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公開番号2025021671
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023125547
出願日2023-08-01
発明の名称搬送システム
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250206BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加工済みの被加工物を搬送車によって搬送する過程で該被加工物を破損させることがない搬送システムを提供すること。
【解決手段】複数の加工装置100A,100B…の上方に設置された走行レーン50上を走行して被加工物を加工装置100A,100B…に搬送する搬送車10の走行を制御する制御部30を備えた搬送システム1において、制御部30は、加工装置100A,100B…によって加工された被加工物を搬送するときの搬送車10の第2走行速度V2を、未加工の被加工物を搬送するときの搬送車10の第1走行速度V1よりも遅くなるように搬送車10の走行を制御する。ここで、搬送車10には、制御部30と受信部31が設けられ、加工装置100A,100B…には、速度変更部111と発信部120が設けられ、制御部30は、受信部31が受信した走行速度で搬送車10を走行させる。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
複数の加工装置の上方に設置された走行レーン上を走行して被加工物を前記加工装置に搬送する搬送車の走行を制御する制御部を備えた搬送システムであって、
前記制御部は、前記加工装置によって加工された被加工物を搬送するときの前記搬送車の第２走行速度を、未加工の被加工物を搬送するときの前記搬送車の第１走行速度よりも遅くなるように前記搬送車の走行を制御することを特徴とする搬送システム。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
前記搬送車には、前記制御部と受信部が設けられ、
前記加工装置には、前記搬送車の走行速度を変更する速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記搬送車に設けられた前記受信部に向けて発信する発信部が設けられ、
前記制御部は、前記受信部が受信した走行速度で前記搬送車を走行させることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記加工装置には、タッチパネルが設けられ、
該タッチパネルは、前記速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記発信部から前記受信部に送信する送信ボタンを備えることを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【請求項４】
前記速度変更部は、被加工物の加工内容ごとに前記第２走行速度を設定することを特徴とする請求項２または３記載の搬送システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の加工装置の間を走行レーンに沿って走行して被加工物を各加工装置に搬送する搬送車と該搬送車の走行を制御する制御部を備える搬送システムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、被加工物としてのウェーハを加工する研削装置などの加工装置は、クリーンルーム内に複数設置されているが、ウェーハを保持した搬送車を走行レーンに沿って走行させてウェーハを各加工装置に搬送する搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、ウェーハを保持した搬送車を複数の加工装置の間で走行レーンに沿って走行させる場合、従来はウェーハの加工状態（未加工状態であるか加工済み状態であるか）とは無関係に一定の速度で搬送車を走行させていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－１３０１６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えば、研削装置によって裏面か研削された薄いウェーハ（加工済みのウェーハ）を保持する搬送車を従来のように比較的速い一定の速度で走行レーン上を走行させると、該搬送車の走行振動によってウェーハに欠けや割れなどが発生する可能性がある。
【０００６】
また、テープによってリングフレームに保持されたウェーハが切削装置の切削ブレードによって切削することによって得られる複数のチップは、テープによって支持されているが、これらの複数のチップを保持する搬送車が従来のように比較的速い一定の速度で走行レーン上を走行すると、該搬送車の走行振動によってテープが揺れ、隣接するチップ同士が接触してチップに欠けが発生する可能性もある。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、加工済みの被加工物を搬送車によって搬送する過程で該被加工物を破損させることがない搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための請求項１記載の発明は、複数の加工装置の上方に設置された走行レーン上を走行して被加工物を前記加工装置に搬送する搬送車の走行を制御する制御部を備えた搬送システムであって、前記制御部は、前記加工装置によって加工された被加工物を搬送するときの前記搬送車の第２走行速度を、未加工の被加工物を搬送するときの前記搬送車の第１走行速度よりも遅くなるように前記搬送車の走行を制御することを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記搬送車には、前記制御部と受信部が設けられ、前記加工装置には、前記搬送車の走行速度を変更する速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記搬送車に設けられた前記受信部に向けて発信する発信部が設けられ、前記制御部は、前記受信部が受信した走行速度で前記搬送車を走行させることを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記加工装置には、タッチパネルが設けられ、該タッチパネルは、前記速度変更部と、該速度変更部によって変更された走行速度を前記発信部から前記受信部に送信する送信ボタンを備えることを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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