項４】
請求項１～３のいずれか１項に記載の圧力センサにおいて、
前記第１基準室は、真空とされている圧力センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
静電容量式の隔膜真空計などの圧力センサは、ダイアフラム（隔膜）を含むセンサチップを測定対象のガスが流れる配管などに取り付けて、圧力を受けたダイアフラムのたわみ量から圧力値を出力する例えば、静電容量式では、ダイアフラムのたわみ量（変位）を静電容量値に変換し、静電容量値から圧力値を求めて出力する。この種の圧力センサは、ガス種依存性が少ないことから、半導体設備をはじめ、工業用途で広く使用されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１０９４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、隔膜真空計は、測定レンジに対応させて、ダイアフラムの厚さや平面視の大きさ（径）を変えている。カバーできる測定レンジを超えた場合は、測定レンジのより大きな構成としたダイアフラムを用いた真空計を使用して測定することになる。大きな測定レンジの真空計では、小さな測定レンジの真空計に比べてダイアフラムが変形しにくくなっているため、同じ圧力に対する感度が小さくなり、測定精度が悪化する。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、測定精度の悪化を抑制してより広い測定レンジが得られるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る圧力センサは、第１基台と、第１基台の表面から離間して第１基台と向かい合う第１ダイアフラムと、第１基台と第１ダイアフラムとの間に形成されて密閉された第１基準室と、第１ダイアフラムの変位を基に第１ダイアフラムが受けた圧力値を求めるように構成された第１測定回路と、第２基台と、第２基台の表面から離間して第２基台と向かい合う第２ダイアフラムと、第２基台と第２ダイアフラムとの間に形成されて、第１基準室より高い圧力とされて密閉された第２基準室と、第２ダイアフラムの変位を基に第２ダイアフラムが受けた圧力値を求めるように構成された第２測定回路とを備える。
【０００７】
上記圧力センサの一構成例において、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムとは、同一形状とされている。
【０００８】
上記圧力センサの一構成例において、第１基台と向かい合う第１ダイアフラムの対向面に設けられた第１可動電極と、第１基台の表面に設けられて第１可動電極と向かい合う第１固定電極と、第２基台と向かい合う第２ダイアフラムの対向面に設けられた第２可動電極と、第２基台の表面に設けられて第２可動電極と向かい合う第２固定電極とを備え、第１測定回路は、第１ダイアフラムの変位による第１可動電極と第１固定電極との間の容量変化を圧力値に変換して出力し、第２測定回路は、第２ダイアフラムの変位による第２可動電極と第２固定電極との間の容量変化を圧力値に変換して出力する。
【０００９】
上記圧力センサの一構成例において、第１基準室は、真空とされている。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、第２基準室の圧力を第１基準室より大きくしたので、測定精度の悪化を抑制してより広い測定レンジが得られる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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