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公開番号2025121449
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2024016820
出願日2024-02-07
発明の名称加圧装置
出願人日機装株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/603 20060101AFI20250813BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数のワークに対して、加圧が必要な部位のみを一括して加圧可能な加圧装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る加圧装置1,1Zは、複数のワークWを加圧する加圧装置である。加圧装置は、ワークが載置可能な載置板14と、載置板の上方向に配置されて、ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材7と、個別加圧部材を支持する支持金型6と、個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型3と、個別加圧部材と、上金型と、の間に配置される加圧パッドPd,18と、を有してなる。個別加圧部材は、支持金型に対して上下方向に相対移動可能である。加圧パッドは、個別加圧部材それぞれの支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能である。ワークが加圧されるとき、個別加圧部材は、対応するワークに向けて支持金型から突出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数のワークを加圧する加圧装置であって、
前記ワークが載置可能な載置板と、
前記載置板の上方向に配置されて、前記ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材と、
前記個別加圧部材を支持する支持金型と、
前記個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型と、
前記個別加圧部材と、前記上金型と、の間に配置される加圧パッドと、
を有してなり、
前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、
前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出する、
加圧装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記支持金型を支持する支持部材、
を有してなり、
前記支持部材は、
下方向視において前記上金型の側方に配置されて、
前記上金型に対して上下方向に相対移動可能である、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項３】
前記支持金型は、
前記支持金型を上下方向に貫通する複数の貫通孔、
を備えて、
前記上金型は、
前記個別加圧部材それぞれに対応する複数の個別上金型、
を備えて、
前記加圧パッドは、
前記個別加圧部材それぞれに対応する複数の個別加圧パッド、
を備えて、
前記貫通孔は、対応する前記個別加圧部材と、対応する前記個別加圧パッドと、を収容して、
前記個別上金型は、対応する前記個別加圧部材が収容される前記貫通孔内を、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、
前記個別加圧パッドは、対応する前記個別加圧部材の前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能である、
請求項２に記載の加圧装置。
【請求項４】
前記支持金型と対応する前記個別加圧部材との間に配置されて、対応する前記個別加圧部材を上方向に向けて付勢する複数の付勢部材、
を有してなり、
前記ワークが加圧されていないとき、
前記個別上金型は、対応する前記貫通孔よりも上方向に位置して、
前記個別加圧部材は、対応する前記付勢部材により上方向へ向けて付勢されて、前記支持金型から突出しない、
請求項３に記載の加圧装置。
【請求項５】
前記加圧パッドを保持する枠部材、
を有してなり、
下方向視において、前記加圧パッドは、前記上金型の全面を覆い、
水平方向において、前記枠部材は、前記加圧パッドの全周を囲み、
前記支持金型は、前記加圧パッドと前記枠部材との下方向に配置されて、前記枠部材に支持されて、
前記枠部材は、前記上金型に対して上下方向に相対移動可能である、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項６】
前記支持金型は、
前記支持金型を上下方向に貫通する複数の貫通孔、
を備えて、
前記貫通孔は、対応する前記個別加圧部材を収容する、
請求項５に記載の加圧装置。
【請求項７】
前記支持金型と対応する前記個別加圧部材との間に配置されて、対応する前記個別加圧部材を上方向に向けて付勢する複数の付勢部材、
を有してなり、
前記ワークが加圧されていないとき、前記個別加圧部材それぞれは、前記付勢部材により上方向へ向けて付勢されて、前記支持金型から突出しない、
請求項６に記載の加圧装置。
【請求項８】
前記支持金型は、
下方向に面する下面、
を備えて、
前記載置板は、
前記ワークそれぞれが載置される載置面、
を備えて、
前記下面または前記載置面に対向するように、上下方向において、前記下面と前記載置面との間に配置される金型受部材、
を有してなり、
上下方向において、前記金型受部材の長さは、前記ワークそれぞれの長さよりも大きい、
請求項２または５に記載の加圧装置。
【請求項９】
前記載置台を加熱可能な熱ユニット、
を有してなり、
前記個別加圧部材それぞれは、
上層部と、
前記上層部よりも下方向に配置される下層部と、
前記上層部と前記下層部との間に配置される中層部と、
