特許ウォッチ

公開番号2025017133
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-05
出願番号2023120035
出願日2023-07-24
発明の名称チップ移送装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/68 20060101AFI20250129BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】構成が簡略で小型化及び軽量化が可能なチップ移送装置を提供する。
【解決手段】複数のチップを移送するチップ移送装置であって、チップをそれぞれ保持する複数の保持部と、保持部にそれぞれ接続され保持部を移動させる複数の移動機構と、連結部材を介して複数の保持部に接続されたモーターと、を備え、モーターは、複数の保持部を一括で回転させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数のチップを移送するチップ移送装置であって、
該チップをそれぞれ保持する複数の保持部と、
該保持部にそれぞれ接続され該保持部を移動させる複数の移動機構と、
連結部材を介して複数の該保持部に接続されたモーターと、を備え、
該モーターは、複数の該保持部を一括で回転させることを特徴とするチップ移送装置。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
該保持部による該チップの保持を制御するコントローラをさらに備え、
該コントローラは、該モーターを制御して複数の該保持部の角度を基準角度から特定の該チップの角度に対応する保持角度に一括で設定する第１設定処理と、該移動機構を制御して特定の該保持部に特定の該チップをピックアップさせるピックアップ処理と、該モーターを制御して複数の該保持部の角度を該保持角度から該基準角度に一括で設定する第２設定処理と、を繰り返すことにより、複数の該保持部にそれぞれ該チップを保持させることを特徴とする請求項１に記載のチップ移送装置。
【請求項３】
該チップを撮像して撮像画像を生成する撮像ユニットをさらに備え、
該コントローラは、該撮像画像に基づいて特定の該チップの角度を示す角度情報を取得し、該角度情報に基づいて該保持角度を設定することを特徴とする請求項２に記載のチップ移送装置。
【請求項４】
該保持部にそれぞれ接続され該連結部材が架けられる複数のプーリーをさらに備え、
複数の該プーリーはそれぞれ、該保持部の移動方向において他の該プーリーの一部と重なるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のチップ移送装置。
【請求項５】
複数の該保持部は、タック力で複数の該チップを固定するトレイから該チップをピックアップすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のチップ移送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
複数のチップを移送するチップ移送装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが形成されたウェーハを分割して個片化することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のチップ（デバイスチップ）が製造される。また、所定の基板上に複数のデバイスチップを実装し、実装されたデバイスチップを樹脂層（モールド樹脂）で被覆して封止することにより、パッケージ基板が形成される。パッケージ基板を分割して個片化することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップをそれぞれ備える複数のチップ（パッケージデバイス）が製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に組み込まれる。
【０００３】
ウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割してチップ化する際には、被加工物が各種の処理装置によって処理される。例えば、切削装置、レーザー加工装置等の加工装置によって被加工物が加工され、複数のチップに分割される。そして、複数のチップは加工装置から他の加工装置や検査装置へ移送され、チップに次の処理（加工、検査等）が施される。
【０００４】
被加工物の分割によって得られた複数のチップを移送する際には、作業者が移送元からチップを１つずつピックアップして搬送先へと移す作業を多数回繰り返す必要があるため、チップの移送作業には手間と時間がかかる。そこで、複数のチップを一括で移送可能なチップ移送装置が提案されている。例えば特許文献１には、チップを保持可能な複数の吸着ノズルを備えたチップ移送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０１１／１２８９８０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、吸着ノズル等によって構成される複数の保持部を備えたチップ移送装置を用いることにより、複数のチップを一括して自動で移送することが可能となり、チップの移送作業の効率が向上する。ただし、次に実施される処理（加工、検査等）の内容によっては、移送された複数のチップの角度（向き）が揃っていることが望まれる。そこで、複数の保持部にそれぞれモーターを接続し、保持部の角度を変更可能なチップ移送装置を構成することが提案されている。このようなチップ移送装置を用いることにより、保持部によって保持されたチップの角度を調節することが可能になり、複数のチップを角度を揃えた状態で移送先に載置できる。
【０００７】
しかしながら、チップを保持する複数の保持部にそれぞれモーターが接続されると、チップ移送装置に多数のモーターが搭載されることになる。これにより、チップ移送装置のサイズ及び重量が増大し、コストも増加する。また、チップ移送装置内に多数のモーターが配列されることにより、保持部の数及び配置（間隔）の自由度が低下し、複数のチップの効率的な一括移送が制限されることもある。
【０００８】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、構成が簡略で小型化及び軽量化が可能なチップ移送装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、複数のチップを移送するチップ移送装置であって、該チップをそれぞれ保持する複数の保持部と、該保持部にそれぞれ接続され該保持部を移動させる複数の移動機構と、連結部材を介して複数の該保持部に接続されたモーターと、を備え、該モーターは、複数の該保持部を一括で回転させるチップ移送装置が提供される。
【００１０】
なお、好ましくは、該チップ移送装置は、該保持部による該チップの保持を制御するコントローラをさらに備え、該コントローラは、該モーターを制御して複数の該保持部の角度を基準角度から特定の該チップの角度に対応する保持角度に一括で設定する第１設定処理と、該移動機構を制御して特定の該保持部に特定の該チップをピックアップさせるピックアップ処理と、該モーターを制御して複数の該保持部の角度を該保持角度から該基準角度に一括で設定する第２設定処理と、を繰り返すことにより、複数の該保持部にそれぞれ該チップを保持させる。また、好ましくは、該チップ移送装置は、該チップを撮像して撮像画像を生成する撮像ユニットをさらに備え、該コントローラは、該撮像画像に基づいて特定の該チップの角度を示す角度情報を取得し、該角度情報に基づいて該保持角度を設定する。
（【００１１】以降は省略されています）

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