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公開番号2025005781
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-17
出願番号2023106138
出願日2023-06-28
発明の名称搬送車
出願人株式会社ダイフク
代理人弁理士法人R&C
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250109BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】容器の開口が斜め上方を向く状態で当該容器を安定的に保持して搬送することができる搬送車を提供する。
【解決手段】搬送車は、一対の被支持部(73E)と被押圧部(73)とを備える容器(7)を保持する保持装置(30)を備える。保持装置(30)は、一対の被支持部(73E)をそれぞれ支持する一対の支持部と、被押圧部(73)を押圧する押圧部(35)とを備える。支持部は、傾斜支持面を有し、押圧部(35)は、傾斜押圧面(35a)を有する。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
一対の被支持部と被押圧部とを備える容器を搬送する搬送車であって、
前記容器を保持する保持装置を備え、
前記保持装置は、
一対の前記被支持部をそれぞれ支持する一対の支持部と、
一対の前記支持部を、前記容器を保持する保持姿勢と、前記容器の保持を解除する保持解除姿勢と、に姿勢変化させる保持駆動部と、
前記被押圧部を押圧する押圧部と、を備え、
前記支持部は、傾斜支持面を有し、前記傾斜支持面で前記被支持部の被支持面を支持し、
前記押圧部は、傾斜押圧面を有し、前記傾斜押圧面で前記被押圧部の被押圧面を押圧し、
前記傾斜押圧面が、前記傾斜支持面により前記被支持面が支持された状態での前記被押圧面に平行となるように設けられている、搬送車。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記保持装置を昇降させる昇降装置をさらに備え、
上下方向視で、一対の前記支持部が並ぶ方向を第１方向とし、前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、前記第２方向の一方側を第２方向第１側とし、前記第２方向の他方側を第２方向第２側として、
前記保持装置は、
前記容器に対向する第１案内面を有し、一対の前記支持部に対して前記第２方向第１側に配置された第１案内部と、
前記容器に対向する第２案内面を有し、一対の前記支持部に対して前記第２方向第２側に配置された第２案内部と、をさらに備え、
前記昇降装置により前記保持装置を下降させて前記保持装置を前記容器に対して上側から接近させる場合に、前記第１案内面及び前記第２案内面の少なくとも一方が前記容器に接触するように、前記第１案内部及び前記第２案内部が配置されている、請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記第１案内面は、上側へ向かうに従って前記第２方向第２側へ向かうように傾斜し、
前記第２案内面は、上側へ向かうに従って前記第２方向第１側へ向かうように傾斜している、請求項２に記載の搬送車。
【請求項４】
前記第１案内部と前記第２案内部とが上下方向における異なる位置に配置されている、請求項２に記載の搬送車。
【請求項５】
上下方向視で、前記押圧部が一対の前記支持部の間に配置されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項６】
前記保持装置は、
一対の前記支持部及び前記保持駆動部を支持する保持本体部と、
前記保持本体部に対して前記押圧部を上下方向に沿って移動自在に支持する押圧支持機構と、をさらに備え、
前記押圧支持機構は、一対の前記支持部で一対の前記被支持部を支持した状態での前記被押圧面に前記傾斜支持面が当接した状態で前記押圧部を下側に向けて付勢するように、前記押圧部を支持する、請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項７】
一対の前記支持部が前記保持解除姿勢から前記保持姿勢に変化することで一対の前記被支持部を支持できる、前記保持装置の上下方向の位置の範囲を保持適正範囲として、
前記保持装置は、前記押圧部の位置に基づいて、前記保持装置が前記保持適正範囲内にあるか否かを検知する検知装置をさらに備える、請求項６に記載の搬送車。
【請求項８】
前記容器は、被収容物の出し入れ用の開口を側面に有し、
前記保持装置は、一対の前記支持部で一対の前記被支持部を支持した状態での前記開口に少なくとも部分的に対向する閉門姿勢と、対向しない開門姿勢と、に姿勢変化する遮蔽部材をさらに備え、
