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公開番号2025010811
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023113042
出願日2023-07-10
発明の名称試験装置
出願人エスペック株式会社
代理人個人,個人
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250116BHJP(測定;試験)
要約【課題】作業者の不注意による試験対象物の破損及び高電圧試験の所要時間の長期化を回避しつつ、複数の試験対象物に対する高電圧試験と電流電圧特性測定とを自動的に切り替えて効率的に実施することが可能な試験装置を得る。
【解決手段】試験装置は、高電圧試験を実施する第1回路と、電流電圧特性測定を実施する第2回路と、第1回路及び第2回路を制御する制御部と、を備え、第1回路は、高電圧試験において複数の試験対象物に印加する第1電圧を出力する第1電源と、第1電源と複数の試験対象物との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第1切替回路と、を有し、第2回路は、電流電圧特性測定において複数の試験対象物に印加する第2電圧を出力する第2電源と、第2電源と複数の試験対象物との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第2切替回路と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の試験対象物に対して高電圧試験を実施する第１回路と、
前記複数の試験対象物に対して電流電圧特性測定を実施する第２回路と、
前記第１回路及び前記第２回路を制御する制御部と、
を備え、
前記第１回路は、
前記高電圧試験において前記複数の試験対象物に印加する第１電圧を出力する第１電源と、
前記第１電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第１切替回路と、
を有し、
前記第２回路は、
前記電流電圧特性測定において前記複数の試験対象物に印加する第２電圧を出力する第２電源と、
前記第２電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第２切替回路と、
を有し、
前記第１回路及び前記第２回路は、各チャンネルが前記複数の試験対象物の各試験対象物に対応する複数のチャンネルを有し、
前記各チャンネルは、前記複数の第１切替回路の各第１切替回路と、前記複数の第２切替回路の各第２切替回路と、を含む、試験装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記第２回路は、前記第２電源と前記複数の第２切替回路との間に接続され、前記第１電圧から前記第２電源を保護する保護回路をさらに有する、請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記高電圧試験を実施する場合には、
前記第１電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に接続するよう前記複数の第１切替回路を制御し、
前記第２電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に遮断するよう前記複数の第２切替回路を制御し、
前記電流電圧特性測定を実施する場合には、
前記第１電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に遮断するよう前記複数の第１切替回路を制御し、
前記第２電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に接続するよう前記複数の第２切替回路を制御する、請求項１に記載の試験装置。
【請求項４】
前記制御部は、
前記高電圧試験を実施する場合には、
前記第１電圧を出力するよう前記第１電源を制御し、
前記第２電圧を出力しないよう前記第２電源を制御し、
前記電流電圧特性測定を実施する場合には、
前記第１電圧を出力しないよう前記第１電源を制御し、
前記第２電圧を出力するよう前記第２電源を制御する、請求項１に記載の試験装置。
【請求項５】
前記第２電源は、前記複数のチャンネルに共通する一の第２電源を含み、
前記制御部は、前記電流電圧特性測定を実施する場合には、前記一の第２電源に対して前記複数の試験対象物を順に電気的に接続するよう前記複数の第２切替回路を制御する、請求項３に記載の試験装置。
【請求項６】
前記第２電源は複数の第２電源を含み、
前記各チャンネルは、前記複数の第２電源の各第２電源をさらに含み、
前記制御部は、前記電流電圧特性測定を実施する場合には、前記複数の第２電源と前記複数の試験対象物とを並行して電気的に接続するよう前記複数の第２切替回路を制御する、請求項３に記載の試験装置。
【請求項７】
前記各試験対象物は制御電極を有し、
前記第１回路は、
前記高電圧試験において前記複数の試験対象物の各前記制御電極に印加する第３電圧を出力する第３電源と、
前記第３電源と前記複数の試験対象物の各前記制御電極との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第３切替回路と、
をさらに有し、
前記第２回路は、
前記電流電圧特性測定において前記複数の試験対象物の各前記制御電極に印加する第４電圧を出力する第４電源と、
