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公開番号2025017388
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023120362
出願日2023-07-25
発明の名称ロードセル
出願人ユニパルス株式会社
代理人
主分類G01L 1/22 20060101AFI20250130BHJP(測定;試験)
要約【課題】精確な密閉型のロードセルを提供することを課題としている。
【解決手段】中間梁2と、複数の片持梁3a、3bと、歪みゲージ8と、蓋体4aを有するロードセル1aであって、各片持梁3a、3bは、中間梁2を挟んで中間梁2と一体で隣接して単軸方向の力を中間梁2へ導入し、中間梁2は、中空構造であり、歪みゲージ8は、中間梁2の中空部の薄肉部の内壁面に添着され、蓋体4aは、各片持梁3a、3bの支持部近傍の中間梁2に固定されて中空部を密閉する。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
中間梁と、複数の片持梁と、歪みゲージと、蓋体を有するロードセルであって、
前記各片持梁は、前記中間梁を挟んで前記中間梁と一体で隣接して単軸方向の力を前記中間梁へ導入し、
前記中間梁は、中空構造であり、
前記歪みゲージは、前記中間梁の中空部の薄肉部の内壁面に添着され、
前記蓋体は、前記各片持梁の支持部近傍の前記中間梁に固定されて前記中空部を密閉するロードセル。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
中間梁と、複数の片持梁と、歪みゲージと、蓋体を有する平板状のロードセルであって、
前記各片持梁は、前記中間梁を挟んで前記中間梁と一体で隣接して単軸方向の力を前記中間梁へ導入し、
前記中間梁には、前記単軸方向及び平板厚み方向に直交する有底若しくは無底の孔による中空部が設けられ、
前記歪みゲージは、前記中間梁の前記中空部の薄肉部の内壁面に添着され、
前記蓋体は、前記中間梁の前記中空部の端部に固定されて前記中空部を密閉するロードセル。
【請求項３】
前記中間梁の前記薄肉部には、外面側から凹部が設けられている請求項１又は２に記載のロードセル。
【請求項４】
前記蓋体には、前記歪みゲージからの電気配線を固定する固定部材が取り付けられる請求項１又は２に記載のロードセル。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮及び引張の荷重を測定するロードセルに関するものである。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
引張及び圧縮の荷重を検出するロードセルが公知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開20０１-264190号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に代表されるロードセルは、歪みゲージを貼るための接着剤や、配線材を固定するシリコン系接着剤などによってアウトガスが発生してしまう。このアウトガスにより、このようなロードセルは例えば半導体製造装置などに使用することが困難である。そこでこの円筒孔の端部を蓋体で溶接して固定密閉すると、起歪部である薄肉の部分の歪みに影響し、精確な歪みの検出が困難となり改善の余地があった。
【０００５】
このような問題に鑑みて、本発明は、精確な密閉型のロードセルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のロードセルは、上記の目的を達成するために、
中間梁と、複数の片持梁と、歪みゲージと、蓋体を有するロードセルであって、
各片持梁は、中間梁を挟んで中間梁と一体で隣接して単軸方向の力を中間梁へ導入し、
中間梁は、中空構造であり、
歪みゲージは、中間梁の中空部の薄肉部の内壁面に添着され、
蓋体は、各片持梁の支持部近傍の中間梁に固定されて中空部を密閉する構造を有している。
【０００７】
本発明のロードセルは、上記の目的を達成するために、
中間梁と、複数の片持梁と、歪みゲージと、蓋体を有する平板状のロードセルであって、
各片持梁は、中間梁を挟んで中間梁と一体で隣接して単軸方向の力を中間梁へ導入し、
中間梁には、単軸方向及び平板厚み方向に直交する有底若しくは無底の孔による中空部が設けられ、
歪みゲージは、中間梁の中空部の薄肉部の内壁面に添着され、
蓋体は、中間梁の中空部の端部に固定されて中空部を密閉する構造を有している。
【０００８】
また、中間梁の薄肉部には、外面側から凹部が設けられている構造を有している。
【０００９】
また、蓋体には、歪みゲージからの電気配線を固定する固定部材が取り付けられる構造を有している。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のロードセルによれば、精確な密閉型ロードセルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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