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公開番号2025014613
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117314
出願日2023-07-19
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】板状部材において、対象物を保持する第1部材と当該第1部材と接合する第2部材との接合状態を維持しながら、第1部材における対象物を保持する面の昇降温速度を上げることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】本開示の一態様は、静電チャック1の板状部材10において、板状部材接合層60は、第1部材40と第2部材50との積層方向に直交する直交方向において、接合層中央部61と接合層中央部61よりも外周側に位置する接合層外周部62を有し、接合層中央部61における厚みδ1が、接合層外周部62における厚みδ2よりも小さく形成されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
対象物を保持する第１の面と前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状の第１部材と、第３の面と前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面とを備える板状の第２部材と、前記第１部材の前記第２の面と前記第２部材の前記第３の面との間に配置され前記第１部材と前記第２部材とを接合する接合層と、を備える板状部材と、
前記板状部材に対して前記第４の面側に配置され、前記板状部材と熱的に接続される冷却部材と、
を有する保持装置において、
前記接合層は、前記第１部材と前記第２部材との積層方向に直交する直交方向において、中央部と前記中央部よりも外周側に位置する外周部を有し、
前記中央部における厚みが、前記外周部における厚みよりも小さく形成されていること、
を特徴とする保持装置。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
請求項１の保持装置において、
前記第１部材の前記第２の面、および／または、前記第２部材の前記第３の面は、面の中央部が前記接合層側に向かって膨らんで形成されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１または２の保持装置において、
前記第１の面は、面の中央部が前記接合層側とは反対側に膨らんで形成されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項１または２の保持装置において、
前記第１部材は、チャック電極を備え、
前記第１部材における前記第１の面と前記チャック電極との間の部位は、前記第１部材と前記第２部材との積層方向に直交する方向について、外周部の位置における厚みが、中央部の位置における厚みよりも小さく形成されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項５】
請求項１または２の保持装置において、
前記第１部材と前記第２部材は、主成分が同じ材料により形成されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項６】
請求項１または２の保持装置において、
前記第２部材は、ヒータ回路が複数設けられるヒータ電極を備え、
複数の前記ヒータ回路は、複数のゾーンに分かれて配置されており、
前記接合層は、対向する前記ゾーン毎に区切られた領域内にて、厚みが同じまたは略同じになるように形成されていること、
を特徴とする保持装置。
【請求項７】
請求項６の保持装置において、
前記第１部材における対向する前記ゾーン毎に区切られた領域内の厚みを、対向する前記ゾーンの発熱量に応じて設定すること、
を特徴とする保持装置。
【請求項８】
請求項１または２の保持装置において、
前記第２部材は、ヒータ電極を備え、
前記第２部材における前記第３の面と前記ヒータ電極との間の部位は、前記第１部材と前記第２部材との積層方向に直交する方向について、中央部の位置における厚みが外周部の位置における厚みよりも小さく形成されていること、
を特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、対象物を保持する板状部材が上側部分（第１部材）と下側部分（第２部材）が接合することで形成されている保持装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２０／２１３３６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される保持装置において、板状部材の上側部分と下側部分の間には接合部（接合層）が存在するため、この接合部の熱抵抗により半導体ウエハを保持する上面（保持面）の昇降温速度（すなわち、昇温速度と降温速度）が低下するおそれがある。一方、接合部の熱抵抗を低減するために接合部を薄くすると、上側部分と下側部分の熱膨張により生じる応力に対する接合部の強度や接着力が十分に得られず、板状部材の上側部分と下側部分との接合状態を維持できないおそれがある。
【０００５】
そこで、本開示は上記した課題を解決するためになされたものであり、板状部材において、対象物を保持する第１部材と当該第１部材と接合する第２部材との接合状態を維持しながら、第１部材における対象物を保持する面の昇降温速度を上げることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、対象物を保持する第１の面と前記第１の面とは反対側に設けられる第２の面とを備える板状の第１部材と、第３の面と前記第３の面とは反対側に設けられる第４の面とを備える板状の第２部材と、前記第１部材の前記第２の面と前記第２部材の前記第３の面との間に配置され前記第１部材と前記第２部材とを接合する接合層と、を備える板状部材と、前記板状部材に対して前記第４の面側に配置され、前記板状部材と熱的に接続される冷却部材と、を有する保持装置において、前記接合層は、前記第１部材と前記第２部材との積層方向に直交する直交方向において、中央部と前記中央部よりも外周側に位置する外周部を有し、前記中央部における厚みが、前記外周部における厚みよりも小さく形成されていること、を特徴とする。
【０００７】
この態様によれば、接合層の中央部を薄くすることにより、接合層の中央部の熱抵抗を低減できるので、接合層を介した対象物を保持する第１の面への入熱や第１の面からの熱引きが行われ易くなる。そのため、第１の面の昇降温速度が上がる。
【０００８】
また、接合層の外周部を薄くしないことにより、接合層の外周部における強度や接着力を得ることができるので、第１部材と第２部材の熱膨張により接合層の外周部に生じ易い応力に耐えることができる。そのため、第１部材と第２部材の接合状態の維持を図ることができる。
【０００９】
以上のことから、板状部材において、第１部材と第２部材の接合状態を維持しながら、第１部材における対象物を保持する第１の面の昇降温速度を上げることができる。
【００１０】
上記の態様においては、前記第１部材の前記第２の面、および／または、前記第２部材の前記第３の面は、面の中央部が前記接合層側に向かって膨らんで形成されていること、が好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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