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公開番号2025021193
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-13
出願番号2023124962
出願日2023-07-31
発明の名称研削ホイールの着脱方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 45/00 20060101AFI20250205BHJP(研削;研磨)
要約【課題】研削ホイールの着脱時に、研削ホイールに付着する屑がチャックテーブルに落下することを抑制することができる研削ホイールの着脱方法を提供すること。
【解決手段】研削ホイールの着脱方法は、複数個のチャックテーブルと、複数個のチャックテーブルを周方向に均等角度で配設し回転することによって各チャックテーブルを所定の研削位置に位置付けるターンテーブルと、研削位置に配設されチャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削砥石が配設された研削ホイールを装着可能な研削ユニットとを備えた研削装置を使用する方法であって、ターンテーブルを回転させることによって、チャックテーブルをスピンドルの直下から外れた位置に位置付ける準備ステップ401と、研削ホイールをマウント部に取り付けるか、または取り外す研削ホイール着脱ステップ402と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持面を有する複数個のチャックテーブルと、
該複数個のチャックテーブルを周方向に均等角度で配設し、回転することによって各チャックテーブルを所定の研削位置に位置付けるターンテーブルと、
該研削位置に配設され該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削するための研削砥石が配設された研削ホイールをスピンドルの先端のマウント部に装着可能な研削ユニットと、を少なくとも備えた研削装置を使用し、該マウント部に該研削ホイールを取り付けるか、または取り外す研削ホイールの着脱方法であって、
該ターンテーブルを回転させることによって、該チャックテーブルを該スピンドルの直下から外れた位置に位置付ける準備ステップと、
該研削ホイールを該マウント部に取り付けるか、または取り外す研削ホイール着脱ステップと、を備える研削ホイールの着脱方法。
続きを表示（約 190 文字）【請求項２】
該準備ステップは、該研削位置から該均等角度の半分の角度分移動させた位置に該チャックテーブルを移動させることを特徴とする請求項１に記載の研削ホイールの着脱方法。
【請求項３】
該研削ホイール着脱ステップで該研削ホイールを装着した場合に、該研削砥石をドレッシングするドレッシングステップ、を更に備える請求項１または請求項２記載の研削ホイールの着脱方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削ホイールの着脱方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、ウェーハを所定の厚さに形成するために、ウェーハの表面を研削している。このようなウェーハの表面を研削する研削装置は、被加工物であるウェーハを保持する複数個のチャックテーブルと、該複数個のチャックテーブルを配設し各チャックテーブルを所定の研削位置に位置付けるターンテーブルと、該研削位置に配設され該チャックテーブルに保持されたウェーハを研削するための研削ホイールを備えた研削ユニットとを具備している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－３５４９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
研削ホイールでは、研削砥石を消耗させながら研削を行うことで研削砥石のコンディションを安定させながら研削を行っている。したがって、研削ホイールは消耗品であり研削砥石の刃先残量が所定の長さ以下となった場合に交換作業が必要となる。
【０００５】
通常、研削装置は、研削ホイールを交換する際、チャックテーブルが研削位置に位置付けられている状態のため、研削ホイールの着脱時に、研削ホイールに付着する屑がチャックテーブルに落下する虞がある。
【０００６】
したがって、研削装置には、研削ホイールの着脱時に、研削ホイールに付着する屑がチャックテーブルに落下することを防止する手法の確立、という解決すべき課題がある。
【０００７】
本発明の目的は、研削ホイールの着脱時に、研削ホイールに付着する屑がチャックテーブルに落下することを抑制することができる研削ホイールの着脱方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の研削ホイールの着脱方法は、被加工物を保持する保持面を有する複数個のチャックテーブルと、該複数個のチャックテーブルを周方向に均等角度で配設し、回転することによって各チャックテーブルを所定の研削位置に位置付けるターンテーブルと、該研削位置に配設され該チャックテーブルに保持された該被加工物を研削するための研削砥石が配設された研削ホイールをスピンドルの先端のマウント部に装着可能な研削ユニットと、を少なくとも備えた研削装置を使用し、該マウント部に該研削ホイールを取り付けるか、または取り外す研削ホイールの着脱方法であって、該ターンテーブルを回転させることによって、該チャックテーブルを該スピンドルの直下から外れた位置に位置付ける準備ステップと、該研削ホイールを該マウント部に取り付けるか、または取り外す研削ホイール着脱ステップと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
前記研削ホイールの着脱方法において、該準備ステップは、該研削位置から該均等角度の半分の角度分移動させた位置に該チャックテーブルを移動させても良い。
【００１０】
前記研削ホイールの着脱方法において、該研削ホイール着脱ステップで該研削ホイールを装着した場合に、該研削砥石をドレッシングするドレッシングステップ、を更に備えても良い。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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