前記第４電源と前記複数の試験対象物の各前記制御電極との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第４切替回路と、
をさらに有し、
前記各チャンネルは、前記複数の第３切替回路の各第３切替回路と、前記複数の第４切替回路の各第４切替回路と、をさらに含む、請求項１に記載の試験装置。
【請求項８】
前記第３電源は複数の第３電源を含み、
前記各チャンネルは、前記複数の第３電源の各第３電源をさらに含み、
前記制御部は、前記高電圧試験を実施する場合には、前記複数の第３電源と前記複数の試験対象物の各前記制御電極とを並行して電気的に接続するよう前記複数の第３切替回路を制御する、請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
前記第４電源は、前記複数のチャンネルに共通する一の第４電源を含み、
前記制御部は、前記電流電圧特性測定を実施する場合には、前記一の第４電源に対して前記複数の試験対象物の各前記制御電極を順に電気的に接続するよう前記複数の第４切替回路を制御する、請求項７に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記第４電源は複数の第４電源を含み、
前記各チャンネルは、前記複数の第４電源の各第４電源をさらに含み、
前記制御部は、前記電流電圧特性測定を実施する場合には、前記複数の第４電源と前記複数の試験対象物の各前記制御電極とを並行して電気的に接続するよう前記複数の第４切替回路を制御する、請求項７に記載の試験装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
パワーＭＯＳＦＥＴ等を試験対象物とする高温逆バイアス試験では、試験対象物に高温かつ高電圧のストレスを印加することによって、試験対象物が絶縁破壊を起こすまでの時間を測定する。
【０００３】
特許文献１には、複数の試料に対して同時に高電圧を印加し、各試料の状態を破壊検出回路で検出することによって印加電圧及び印加時間を制御する耐電圧試験装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
実開昭４８－８４２７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
背景技術に係る高温逆バイアス試験において、試験途中の試験対象物の劣化度合いを測定するためには、試験を中断して試験対象物を試験槽から取り出し、カーブトレーサ等の測定器を用いて試験対象物の電流電圧特性を測定する必要がある。
【０００６】
しかし、試験対象物を試験槽から取り出す際には、試験槽の温度が高温から常温に降下するまで待機する必要がある。また、電流電圧特性の測定後に高温逆バイアス試験を再開する際にも、試験槽の温度が常温から高温に上昇して安定するまで待機する必要がある。その結果、無駄な待ち時間が発生して試験の所要時間が長期化する。
【０００７】
また、試験槽から試験対象物を取り出す作業、又は、取り出した試験対象物を測定器に接続する作業等において、作業者の不注意によって試験対象物を破損してしまう可能性がある。しかも、高温逆バイアス試験では同一品種の複数の試験対象物に対して同時に試験を行うことが多いため、手作業によってこれらの作業を行うのは極めて非効率である。その結果、試験の所要時間がさらに長期化する。
【０００８】
本発明は、かかる問題を解決するために成されたものであり、作業者の不注意による試験対象物の破損及び高電圧試験の所要時間の長期化を回避しつつ、複数の試験対象物に対する高電圧試験と電流電圧特性測定とを自動的に切り替えて効率的に実施することが可能な試験装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１態様に係る試験装置は、複数の試験対象物に対して高電圧試験を実施する第１回路と、前記複数の試験対象物に対して電流電圧特性測定を実施する第２回路と、前記第１回路及び前記第２回路を制御する制御部と、を備え、前記第１回路は、前記高電圧試験において前記複数の試験対象物に印加する第１電圧を出力する第１電源と、前記第１電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第１切替回路と、を有し、前記第２回路は、前記電流電圧特性測定において前記複数の試験対象物に印加する第２電圧を出力する第２電源と、前記第２電源と前記複数の試験対象物との間を電気的に接続又は電気的に遮断する複数の第２切替回路と、を有し、前記第１回路及び前記第２回路は、各チャンネルが前記複数の試験対象物の各試験対象物に対応する複数のチャンネルを有し、前記各チャンネルは、前記複数の第１切替回路の各第１切替回路と、前記複数の第２切替回路の各第２切替回路と、を含む。
【００１０】
第１態様によれば、複数の試験対象物に対して、第１回路によって高電圧試験を実施でき、第２回路によって電流電圧特性測定を実施できるため、電流電圧特性測定のために試験装置から試験対象物を取り出す作業、及び、取り出した試験対象物を測定器に接続する作業が不要となる。その結果、作業者の不注意による試験対象物の破損及び高電圧試験の所要時間の長期化を回避しつつ、複数の試験対象物に対する高電圧試験と電流電圧特性測定とを自動的に切り替えて効率的に実施することが可能となる。
（【００１１】以降は省略されています）

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