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公開番号2025022047
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023126275
出願日2023-08-02
発明の名称搬送アームの位置設定方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250206BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送調整の工数を削減する。
【解決手段】搬送アーム40の位置設定方法は、接近、挟持試行、判定、設定の各ステップを有する。搬送アーム40は押さえプレート421と支持プレート422を含むフレーム挟持部42と、押さえプレート421と支持プレート422の位置関係を検出するセンサ44、45を有する。接近ステップで、搬送アーム40を環状のフレームFへ近づける。その後の挟持試行ステップで、押さえプレート421と支持プレート422の間隔を縮めてフレームFの挟持を試行する。その後の判定ステップで、センサ44、45で検出した位置関係に基づきフレーム挟持部42がフレームFを挟持したかを判定する。設定ステップで、繰り返し行われた上記ステップのうちの判定ステップで挟持したと判定したときの搬送アーム40の位置からフレームFに所定距離近づけた位置を搬出位置として設定する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物が保持されたフレームユニットに用いられる環状フレームを保持機構から搬出する搬送アームの位置設定方法であって、
該搬送アームは、
該保持機構に保持された該環状フレームの厚さ方向である第１方向に整列した押さえプレートと支持プレートとを含むフレーム挟持部と、
該押さえプレートに対して該支持プレートを該第１方向へ相対的に移動させる第１移動部と、
該押さえプレートと該支持プレートとの該第１方向の位置関係を検出するセンサと、を有し、
該保持機構に保持された該環状フレームが、該第１方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置し、且つ、該第１方向と直交する第２方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置しない状態で、該搬送アームを該第２方向へ移動させる第２移動部を用いて該搬送アームを該環状フレームへ近づける接近ステップと、
該接近ステップ後に、該第１移動部を用いて該押さえプレートと該支持プレートの間の該第１方向の間隔を縮めて該環状フレームの挟持を試行する挟持試行ステップと、
該挟持試行ステップ後に、該センサで検出した該位置関係に基づいて該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したか否かを判定する判定ステップと、
繰り返し行われる該接近ステップと該挟持試行ステップと該判定ステップとのうちの該判定ステップで該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したと判定したときの該搬送アームの位置である基準位置から該搬送アームをさらに該環状フレームに所定距離近づけた位置を、該保持機構に保持された該環状フレームを該搬送アームが搬出する際に該搬送アームを位置付ける搬出位置として設定する設定ステップと、を備える
ことを特徴とする位置設定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送アームの位置設定方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
処理装置内における被加工物の搬送方法の一つとして、テープを介して被加工物を保持する環状フレームを、挟持部を有する搬送アームで挟持して搬送する搬送方法が知られている。挟持部を有する搬送アームは、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－０２７９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の搬送方法では、予め搬出位置の調整が行われる。搬出位置は、保持機構に保持された環状フレームを搬出する際に搬送アームが位置付けられる位置をいう。
【０００５】
従来は、作業者が搬送アームを動かしながら、環状フレームに対する挟持部の高さや水平方向の位置を目視で確認することで、搬出位置の調整が行われている。このため、調整作業における作業者の負担を軽減する新たな技術の提案が期待されている。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、搬送調整の工数を削減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様の方法は、被加工物が保持されたフレームユニットに用いられる環状フレームを保持機構から搬出する搬送アームの位置設定方法であって、該搬送アームは、該保持機構に保持された該環状フレームの厚さ方向である第１方向に整列した押さえプレートと支持プレートとを含むフレーム挟持部と、該押さえプレートに対して該支持プレートを該第１方向へ相対的に移動させる第１移動部と、該押さえプレートと該支持プレートとの該第１方向の位置関係を検出するセンサと、を有し、該保持機構に保持された該環状フレームが、該第１方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置し、且つ、該第１方向と直交する第２方向において該押さえプレートと該支持プレートの間に位置しない状態で、該搬送アームを該第２方向へ移動させる第２移動部を用いて該搬送アームを該環状フレームへ近づける接近ステップと、該接近ステップ後に、該第１移動部を用いて該押さえプレートと該支持プレートの間の該第１方向の間隔を縮めて該環状フレームの挟持を試行する挟持試行ステップと、該挟持試行ステップ後に、該センサで検出した該位置関係に基づいて該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したか否かを判定する判定ステップと、繰り返し行われる該接近ステップと該挟持試行ステップと該判定ステップとのうちの該判定ステップで該フレーム挟持部が該環状フレームを挟持したと判定したときの該搬送アームの位置である基準位置から該搬送アームをさらに該環状フレームに所定距離近づけた位置を、該保持機構に保持された該環状フレームを該搬送アームが搬出する際に該搬送アームを位置付ける搬出位置として設定する設定ステップと、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、搬送調整の工数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一実施形態に係る処理装置の斜視図である。
図１に示す処理装置に含まれる搬送アームの構成例を示す斜視図である。
図２に示す搬送アームの挟持機構の構成例を示す図である。
図２に示す搬送アームの吸引保持機構の構成例を示す斜視図である。
図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図３に示す挟持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの移動例について説明する図である。
測定結果の一例を示す図である。
図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
図４に示す吸引保持機構を用いる際における図２に示す搬送アームの搬出位置の設定例について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、一実施形態に係る処理装置１の斜視図である。図２は、処理装置１に含まれる搬送アーム４０の構成例を示す斜視図である。図３は、搬送アーム４０の挟持機構４０１の構成例を示す斜視図である。図４は、搬送アーム４０の吸引保持機構４０２の構成例を示す斜視図である。以下では、処理装置１の構成について、図１から図４を参照しながら、説明する。なお、図面に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（略鉛直な方向）である。
（【００１１】以降は省略されています）

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