を備えて、
前記中層部を構成する材料の熱伝導率は、前記上層部と前記下層部それぞれを構成する材料の熱伝導率よりも小さい、
請求項１に記載の加圧装置。
【請求項１０】
前記個別加圧部材それぞれは、
前記ワークが加圧されるとき、前記ワークに当接して、前記ワークの形状に追従して変形する弾性体、
を備える、
請求項１または９に記載の加圧装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
基板などの複数のワーク（被加圧物）を一括で加圧する加圧装置が、知られている（例えば、特許文献１参照）。同加圧装置は、ワークそれぞれを均等に加圧可能な加圧パッドを備える。加圧パッドは、ワークそれぞれの形状に追従して変形する柔軟体を備える特殊弾性体で構成されている。そのため、同加圧装置は、公差などにより多少の高低差を有する複数のワークに対して、均等かつ一括に加圧できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４－２９６７４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された加圧装置では、柔軟体がワークの形状に追従して変形する。そのため、同加圧装置では、加圧が不要な部位（例えば、基板上のチップ以外の部位）も加圧される。ワークの中には、強度の低い部位（例えば、庇状の部位）を有するワークが有る。同加圧装置を用いてこのようなワークが加圧されると、強度の低い部位に割れや欠けなどの不具合が生じ得る。すなわち、同加圧装置には、加圧が必要な部位だけでなく、加圧が不要な部位まで加圧するという技術的課題が存在する。
【０００５】
本発明は、複数のワークに対して、加圧が必要な部位のみを一括して加圧可能な加圧装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施態様における加圧装置は、複数のワークを加圧する加圧装置であって、前記ワークが載置可能な載置板と、前記載置板の上方向に配置されて、前記ワークそれぞれを上方向から個別に加圧可能な複数の個別加圧部材と、前記個別加圧部材を支持する支持金型と、前記個別加圧部材を下方向に向けて加圧可能な上金型と、前記個別加圧部材と、前記上金型と、の間に配置される加圧パッドと、を有してなり、前記個別加圧部材は、前記支持金型に対して上下方向に相対移動可能であり、前記加圧パッドは、前記個別加圧部材それぞれの前記支持金型に対する相対移動量に応じて変形可能であり、前記ワークが加圧されるとき、前記個別加圧部材は、対応する前記ワークに向けて前記支持金型から突出する、加圧装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、複数のワークに対して、加圧が必要な部位のみを一括して加圧可能な加圧装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明に係る加圧装置の実施の形態を説明する、同加圧装置の模式断面図である。
上記本装置の部分拡大模式断面図である。
上記本装置が備える上金型の模式底面図である。
上記本装置が備える上加圧ユニットの模式底面図である。
上記上加圧ユニットの一部の構成の模式分解斜視図である。
動作中の上記本装置の一状態を示す模式断面図である。
動作中の上記本装置の別の一状態を示す模式断面図である。
図７の状態の上記本装置の部分拡大模式断面図である。
動作中の上記本装置のさらに別の一状態を示す模式断面図である。
図９の状態の上記本装置の部分拡大模式断面図である。
本発明に係る加圧装置の第２実施形態を説明する、同加圧装置の模式断面図である。
第２実施形態の上記本装置の部分拡大模式断面図である。
第２実施形態の上記本装置が備える上加圧ユニットの一部の構成の模式分解斜視図である。
動作中の第２実施形態の上記本装置の一状態を示す模式断面図である。
動作中の第２実施形態の上記本装置の別の一状態を示す模式断面図である。
図１５の状態の上記本装置の部分拡大模式断面図である。
動作中の第２実施形態の上記本装置のさらに別の一状態を示す模式断面図である。
図１７の状態の上記本装置の部分拡大模式断面図である。
変形例に係る本装置が備える個別加圧部材の模式側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明に係る加圧装置（以下「本装置」という。）の実施の形態が、以下に説明される。以下の説明において、各図面は、適宜参照される。各図面において、同一の部材および要素については同一の符号が付されて、重複する説明は省略される。また、各要素の寸法比率は、説明の便宜上、誇張されている場合が有り、各図面に示されている比率に限定されない。
【００１０】
以下の説明および図面において、特に断りがない限り、空間において相互に直交する３軸がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸であるとき、Ｘ軸およびＹ軸は水平方向に平行であり、Ｚ軸は上下方向に平行である。すなわち、ＸＹ平面は水平面であり、ＸＺ平面およびＹＺ平面は鉛直面である。「Ｘ軸方向」はＸ軸に沿う方向であり、「＋Ｘ方向」はＸ軸方向の一方向であり、「－Ｘ方向」はＸ軸方向の他方向である。「Ｙ軸方向」はＹ軸に沿う方向であり、「＋Ｙ方向」はＹ軸方向の一方向であり、「－Ｙ方向」はＹ軸方向の他方向である。「Ｚ軸方向」は、Ｚ軸に沿う方向であり、上下方向である。「＋Ｚ方向」は上方向であり、「－Ｚ方向」は下方向である。「ＸＹ方向」はＸ軸方向およびＹ軸方向に沿う方向であり、「ＸＹ平面」はＸＹ方向に平行な仮想平面である。「ＸＺ方向」はＸ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＸＺ平面」はＸＺ方向に平行な仮想平面である。「ＹＺ方向」はＹ軸方向およびＺ軸方向に沿う方向であり、「ＹＺ平面」はＹＺ方向に平行は仮想平面である。
（【００１１】以降は省略されています）

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