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公開番号2025024371
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-20
出願番号2023128425
出願日2023-08-07
発明の名称湿度センサ
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01N 27/22 20060101AFI20250213BHJP(測定;試験)
要約【課題】感湿膜が劣化した状態を、湿度センサの出力値の変化として捉える。
【解決手段】この湿度センサは、第1素子121および第2素子122を備え、第1素子121は、第1電極101、第1電極101の上に形成された第1感湿膜102、および第1感湿膜102の上に形成された第2電極103aを備え、第2素子122は、第3電極103b、第3電極103bの上に形成された第2感湿膜104、および第2感湿膜104の上に形成された第4電極105を備える。第2感湿膜104は、第1感湿膜102より薄く形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１電極、前記第１電極の上に形成された第１感湿膜、および前記第１感湿膜の上に形成された第２電極を備える第１素子と、
第３電極、前記第３電極の上に形成されて前記第１感湿膜より薄い第２感湿膜、および前記第２感湿膜の上に形成された第４電極を備える第２素子と、
前記第１素子の第１出力値と前記第２素子の第２出力値との差を求めるように構成された演算回路と、
前記第１出力値と前記第２出力値との差の絶対値が基準値を超えたことを検出すると劣化と判断するように構成された劣化判断回路と
を備える湿度センサ。
続きを表示（約 320 文字）【請求項２】
請求項１記載の湿度センサにおいて、
前記第１素子の上に前記第２素子が積層され、前記第２電極と前記第３電極とが共通とされている湿度センサ。
【請求項３】
請求項２記載の湿度センサにおいて、
前記第１素子の平面視の面積は、前記第２素子の平面視の面積より小さい湿度センサ。
【請求項４】
請求項３記載の湿度センサにおいて、
前記第１電極は、前記第４電極の未形成領域に形成されている湿度センサ。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか１項に記載の湿度センサにおいて、
前記第１感湿膜と前記第２感湿膜とは、同一の材料から構成されている湿度センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感湿膜を用いた湿度センサに関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、空調制御では、温度制御に加えて湿度制御が重要となる。湿度制御においては、湿度センサが用いられる。例えば、感湿膜を２つの電極で挟んだ湿度センサが知られている（特許文献１）。湿度の変化により、感湿膜の静電容量値が変化するため、湿度と２つの電極間の静電容量値との対応関係により、測定された静電容量値から湿度を求めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－０１９９６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、高温高湿下や薬品雰囲気下においては、感湿膜が劣化していく。しかしながら、感湿膜が劣化した状態を、湿度センサの出力値の変化として捉えることが容易ではないという問題があった。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、感湿膜が劣化した状態を、湿度センサの出力値の変化として捉えることができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る湿度センサは、第１電極、第１電極の上に形成された第１感湿膜、および第１感湿膜の上に形成された第２電極を備える第１素子と、第３電極、第３電極の上に形成されて第１感湿膜より薄い第２感湿膜、および第２感湿膜の上に形成された第４電極を備える第２素子と、第１素子の第１出力値と第２素子の第２出力値との差を求めるように構成された演算回路と、第１出力値と第２出力値との差の絶対値が基準値を超えたことを検出すると劣化と判断するように構成された劣化判断回路とを備える。
【０００７】
上記湿度センサの一構成例において、第１素子の上に第２素子が積層され、第２電極と第３電極とが共通とされている。
【０００８】
上記湿度センサの一構成例において、第２素子の平面視の面積は、第１素子の平面視の面積より小さい。
【０００９】
上記湿度センサの一構成例において、第１電極は、第４電極の未形成領域に形成されている。
【００１０】
上記湿度センサの一構成例において、第１感湿膜と第２感湿膜とは、同一の材料から構成されている。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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