特許ウォッチ

公開番号2025018049
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-06
出願番号2023121447
出願日2023-07-26
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250130BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】加工不良を未然に防ぐことができる加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物200を保持する保持テーブル9と、保持テーブル9に保持された被加工物を加工する加工ユニット400と、加工ユニット400によって加工された被加工物200の加工品質を検査する検査ユニット500と、制御ユニット100と、を備える研削研磨装置1であって、制御ユニット100は、加工ユニット400による加工条件を記憶する加工条件記憶部1021と、検査ユニット500による検査結果を記憶する検査結果記憶部1022と、同一の加工条件を使用した複数の検査結果と時系列とを紐付けたデータを作成するデータ作成部1011と、データの少なくとも一部を任意のモニタ600に出力する出力部1012と、を備える。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
該加工ユニットによって加工された被加工物の加工品質を検査する検査ユニットと、
制御ユニットと、を備える加工装置であって、
該制御ユニットは、
該加工ユニットによる加工条件を記憶する加工条件記憶部と、
該検査ユニットによる検査結果を記憶する検査結果記憶部と、
同一の該加工条件で加工された該検査結果と、該加工ユニットによって加工された時期とを紐付けた
複数のデータを作成するデータ作成部と、
該データの少なくとも一部を任意のモニタに出力する出力部と、を備える
ことを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
該検査結果が所定期間内にしきい値以上の幅または割合で変動している場合、
該加工装置の点検を推奨する報知部をさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該データ作成部は、
第一の加工条件で加工された該検査結果と、該加工ユニットによって加工された時期と、を紐付けた第一のデータと、
第二の加工条件で加工された該検査結果と、該加工ユニットによって加工された時期と、を紐付けた第二のデータと、を作成する
ことを特徴とする請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
該報知部は、
二種類以上の該加工条件において、
それぞれの該検査結果がしきい値以上の幅または割合で
良化または悪化のいずれかとなる同一の傾向に変動している場合に
該加工装置の点検を推奨する
ことを特徴とする請求項３に記載の加工装置。
【請求項５】
該報知部は、
二種類以上の該加工条件において、
いずれか一方の該検査結果がしきい値以上の幅または割合で変動している場合に
しきい値以上の幅または割合で変動している該加工条件の点検を推奨する
ことを特徴とする請求項３に記載の加工装置。
【請求項６】
該加工ユニットは、被加工物を研削する研削ユニットであって、
該検査ユニットは、該研削ユニットによって研削された被加工物の厚みばらつきを測定する測定器である
ことを特徴とする請求項１から３のうち何れか１項に記載の加工装置。
【請求項７】
該加工ユニットは、被加工物を研磨する研磨ユニットであって、
該検査ユニットは、該研磨ユニットによって研磨された被加工物の厚みばらつきを測定する測定器である
ことを特徴とする請求項１から３のうち何れか１項に記載の加工装置。
【請求項８】
該加工ユニットは、被加工物を切削する切削ユニットであって、
該検査ユニットは、該切削ユニットによって切削溝を撮像する撮像ユニットであり、
該切削溝に発生したチッピングの大きさまたは数の少なくともいずれかの値を測定する
ことを特徴とする請求項１から３のうち何れか１項に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
加工不良を防ぐために、加工後次工程に流す前に検査し、不良品を除外するまたは加工品質を検査して基準値に満たない場合は再加工するという方法がとられていた。加工品質を検査する方法としては、研削ステップの実施後、研磨手段によって被加工物を研磨する研磨ステップを実施し、この研磨ステップの実施後、被加工物の厚みばらつきを測定する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－０９３５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術においては、最終製品になる前に加工不良となった被加工物を除外することはできるが、加工不良の発生は防ぐことはできなかった。したがって、加工不良を未然に防ぐことができる、という解決すべき課題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、加工不良を未然に防ぐことができる加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットによって加工された被加工物の加工品質を検査する検査ユニットと、制御ユニットと、を備える加工装置であって、該制御ユニットは、該加工ユニットによる加工条件を記憶する加工条件記憶部と、該検査ユニットによる検査結果を記憶する検査結果記憶部と、同一の該加工条件で加工された該検査結果と、該加工ユニットによって加工された時期とを紐付けた複数のデータを作成するデータ作成部と、該データの少なくとも一部を任意のモニタに出力する出力部と、を備える。
【０００７】
本発明の加工装置において、該検査結果が所定期間内にしきい値以上の幅または割合で変動している場合、該加工装置の点検を推奨する報知部をさらに備えてもよい。
【０００８】
本発明の加工装置において、該データ作成部は、第一の加工条件で加工された該検査結果と、該加工ユニットによって加工された時期と、を紐付けた第一のデータと、第二の加工条件で加工された該検査結果と、該加工ユニットによって加工された時期と、を紐付けた第二のデータと、を作成してもよい。
【０００９】
本発明の加工装置において、該報知部は、二種類以上の該加工条件において、それぞれの該検査結果がしきい値以上の幅または割合で良化または悪化のいずれかとなる同一の傾向に変動している場合に該加工装置の点検を推奨してもよい。
【００１０】
本発明の加工装置において、該報知部は、二種類以上の該加工条件において、いずれか一方の該検査結果がしきい値以上の幅または割合で変動している場合にしきい値以上の幅または割合で変動している該加工条件の点検を推奨してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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