前記遮蔽部材は、一対の前記支持部の姿勢変化に連動して、一対の前記支持部が前記保持姿勢となるのに伴って前記閉門姿勢となり、一対の前記支持部が前記保持解除姿勢となるのに伴って前記開門姿勢となるように構成されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場等において、ウェハやレチクル等を収容する容器を搬送する搬送車が利用されている。このような搬送車の一例が、特開２０１６－１６３００１号公報（特許文献１）に開示されている。特許文献１の搬送車（搬送装置１００）は、天井に設置されたレールに沿って走行する天井搬送車であり、容器（収納容器５０）を吊下保持する保持装置（グリッパ装置１０）を備えている。保持装置は、容器に設けられる球面状の被押圧部（挿入穴５１ａ）を押圧部（センターコーン１３）で上方から押圧した状態で、一対の支持部（把持部２０）で、容器に設けられる一対の被支持部（フランジ部５１）を支持する構成となっている。
【０００３】
ところで、搬送車による搬送対象の容器として、オープンカセットと称される、開口部を密封する蓋体のない開放型容器が用いられる場合がある。そして、そのような開放型容器は、被収容物の飛び出しを予防するために出し入れ用の開口が斜め上方を向く状態で搬送される場合がある。特許文献１の搬送車の保持装置に備えられる一対の支持部は鉛直上方を向く水平支持面となっており、容器を傾けて搬送することは考慮されていない。また、特許文献１の搬送車の保持装置において、一対の支持部のそれぞれの支持面を傾斜させただけでは、容器を安定的に保持して搬送することは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１６３００１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、容器の開口が斜め上方を向く状態で当該容器を安定的に保持して搬送することができる搬送車の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る搬送車は、
一対の被支持部と被押圧部とを備える容器を搬送する搬送車であって、
前記容器を保持する保持装置を備え、
前記保持装置は、
一対の前記被支持部をそれぞれ支持する一対の支持部と、
一対の前記支持部を、前記容器を保持する保持姿勢と、前記容器の保持を解除する保持解除姿勢と、に姿勢変化させる保持駆動部と、
前記被押圧部を押圧する押圧部と、を備え、
前記支持部は、傾斜支持面を有し、前記傾斜支持面で前記被支持部の被支持面を支持し、
前記押圧部は、傾斜押圧面を有し、前記傾斜押圧面で前記被押圧部の被押圧面を押圧し、
前記傾斜押圧面が、前記傾斜支持面により前記被支持面が支持された状態での前記被押圧面に平行となるように設けられている。
【０００７】
この構成によれば、一対の支持部を保持姿勢とすることで、一対の傾斜支持面により被支持部の被支持面を支持し、被収容物の出し入れ用の開口が斜め上方を向く姿勢で容器を支持することができる。その際、支持部の傾斜支持面により被支持面が支持された状態での被押圧面と平行な傾斜押圧面により、被押圧面をそれに直交する方向から押圧することができる。これにより、互いに平行な傾斜支持面と傾斜押圧面とにより、上下両側から容器を保持することができる。よって、容器の開口が斜め上方を向く状態で当該容器を安定的に保持して搬送することができる。
【０００８】
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態の搬送車の斜視図
搬送車の正面図
容器の正面図
容器の側面図
保持装置の平面図
保持装置の正面図
支持部及び遮蔽部材の姿勢変化を示す図
保持装置の平面図
保持装置の側面図
保持装置の正面図
押圧支持機構及び検知装置の構造を示す正面図（一部断面）
押圧支持機構及び検知装置の構造を示す側面図（一部断面）
【発明を実施するための形態】
【００１０】
搬送車の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態の搬送車１は、例えば半導体製造工場等において容器７を搬送するために利用される。図１及び図２に示すように、搬送車１は、移動経路に沿って走行する走行部２と、走行部２に連結された移載機構３とを備えている。本実施形態では、搬送車１の移動経路は、天井９１から吊下支持されたレール９２によって物理的に形成されている。すなわち、本実施形態の搬送車１は、天井９１に沿って形成されたレール９２に沿って移動する天井搬送車である。
（【００１１】以降は省略されています）

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